Способ контроля герметичности полых изделий

,1223072 51 4 3 0 Т ТВ Т АВТО ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ИСАНИЕ И(56) Авторское свидетельство СССРУ 1033883, кл. С 01 М 3/02, 1982.(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение позволяет сократитьвремя контроля герметичности, повысить чувствительность путем повышения концентрации индикаторного газав индикаторной камере и является усовершенствованием изобретения поавт.св. В 1033883 Изделие помещают в вакуумную камеру, затем сообщают его с индикаторной камерой (ИК) и наполняют их до заданного давления рабочим газом. До того же давления наполняют индикаторным газом полость выравнивающей камеры (ВК). Выдерживают изделие в вакуумной камере в течение определенного времени и раз" общают его с ИК, уменьшают объемы ИК и ВК в одинаковое число раз, сообщают ИК с ВК на заданное время. Затем разобщают их и соединяют ИК с масс-спектрометрическим течеискателем. По разности между уровнем индикаторного газа и его диффузионным фо ном судят о величине негерметичнос" В ти изделия,3 ил.122307Изобретение относится к контроль-но-измерительной технике, а именно к контролю герметичности полых изделий, не допускающих контакта с индикаторным газом, и является усовершен ствованием изобретения по авт.св. Р 1033883.Цель изобретения - повышение производительности и чувствительности контроля. 10На фиг, 1 изображена схема устройства для реализации способа; на фиг, 2 - индикаторная и выравнивающая камеры, выполненные в виде силь- фонов; на фиг, 3 - камеры, выполнен ные в виде цилиндров с поршнями.Устройство для реализации способа контроля герметичности полых изделий содержит вакуумную камеру.1, соединенную через запорный орган 2 с от О качивающим устройством 3 и предназначенную для размещения изделия 4.Индикаторная камера 5 соединена с системой подачи рабочего газа, содержащей баллон 6 с рабочим газом, 25 запорный орган 7 и регулятор 8 дав 1 ления, с масс-спектрометрическим течеискателем 9 через запорный орган 10 и с атмосферой через запорный орган 11. Полость изделия 4 сообщается с индикаторной камерой 5 через запорный орган 12. Выравнивающая камера 13 имеет эластичный разделитель 14, образующий,две полости, одна изкоторых (полость 15) сообщается с полостью иэделия 4 через запорный орган 16, а другая (полость 17) соединена с системой подачи индикаторного газа, содержащей баллон 18, регулятор 19 давления и запорный орган 20, через запорный орган 21 - с ать 40 мосферой и через запорный орган 22с индикаторной камерой 5.Индикаторная камера 5 и выравнивающая камера 13 могут быть выполнены в виде сильфонов 23 или в виде цилиндра 24 с перемещающимися в нихпоршнями 25.Способ осуществляется следующимобразом.Изделие 4 помещают в вакуумную камеру 1, которую затем откачивают.Открывают запорные органы 7 и 11 и сообщают индикаторную камеру 5 с сиотемой подачи рабочего газа и с атмосферой и производят продувку камеры 5 рабочим газом.Затем закрывают запорный орган 11,. открывают эапорный орган 12 и сооб 2 1щают полость изделия 4 и индикаторнуюкамеру 5 с системой подачи рабочегогаза, заполняют их рабочим газомдо давления Р и закрывают запорныйорган 7. После этого, открыв запор"ные органы 20 и 21, производят продувку полости 17 выравнивающей камеры 13 индикаторным газом и, закрывзапорный орган 21, наполняют ее индикаторным газом до давления Р . Закрывают эапорный орган 20, Открываютзапорный орган 16 и прецизионно выравнивают давление в полостях 15 и17, изделии 4 и индикаторной камере5 посредством эластичного гаэонепроницаемого разделителя 14. Закрываютзапорные органы 12 и 16, открываютзапорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторногогаза в индикаторную камеру, Черезвремя , определяемое исходя изчувствительности масс-спектрометрического течеискателя 9, регистрируютс помощью последнего диффузионный фон( Оф) индикаторного газа в индикаторной камере 5,После повторной продувки индикаторной камеры рабочим газом вновь создают давление рабочего газа Р 1 в полости изделия 4, индикаторной камере 5и равное ему давление индикаторногогаза в полости 7 выравнивающей камеры 13, после чего производят выдержку в вакуумной камере 1 изделия 4,сообщенного с индикаторной камерой 5,при давлении в вакуумной камере Рфв течение времени ; определяемого.требованиями по герметичности иэделия4. По истечении времени выдержки за"крывают орган 12.Затем уменьшают объемы выравнивающей и индикаторной камер в К раз,тем самым увеличивая давление в нихв К раз, После этого открывают запорный орган 22 и перепускают индикаторный газ из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную ка-меру 5 в течение времени , определяемого по формулеЧщ Ра АКР Р -Р К 2 В(Р+Р )Р+Р -2 Р фполученной из решения дифференциального уравненияаР. В, (Р+Р.)е емщ- -- К деР+РР ЧцРа ф )з 12230описывающего процесс вязкого перетекания газа из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную камеру5 при начальных условиях Р= Р иО,5где Чц,- объем индикаторной камерыдо уменьшения,Р - давление в индикаторной камере и изделии после выдерж.ки изделия в вакуумной каме.Оре и до уменьшения объема1индикаторной камеры,В - величина течи, определяемая проходным сечением трубопроводов между выравниваю 15щей и индикаторной камерами,Ра - атмосферное давление,(цг - коэффициент вязкости инди(каторного газа, 20Ч,рр - коэффициент вязкости ра 1бочего газа,К Р - текущее давление в выравнивающей и индикаторной камерах, 25После этого закрывают запорный орган 22, открывают запорный орган 10и измеряют с помощью масс-спектрометрического течеискателя 9 парциальное давление индикаторного газа виндикаторной камере (Е и по разности измеренных уровней с=с -0, судят о величине негерметичностиизделия,Применение предлагаемого йзобретения позволяет при уменьшении объе"мов выравнивающей и индикаторной камер в К раз уменьшить время выдержки сообщенными указанных камер в К 2раз, тем самым уменьшить общее вреся проведения контроля герметичностиследовательно, повысить производительность, а увеличение концентрациипри этом индикаторного газа в индикаторной камере позволяет зафиксировать более тонкие течи, т,е. повысить1чувствительность,Формула изобретения,Способ контроля герметичности полых изделий по авт.св.В 1033883, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности и чувствительности, перед сообщением индикаторной и выравнивающей камер их объемы, уменьшают в одинако-. вое число раэ.1223072 чм17 рректор С, Шекм 03/44 Тираж 8ВНИИПИ Государственного комитета ССпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж, Раушская наб Заказ 1 одписно 4 5 11 ПП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная,Фии Составитель Л. ВихляевРедактор С. Патрушева Техред Г.Гербер