Интерферометр для измерения углового положения объекта

(511 С 01 В 1/26 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Наг дов огоной ч. 35,97 ИЗМЕРЕНИЯ. содерложенные ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОНРЫТИ(71) Ленинградский орденаКрасного Знамени институт(54)(57) ИНТЕРФЕРОЖТР ДЛЯУГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТАжащий последовательно распо источник монохроматического излуче-ния, светоделитель, плоское зеркало,два отражателя, устанавливаемые наобъекте, и автоколлимационное зеркало и фотоприемник, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения автоколлимационное зеркало;расположено так,что его отражающая поверхность обращена к выходным граням отражателей и составляет угол 45 с раздел 1 ттельной поверхностью светоделителя,а отражатели выполнены в виде пента-.призм и установлены так, что биссектрисы из 45-градусньм углов состаляют угол 45 с отражающей поверхностью автоколлимационного зеркапа.11588Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным устройствам для измерения линейного и углового положения объекта, и может быть также применено в системе вал - код вычислительных устройств.Известен интерферометр для измерения углового. положения объекта, содержащий источник монохроматичес О кого излучения, светоделитель и два .оптически. связанных с ним уголковых отражателя, устанавливаемые на поворачивающемся объекте, причем уголковые отражатели поворачиваются сов местно с объектом, а возникающее при этом изменение разности хода пропорционачьно синусу угла поворота объекта (или косинусу) 3Недостатком данного устройства2 р является низкая точност измерения.Наиболее близким .к изобретечию является интерферометр для измерения углового положения объекта, содержащий последовательно расположенные 1источник монохроматического излучения, светоделитель, плоское верка. ло, два отражателя, устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зеркало и.фотоприемник. В известном интерферометре использованы уголковые отражатели 2 .Недостатком известного ннтерферометра является низкая точность измерения.33Цель изобретения - повышение точности измерения.Поставленная цель достигается тем,40 что в интерферометре для измерения углового положения объекта, содержащем последовательно расположенные .источник монохроматического излуче ния, светоделитель, плосюе зеркало, 45 два отражателя, устанавливаемые на объекте, и автоколлимационное зеркало и фотоприемник, автоколлимациояное зеркало расположено так, что его отражающая поверхность обращена :50 к выходным граням отражателей и составляет угол 45 .с разделительнойповерхностью светоделителя, а отражатели выполнены в виде пента-призм и установлены так, что биссектрисы Я их 4-градусных углов составляют угол 45 О с отражающей поверкностью автоколлимационного зеркала. 60 .2На фиг.- 4 изображены вариантинтерферометра для измерения углового положения обьекта.Интерферометр содержит последовательно расположенные источникмонохроматического излучения 1,гелий -неоновый лазер), светоделитель 2,плоское зеркало 3, два отражателя 4и 5, автоколлимационное зеркало 6и фотоприемник 7.Отражатели 4 и 5 выполнены ввиде пента-призм и установлены ъзк,что биссектрисы их 45-градусныхуглов. составляют угол 45 с отражающей поверхностью автоколлимационного зеркала, Отражатели 4 и 5 устанавливаются на объекте 8..Автоколлимационное зеркало 6расположено так, что его отражающая поверхность обращена к выходнымграням отражателей 4 и 5 и составляоет угол 45 с разделительной поверхностью светоделителя 2,Интерферометр работает следующимобразом.Монохроматическое излучение от .источника 1 монохроматического излучения светоделителем 2 разделяется на два световых пучка и направляется с помощьюплоского зеркала 3 и све-.тоделителя 2 к отражателям 4 и 5, которые поворачивают световые пучки под углом 9 О, к .падающим, Автоколлимационное зеркало 6 возвращает монохроматические световые:потоки обратно к отражателям 4 и 5, Пройдя отражатели 4 и 5 в обратном .на" правлении, световые пучки объединяются светоделителем 2 и попадают на.фотоприемник 7. При повороте объекта 8 на угол ю меняется разность хода лучей в.двух ветвях интерферометра. При этом в правом плече интерферометра (по сравнению с левым) возрастает длина жажа лучей .на величину (д 1+ й), щиищрциональную сумме .в 1 п Ы+ эдпЫ. Пе изменениям фототока фотоприемника 7, обусловленным приращением разности хода в интерферомет" ре вследствие разворота объекта 8 с отражателями 4 и 5,:определяют ,сумму синуса и косинуса угла поворота ббъекта 8, В интерферометрах, построенных по схемам Фиг. 1 и 4, разность хода лучей пропорциональна сумме (зЫ ю(,+ сове 0, а по схемам фиг, 2 и 3, осуществляют измерение разности (з 1 пс(,- созЖ).3Таким образом, с помощью предлагаемого интерферометра можно изме- рять значение алгебраической суммы синуса и косинуса угла поворота объекта 8.Использование предлагаемого интерферометра позволяет повысить точность измерений не менее, чем на1158860 фдва порядка, при регистрации прира щения разности хода в интерферометре В/14 (половины периода изменения фототока),.и отличается от известных отсутствие механического взаимодействия его отдельных звеньев в процессе совершения рабочего цикла и практически свободно от износа./41 ТиражИИПИ Государственнпо делам изобрете 13035, Москва, Ж,51о комитета С й и открытий ушская наб., д.