Способ градуировки вакуумметров

6 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 9) 1 27 00 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ельство С 7/00, 19 ство ССС 7/00, 19 КИ ВАКУУММЕ(57) Изобре умному приб уменьшить п вакуумметро высокого да 5 и 6 поток камеру 2 и тро ени гр адуировкииз камеры 7ез диафрагмы грешнос Подаю ления чза в градуировочную ление в ней сравнив ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ ОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) СПОСОБ ГРАДУИРОВРОВ ют с показаниями градуируемого вакуумметра 1, Через натекатель 9 подают в камеру 2 дополнительный потоки, открыв клапан 8, увеличивают поток газа в нее, снимая при этом показания градуируемого вакуумметра 1.Повышая давление в камере 7, перекрывают поступление дополнительногопотока и регулируют поток газа черездиафрагмы 5 и 6 до первоначальныхпоказаний манометра 10. Повторениемопераций осуществляют последовательное воспроизведение в камере 2 рядадавлений, используемых для проведения единичных измерений, Постояннои дискретно подаваемые части потоков удовлетворяют определенному соотношению. 1 ил., 1 табл.Изобретение относится к вакуумному приборостроению, в частностик образцовым вакуумметрическим установкам, используемым для градуировки вакуумметров5Целью изобретения является уменьшение погрешности градуировки вакуумметров,На чертеже показана схема вакуумной установки, реализующей способ 10градуировки вакуумметров,Установка содержит градуируемыйвакуумметр 1, присоединенный к градуировочной камере 2, которая откачивается через диафрагму 3 известнойпроводимости Б высоковакуумным насосом 4. Через диафрагмы 5 и 6 известной проводимости Б и 11 соответаственно в градуировочную камеру 2иэ камеры 7 высокого давления подают основной поток газа, Клапан 8 служит для перекрытия диафрагмы 5. Через регулируемый натекатель 9 в градуировочную камеру 2 из камры 7 высокого давления подают дополнительный поток газа, К камере 2 присоединен манометр 10 сравнения, а к камере 7 - манометр 11 высокого давле 30Способ градуировки вакуумметровосуществляют следующим образом,После предварительной откачкиградуировочной камеры 2 в нее изкамеры 7 высокого давления через диафрагмы 5 и 6 подают поток Я газа.оПри этом клапан 8 находится в открытом положении, а натекатель 9 - взакрытом,Отсчитывают показания градуируемого вакуумметра 1 и сопоставляютос ними соответствующее значениедавления Р в градуировочной камере 2, рассчитанное по уравнениюО Бо +Бр -а-р, о (1) 45о П от ц Ргде Р . - показание манометра 11 выо 1сокого давления, соответствующее потоку Яо,Одновременно фиксируют показание 50манометра 10 сравнения (для потокаЯ это показание обозначим 1 ).Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель 9дополнительный поток, равный потоку,проходившему ранее через диафрагму5, закрытую затем клапаном 8. Равенство. потоков до и после закрытияклапана 8 устанавливают по равенст(4) оо( оЭтот поток газа создает в градуировочной камере 2 давлениет од(о Давление Р связано с первоначальным давлением Р в камере выо 1сокого давления соотношением:(7) Таким образом; в градуировочной камере 2 последовательно воспроизводится ряд давлений, используемый для проведения единичных измерений По +20о и Щ +2% ) й. 1. 21 о й(п+П )ву показаний манометра 10 до и после закрытия клапана 8 соответственно,Открыв клапан 8, увеличивают по ток газа в градуировочную камеру до величины0 - Р (и +201). (2)Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 1 и сопоставляют1с ним соответствующее давление Р1 в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле:Р = =РП +20(3)1 П о 11Одновременно фиксируют показание 1 манометра 10 сравнения.Прекратив подачу дополнительного потока через натекатель 9 (т.е, закрыв этот натекатель), путем повышения давления в камере 7 высокого давления до величины Р регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 так чтобы показание манометра срав 9нения вновь было равно 1.Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель 9 дополнительный поток, равный потоку, проходившему на предыдущем этапе через диафрагму 5. Вновь открыв клапан 8, увеличивают поток газа в градуировочную камеру до величины(9) 1 К 4 5 6 7 8 9 10 11 Ц /11, 0 285 0,709 1,14 1,57 2 00 2 43 2 86 3 29 Чтобы в каждом порядке измеряемых давлений было проведено в процессе градуировкн не менее 1 единичных измерений, необходимо выполнить условие (1 ) 4): Поскольку постоянная и дискретно подаваемые части основного потока газа, подаваемые иэ камеры 7 высокого давления в градуировочную камеру 2, пропорциональны величинам проводимостей диафрагм 5 и 6, то уравнение (10) описывает также и требуемое соотношение между постоянной Ц и дискретно подаваемой О, частями основного потока, , 2 - 0Е, 1.1, - ,Таким образом, взяв необходимые соотношения проводимостей диафрагм 5 и 6, можно обеспечить практически любое число единичных измерений в каждом порядке, что обеспечит уменьшение погрешности градуировки вакуумметров,Формула изобретения Способ градуировки вакуумметров, заключающийся в подаче в градуировочную камеру изменяемых основного Отсюда получим соотношение междупроводимостями диафрагм 5 и 6 приБ2 - 110Б 1 с(10)йО В таблице приведена эависимостьотношения У, /У, для 41 с . 11и дополнительного потоков газа,многократном уравнивании этих пото-,ков для проведения единичных и:.ме рений, фиксировании давлений в камере при этих операциях и расчететочных значений давлений в камерепо известнЫм зависимостям, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью 25 уменьшения погрешности градуировки,часть основного потока, подаваемогов градуировочную камеру, подают постоянно при проведении единичногоизмерения, а часть - дискретно, при 30 этом отношение подаваемой постоянно части потока Я и подаваемойидискретно части потока Я удовлет 1воряет соотношению З 5 Я/Я(2 - 110)/ Ь О - 1),где 1 с - число единичных измеренийв диапазоне измеряемых давлений, равном десятичномупорядку (К4),а уравнивание дополнительного потока проводят с подаваемой дискретночастью основного потока,1290115Составитель В, Шестак Редактор А, Лежнина Техред Л,Олейник Корректор С. Шекмар Заказ 7891/37 Тираж 799 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4