Устройство для контроля хроматической разности увеличений микрообъективов

(51) ЕН лина Г.А. еские изм ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТИ УВЕЛИЧЕНИ РОМА- МИКРО(54) УСТРОйст ТИЧЕСКОИ РАЗН ОБЪЕКТИВОВ, (57) Иэобрете ниям оптическ е -тносится к м.б. х характеристик иг,7 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР АНИЕ ИЭО К Д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Ленинградский институт точномеханики и оптики.использовано для контроля хроматической разности увеличения микрообьективов, Цель изобретения - повышение точности измерений. Иэображениетест-обьекта 3, освещенного источ -ником 1 света и конденсором 2, построенное контролируемым микрообьективом 4, рассматривается окуляром 11 . При взаимосвязанном перемещении первой и второй гиперхроматических,линэ, склеенных .соответственно иэ линз 6, 7 и 8, 9, добиваются исчезновения окраски изображения. В этом положении искомаяхроматическая разность увеличениймикрообъектива 4 отсчитывается,полинейной шкале 12 с помощью индекса 13. 1 з.п. ф-лы, 3 ил, 1497 л 75Изобретение относится к оптическому приборостроению, а болееконкретно к контролю микрообъективов микроскопов.Целью изобретения является повышение точности измерения и уменьшение габаритов.Па фиг. 1 изображена принципиальная оптическая схема устройства; Она фиг. 2 - конструкция устройства,на фиг, 3 - вид по стрелке А нафиг, 2,Устройство содержит источник света 1, конденсор 2, тест-объект 3, 5контролируемый микрообъектив 4 свыходным зрачком 5, первую гиперхроматическую линзу, склеенную из линз6 и 7, вторую гиперхроматическую линзу, склеенную из линз 8 и 9, плоскость 10 изображения, окуляр 11,шкалу 12 и индекс 13,В конструкцию устройства входяттакже основание 14, стойки и крокштейны 15-19, осветитель, состоящий из источника 1 света, отражателя 20, конденсатора 2, тест-объект3, оправы 21 и 22, разьбовые кольца23 и 24, штифты 25 и 26, корпуса 27 30и 28, винты 29, основание 30, корпус 31,Стойки и кронштейны 15-19, установленные на основании 14, имеютрегупируемые подвижки по высоте. Источником 1 света служит лампа СЦ,конденсор 2 типа ОИ -22. Тест-объектом 3 может служить штриэовая мира,Окуляртипа АМ. Первая 6-7 ивторая 8-9 гиперхроматические линзы помещены в оправы 21 и 22 соответственно и зажаты резьбовыми кольцами 23 и 24. С оправами 21 и 22 сое.динены штифты 25 и 26, Вфнеподвижномкорпусе 27, жестко соединенном виктами 29 с основанием 30, выполненыпазы определекного профиля. Во внеш -нем корпусе 28 выполнены продольныепазы. При вращении корпуса 28 относительно корпуса 27 каждая из линз506-7 и 8-9 перемещается по определенному закону. С помощью индекса 13,соединенного со штифтом 25, можно пошкале .12 определить перемещение линз6-7 и 8-9.55Устройство работает следующим образом,Контролируемый микрообъективобразует изображение тест-объекта 3, освещенное с помощью осветителя,состоящего из источника 1 света иконденсора 2, в плоскости 10 изображений. Это изображение рассматривается через окуляр 11, хроматическая разность увеличений которогозаранее известна, Из-за наличия умикрообъектива 4 аберрации хроматической разности увеличений в окуляр11 наблюдается окрашенное иэображениеобъекта 3, Для компенсации вносимоймикрообъективом 4 хроматической разности увеличений гиперхроматическиелинзы 6-7 и 8-9 совместно перемещаются вдоль оптической оси и устанавливаются в положении относительноплоскости 10 изображений так, чтовыполняется равенство: с 1=БК1 )где Й - расстояние между гиперхроматическими линзами 6-7 и8 - 9Б - расстояние от первой гиперхроматической линзы 6-7 доплоскости О изображений,1 гК = 1 --- коэффициент ,г,г г, - радиусы первой б - 7 и второй 8-9 гиперхроматическихлинз соответственно.При выполнении данного условияпроисходит компенсация хроматической разности увеличений микрообьектива 4, что фиксируется по исчезновению окраски изображения.С помощью линейной шкалы 12 сравчомерным шагом между делениямии индекса 13, укрепленного на линзе6-7, можно измерить величины перемещения линз 6-7 и 8-9 и определитьвеличину хроматической разности увеличений, вносимую микрообъективом 4.Следует заметить, что положения гиперхроматических линз 6-7 и 8-9 относительно плоскости выходного зрач)ка 5 микрообъектива 4 несущественны -они ке влияют на величину хроматической разности увеличений,При выполнении этого условия хроматизм положения, вносимый системойиз двух гиперхроматических линз,равен нулю.В момент исчезновения окраскиизображения хроматическая разностьувеличения контролируемого микрообьектива 4 оказывается скомпенсирован 1497475ной хроматической разностью увеличения системы иэ двух гиперхроматических линз, Искомую величину отсчитывают с помощью индекса 13 на шкале5 12, отградуированную в единицах хроматической разности увеличения в соответствии с выражением(1 у у / 1 О Б оу у А В конкретном примере выполнения устройства гиперхроматические линзы 25 выполняют из стекла ТФ 4 и СТК 9. При выходнои аппертуре контролируемого микрообъектива 0,02 и поле изображения 1 О мм устройство позволяет измерять хроматическую разность увеличения от 0,31 до 164 Е для диапазона изменений расстояния Я от 20 до 100 м соответственно. Дисторсия системы иэ двух гиперхроматических линз 0,007/, астигматизм 0,008 мм, попереч 35 ная хроматическая аберрацкяположения не более 4 мкм. где - хроматическая разность увеличений1 115А = (п) ( --- ),1 2Ви - показатель преломления материалов гиперхроматическихлинз для средней длины волны,ц - коэффициенты дисперсии материалов каждой из гиперхроматической линз, Погрешност измерения в единицаххроматической разности увеличенийприблизительно 0,187. Формула изобретенияФ1. Устройство для контроля хроматической разности увеличений микро - объективов, содержащее основание, установленные на нем осветитель, тест в объе, подставку для контролируемого микрообъектива и окуляр, отличающеес я тем,что, с целью повышения точности измерения, между подс тав к ой для микрообъек тив а и окуляром установлены две гиперхроматические линзы с возможностью взарадиусы первой и второй гиперхроматической линз соответственно,расстояние от первой гиперхроматической линзы до предметной плоскости где г,э г окуляра .2, Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения габаритов, радиусы гиперхроматических линз выбраны из соотношенияг, = 4 г имосвязанного перемещения вдоль оптической оси и линейная шкала с равномерным шагом между делениями, приэтом расстояние д между гиперхроматическими линзами удовлетворяет условию497475Составитель Б. Архипов Редактор О. Спесивых Техред М,дидык Корректор М. Самборская Наказ 4434/42 Тираж 789 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101