Инструмент для абразивной обработки

0615 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 19) 4 ВЗ ВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ГОСУД ПО ДЕ НИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 25-0 32. И, Нестеров, Кафтанатьев Бюл.Жалнин, ЮовиВ.Г51088.8)во 1 ФеСпрототип) 1 КР, 1979, 28,1,АБРАЗИВоснование дом, кинемере с одтом, отли- повышения 154) 157) ИНСТРУМЕН НОЙ ОБРАБОТКИ,со со смонтированным на матически связанным п ним эластичным рабоч чающийся тем, что, с Т ДЛЯержащийнем привкрайнейм элемецелью(2) 3498304 (22) 04.10.82 (46) 30.08.84 (72) В. П, К. Ф. Скворц (53) 621.923. (56) 1. Аппа с. 193 в 197 производительности и точности обработки, инструмент снабжен закрепленными на основании кронштейнами, образующими замкнутые полости с окнами для размещения рабочих элементов, расположенных параллельными рядами, н установленными с возможностью осевого перемещения подпружиненными вилками, несущими на одном конце эластичные рабочие элементы в виде тора, а на другом - введенные в инструмент поршни, размещенные в выполненных в основании цилиндрах, соединенных с источником рабочей среды, при этом в основании выполнены каналы и отверстия для подачи амбразивной суспензии в полости.Изобретееие относится к абразивной обработке и может быть использовано цри обработке и эверхностей плоских деталей с высокой степенью плоскостности, например подложек и: кремния диаметром 20 250 мм в производстве интегральных микросхем.Известен инструмент для абразивной обработки, состоящий из основания, вращающегося эластичного рабоче о элемента, представляющего собой сферу, которая приводится во вращение двигателем 1.Известное устройство имеет низкую производительность обработки. Кроме гс) о, оно не обеспечивает заданную точность геометрической формы обрабатываемых 1 одложек болыцого диаметра (120250 мм) из-за большой накапливаемой погрешности при перемещениях инструмента на болыцие расстояния.Целью изобретения является повышение производительности и точности обработки 2011 оставленцая цель дости ается тем, что инструмент для абразивной обработки, содержащий основание со смонтированным на нем приводом, кинематически связанным по крайней мере с одним эластичным рябо 25 чим элемецтсм, снабжен закрепленными на основании кронштейнами, обреЗук)ци)и замкнутые ползсти с окнами для рязхецци рабочих элемс нтов, расположенных Гаря,- лельными рядами, и установленными с Вс)зможностью осевого перемецеция И)дцру.жиненными вилками, гесх ц 5151 ця Г).1 ПГ) м конце эластичные рабочие эл,пы В В;д тора, а на другом - введеныс В ицструм.Нт поршни, размещенные в вь;цо,неццых В ) новации цилиндрах, автономно соеди 1 с:ццх с источником рабочей среды, при этом В О,- новании выполнены каналы и отверспя д,я подачи доразиВнОЙ схсцецзии В цолс)сти.На фи.изображен инструмент, Вцд спереди; ца фиг. 2 - разрез А-Л на фцг.на фиг, 3 - сечение Б Б на фиг. 2; ця фиг. 4 -- сечение В-В на фиг. 2; ца Григ. 5- инструмент, вид сверху; ца фиг. 6то жс вид сцизу; на фиг. 7 - узелця фиг. .Устройство содержит основание 1, двигатель 2, каналы 3 и отверстия 4 для по,1 я ц45 суспензии, вращающие рабочие элемцты 5 в виде тора из эластичного материала, кяж дый из которых надет ца цроточкх в ко Ос 6, изотовлецном заодно с соосной ему ервячной шестерней 7 и закрепленном на Валу 8 вилки 9, которая цодцружинена цружинои;(, с надетой на ее шток 11 квадратного сечения На конце цггокапосажен поршень 2 цилиндра 3, передающий давление ца эл- меп 5. Червячная Нестерня 7 ндхс)ди) с 5 в зацеплении с червяком 14, Ось когорсо параллельна оси штока 11, причем шжнцй Б конец червяка установлен в подцицникс.скольжения 15, запрессованном в поддсркивающем кронштейне 6, а верхний проходит через подшццнцк скольжения 17, расположенный в осн)вации . На этом конце червяка закреплена косозубая шестерня 18, цаходяц,аяся в зяпеЛс ниц с шестерней 19 горизог альцо расположенного перпендикулярв оси штокараспределительного валя 20, передак)цего вращение через промежуточные илиндрические шестерни 21 от двигателя 2 на все рабочие элементы одного ряда и распределительные валы друих рядов. илицдры 13. выполненные в основании 1, необходимы для передачи рабочего давления. Г)цц имеют общую крышку 22 с огверстиями 23 для подачи в цилиндры 3 сжатоп) воздуха. Распределительные валы 20 утеНс)вгНы В пс)ГПи.Никах скольжения 24, зяцрессовяццых в ос;овании 1.,)акрецлсшые ня основании кронштейны 6 Обрдзхют замкнутые пОлОсти 25 дг 1 я рдз- ХЕЦЕНИ 51 РЯООИХ ЗЛЕ)ЕНТОВ О,Инструмент рябс)тает следук)щим обрас)с)рабатВаму 0 1 Лоскую деталь устанавливают В баке сусцензией горизонтально ця сто,с:яцк. МИОГОПОзииое 1 ныЙ интрухц Подвод 5 п к детали сверху до тех ш)р, .Окя оц це рижмется с небольшим хилия к Обрабатываемой поверхности де гали опорной поверхностью кронштейна 16, пи ж ц 51 я ПОВр хц ость кГ)то)Г) го покрыта элдсГц ццм материалом для того, чтобы избежать повреждения обрабатываемой поверх)сти. Во время обработки многопозиционЫй инструмент (го осцование) остаетсяК)двцжным, а дс таль ермешается Вместе сх) Огвх танка В гоРизсцтальцой цлоскосВ ДВХ Взац х 1 Цо ЦСРПЦДЕКЪЛ 5 РЫХ цап РаВ- лсциях цо командам ЗВУ,.хс)цстрх ке 51 и истрмгчпя позволяе Г осуцВствлять обработку как всеми рабочими э.емепями 5 Г)деовэемеццо (когда они все ц;двсдсны к Оорабагываемой поверхности), т;к и отдГьнли В лк)бом сочетании. Ввод сс)с)твествуоцег) элемента в работу осупесВ.5 ется ПГ)дачей сжатого воздуха В соотВс тствукнций цилиндр 13, Необходимость Ввода В работу данного элеметя определяется наличием отклонения рофиля поверхности с)г трег)ххГ)гс) профиля.1 ри Вряие:иц эластичных элементов 5 ця их пс)верхГк Гях возникает пограничный лой сусицзин. который движется со ско- РОСГЬЮ. РЯВВй СКОРОСТИ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕМЕНта, ),1 менты 5 рижцмакпся к обрабатываемой сцсрхц)ти с усилием в несколько сот грамм,и таком )сигии црижети 51 ПГ)раничыЙ ло хспсц,и В месте приждтия це рдзрм:яея, а в) шикает сц)стояние жидкои смазки, Олц;и я этого пограничцого слоя состав- ЛЯЕ ЦСКОЛЬКО МИКРОН. СВЕРХМЕЛКИЕ ЧаСтИЧ- кц К)И)шка, цяходящися В пограцино)1 ве супензии ц движу Неся с болыцой скоростью. сох дапяютя с ОбпабапПамой оверхвстьо и осущспляют удаление микпоскоцических ча тцчек матс риала.113Использование изобретения позволяет повысить производительность, точность геометрической формы, процент выхода годных 10615 на 7 в 12% при эластичной обработке полупроводниковых подложек интегральных микросхем большого диаметра.едактор Т аказ 5926 лов ВНИИПИ Гпо дела113035, Моска нлиал ППП ПСостави.ель А Техред И. Верес Тираж 736 су тарственкого ко м иэабретении и а, Ж - .35, Ра ушс к тена, г. Ужгород, итета С открытий я наб., ул. Про орректор И. й 4 усодписноеСР