Программный регулятор расхода

СЭОЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН Щ 4 а 0 н 1 И 1 ГОСУДАРСТНЕННЫИ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЗОБРЕТЕН 21) 430385124-2431.08.8707.04.89.Г,Н Латило. к устния нРуа Цласти 88.8)ство СССР43, 1970,ОР РАСХОДАся к нанесев частностиегулировауумную камеасширение обраммном регулятаре расхода последовательна установлень, связанные с исполнительным блоком 1 первый регулируемьп 1дрэссель 5, электрапневмоклапан 7,второй регулируемый дроссель 6 ипневмаклапан 4, Блок 2 сгавнения состоит из усилителей 8 и 9, задатчика17 давления и постоянного дросселя,Программный блоксостоит из злектропневмоклапанов 18-22 и +1 регулируемыъ" дроссслей 11 - 16. Применениеизобретения позволяет осуществитьгибкую автоматизированную подачу компонечтов газа, повысить износостойкость 3 ил,Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, в частности к устройствам подачи и регулирования натекания газа в вакуумную камеру.Целью изобретения является расширение области применения.На Фиг, 1 показана принципиальная схема устройства; на фиг. 2 - устройство, общий вид; на Фиг. 3 - то же, вид сбоку.Регулятор состоит из программного блока 1 регулятора давления, блока 2 сравнения, исполнительного блока 3, пневмоклапана 4, регулируемых дросселей 5 и б,электропневмоклапана 7. 10 15 Программный блок 1 содержит сумматор, включающий два усилителя 8 и 9, носсели, задатчик 17 давления, электропневмоклапаны 18-22. Выход регулятора-натекателя соединен с вакуумнойкамерой и отрицательной камерой усилителя 8,. а через контакты пневмоклапана 4, регулируемый дроссель 8,электронневмоклапан 7 и регулируемыйдроссель 5 - с выходом регулятора,регулятора 1 соединена с выходом усилителя 8 и отрицательной камерой усилителя 9. Каналы питания усилителей8 и 9 через постоянный дроссель 10соединены с задатчиком 17 давленияи отрицательной камерой усилителя 8,а через регулируемый дроссель 10 -с коллектором, соединяющим регулируемые дроссели 12-16, Выходы регулируемых дросселей 12-16 соединеныс электропневмоклапанами 18-22. Всеэлементы регулятора, кроме регулятора 1 давления, установлены на панели 23 (фиг. 3). Последняя склеенаиз двух листов органического стекла.В одном листе профрезерованы каналысвязи. На панели 23 со стороны эле 40 ментов установлены штуцерыф 24 " соединения с вакуумной камерой; 25 и 26 - для соединения с регулятором 1 давления и 27 - для подключения воздуха. Воздух очищается фильтром 28. Выход регулятора подключен к вакуумной камере 29.Регулятор работает следующим образом. 50 55 Необходимый газ подается в вакуумную камеру 29 через регулятор 1 давтоянный 10 и регулируемые 11 - 16 дросления, регулируемый дроссель 5, электропневмоклапан 7, регулируемый дроссель 6 и параллельно дросселю 6 через контакты пневмоклапана 4. Во время подачи газа абсолютное давление в камере находится в пределах 1,33-3-1,33 10 Па, а относительное давление перед дросселем поддерживается пневмоклапаном 4 и равно нулю. Дроссель 6 настраивается при минимальном расходе газа, принятом за единицу, на перепад давлений, равный разнице между абсолютным и относительным давлениями, При отсутствии расхода газа давление перед дросселем б равно давлению в вакуумной камере. При расходе газа через дроссель 6, большем, чем принятыйза единицу, перед дросселем появляется избыточное давление, которое открывает контакт реле 4 и газ подается дополнительно через сопло реле 4.Таким образом, независимо от расхода газа избыточное давление перед дросселем постоянное и равно нулю, лишь при расходе газа меньшем, чем принятое за единицу, или при отсутствии расхода - меньше нуля. Регулируемый дроссель 5 настраивается на пропускную способность газа, равную минимальному расходу газа, принятому за единицу, при минимальном давлении перед дросселем, принятом за диапазон изменения давления регулятора 1. Давление газа на регуляторе 1 повторяет выходное давление воздуха блока 3 сравнения. Давление на выходе последнего устанавливается сумматором, состоящим из усилителей 8 и 9, и зависит от суммы давлений, поданных на их входы от вакуумной камеры, задатчика 17,и программного блока 1, состоящего из регулируемых дросселей 11-16. От проводимости дросселя 11 зависит коэффициент усиления блока сравнения. Дроссель 12 настраивается таким образом, что при отключенном электропневмоклапане 18 и соединенном с атмосферой дросселе 12 давленуе на выходе усилителя 8 равно нулю, а при включенном электропневмоклапане 18 (дроссель 12 перекрыт) давление на выходе усилителя Я равно давлению, принятому за единицу. Проводимость остальных дросселей сумматора настраивается в соотношении 1:2:4:8;16, При последовательном включении электропневмоклапанов 18 147117621 на выходе усилителя 8 повышается давление в соотношении, соответствующем проводимостям дросселей на их входе, а следовательно, повышается и давление газа перед дросселем 5.Таким образом, при включении электропневмоклапанов 18"22 по прог" рамме, заданной в двоичном коде, получают соответствующее давление га за перед дросселем 5, а следовательно, и расход. Количество регуляторов подключают по необходимому количеству компонентов газа при нанесении покрытий. Изменяя программу, можно 15 получить любое соотношение компонентов, а также изменение соотношений в любом промежутке времени технологического процесса.Предлагаемая конструкция програм много регулятора расхода позволяет осуществить гибкую автоматизированную подачу газа, улучшить качество износостойких покрытий.25формула изобретения Программный регулятор расхода, содержащий программный блок, блок сравнения, исполнительный блок и ка- З 0 нал обратной связи, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширения области применения, в него введены первый регулируемый дроссель, злектропневмоклапан, второй регулируемый дроссель и пневмоклапан, при этом канал питания электропневмоклапана через первый регулируемый дроссель соединен с выходом исполнительного блока, а его выход - с управляющей камерой пневмоклапана и черезконтакт пневмоклапана параллельновторому регулируемому дросселю " свыходом регулятора, блок сравнениясостоит из двух усилителей, постоянного дросселя и задатчика давления,при этом каналы питания усилителейчерез постоянный дроссель соединеныс задатчиком давления подключеннымк первой отрицательной камере второ"го усилителя, положительная камеракоторого соединена с выходом первогоусилителя, причем управляющая камераисполнительного блока соединена свыходом второго усилителя и с отрицательной камерой, первого усилителя,выход регулятора соединен каналомобратной связи с второй отрицательной камерой второго усилителя, а канал питания исполнительного блокасоединен с газовой магистралью, программный блок состоит из Ю электропневмоклапанов по числу разрядоввходного сигнала и 0+1 регулируемыхдросселей, при этом каналы питанияусилителей через (Иф 1)-й регулируе"мый дроссель связаны с коллектором,который через соответствующий Я-йрегулируемый дроссель подключен квыходам соответствующих электропневмоклапанов.1471176 Составитель И,Яковенкоктор А.01 андор Техред Л.Сердюкова Корректор К Лус Заказ 1606/49 Тираж 788 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ С 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород ул. Гагарина,101