Электростатическое реле

СОЮЗ СОВЕтСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 140 5)4 Н 01 Н 5 ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ИСАНИЕ ИЗОБРЕТ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ симости характерист реле от температуры ое реле содержит в ний 2 неподвижные у к перек лючения остатичес и ниж.а закреплек, Неесена меи 8 коа пластину таллизац торые не ЕСКОЕ РЕ обо облас аличие э ктсится к зл ользоватьсцепей т фиксациюВключено"е 4 распотеи по дляв ав пластиныили "Выкл рующихелькой измерикотоложен и елем обре ии, те ия " и к рым устантакт 10,ьппешеки у Ю ф 7 иГ У(54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧ (57) Изобретение о ротехнике и может построения коммут томатике, вычислит тельной технике, т нии и т,п. Цель из ние быстродействия о СССР 1973. СССР 1972,ЛЕктрическую пласт между неподвижным стина 4 свободно ю тонких перемыч с двух сторон на в виде областей ерекрываются межд их металлизирован яет осуществлять любом положении чено". На пласти ижный контакт 9, влек неподвижны 4 ил.Изобретение относится к электротехнике и может быть использованодля построения коммутирующих цепейв вычислительной технике, автоматике 5телефонии и т.д.Цель изобретения - увеличение быстродействия электростатического реле, расширение температурного диапазона работы. ОНа фиг.1 изображено реле, продоль. ный разрез; на фиг. 2 - то же, видсверху; на фиг.3 - разрез А-А нафиг.1 (конструкция подвижной пластины); на фиг,4 - ход потенциала на 5неподвижных управляющих электродах; в зависимости от времени в процессе переключения реле,Устройство содержит верхний неподвижный управляющий элемент 1, нижний неподвижный электрод 2, диэлектрическую прокладку 3 между электро дом 1 и диэлектрической пластиной 4,диэлектрическую прокладку 5 междунижними управляющими электродом 2 25и пластиной 4, Диэлектрическая пластина 4 представляет собой тонкую, пленку, обпадающую хорошими упругими, свойствами например, из окиси кремния 310, толщиной 0,4 мкм, Пласти на 4 свободно закреплена с помощьютонких перемычек 6, На пластину 4 сдвух сторон нанесена металлизация ввиде областей 7 и 8 из хрома толщионой 300-500 А. Металлизованные области 7 и 8 перекрываются между собой,На пластине 4 расположен подвижный контакт 9, например, из золота,толщиной 1-2 мкм, Над контактом 9 40с зазором в несколько микрон расположен неподвижный контакт 10 из золота толщиной 10-30 мкм.Устройство работает следующим образом, 45На любой из электродов, например1,подается положительный потенциал,При этом электрод 2 заземлен,Подвижная пластина 4, все металлизированные области 7 и 8 которой такжеимеют потенциал земли, притягиваетсяк электроду 1,В процессе переключений пластина 4оказывается притянутой к электроду 2,Областьна пластине 4 имеет потенциал электрода 1(+), а область 8 -потенциал электрода 2(-), Таким образом, область 7 и электрод 2 имеютразные потенциалы и притягиваются,Сила электростатического притяженйяприжимает пластину 4 к электроду 2,В этом положении контакты 9 и 10 разомкнуты. Для замыкания контактовизменяются знаки потенциалов на электродах 1 и 2, т,е, потенциал электрода 1 делают отрицательным, а электрода 2 - положительным. Потенциал областей 8 становится при этом положительным и равным потенциалу областей 7. Области 7 и 8 с положительнымпотенцйалом пластины 4 начинают притягиваться к отрицательному электроду 1, При соприкосновении с электродом 1 области 7 принимают его потенциал, но пластина 4 продолжает прижиматься к электроду 1 эа счет положительного потенциала областей 8, которые не экранируют областями 7. Контакты 9 и 10 замыкаются. Для размыкания контактов 9 и 10 необходимо снова поменять знаки потенциалов на управляющих электродах 1 и 2,На фиг,4 потенциал электрода 1 взависимости от времени при переключении реле показан сплошной линией,а электрода 2 - пунктирной, Перемещение пластины 4 во всех режимах работы происходит только за счет силэлектростатического притяжения,таккак пластина 4 подвешена свободноЭто позволяет реализовать максимальновозможное быстродействие электростатического реле при заданной массе подвижной пластины,Параметры переключения предлагаемого реле слабо зависят от темпера"туры вследствие неучастия сил упругости в процессах переключения. Предлагаемое реле отличается стабильностью величины его емкости в выключенном состоянии и в процессе переключений, Это важно при использовании реле в высокочастотных схемах,где большое значение имеет стабильность его реактивных параметров,Формула изобретенияЭлектростатическое реле, содержащее неподвижные управляющие электроды, установленную между ними подвижную пластину с расположенным на ней подвижным контактом и неподвижный контакт, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения быстродействия и расширения температурчого диапазона работы, подвижная пластина14031 фИ/Г Г А-А 7 В бФи,гЗ выполнена в виде свободно закрепленной упругой диэлектрической пленки, на обеих поверхностях которой дискрет - но нанесены металлизированные облас 5 ти таким образом, что металлизированц 14ные области, расположенные с однойстороны диэлектрической пленки, неперекрывают металлизированные области, расположенные с другой стороныдиэлектрической пленки,1403141 ромов Корректор ЛсПатаи оставительехред М,дид Касард акт аказ 2868/44 Тираж 746 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 035, Москва, Ж, Рауш