Устройство для распознавания дефектов изображений объектов

102335 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 06 К .946 САНИЕ ИЭОБРЕТ нктронво ССС976. БЬЕКТОВ,чики,спреды подормиро- соеФормиор, подателюпервуюкоторыхимпульвыходы ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТИРЫТИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Московский институт эленой техники(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ Осодержав(ее телевизионные датвходы которых соединены с раделителем импульсов, а выхоключены к соответствующим фвателям сигналов, детекторы,диненные с соответствуищимирователям сигналов, селектключенный к одному Формировсигналов и к блоку памяти,группу элементов ИЛИ, входысоединены с распределителемсов и с одним детектором, а подключены к блоку памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенные к блоку регистрации, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности распоэнавания, оно содержит счетчик, соединенный с блоком памяти, с распределителем импульсов, с блоком регистрации и .с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входа которых подключены к другому детектору и к распрделнтелю импульсов, а выходы соединены с блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ, сое-диненный с распределителем импульсов, вторую группу элементов Я входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем нмпульсон, н третью групиу элементов ИЛИ, входы которых подключены к , Я выходам элементов И первой,и второй групп, а выходы соединены с блоком регистрации.Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и можетбыть использовано при построенииавтоматических систем контроля ираспознавания изображений изделиймикроэлектроники, в частности, дляконтроля фотошаблонов, кристал"лов ИС, печатных плат и т.п. по внешнему виду.Известно устройство для выянления дефектов изображений объектов,.содержащее два телевизионных датчйкаблок синхронизации, вход которогосоединен с входами телевизионныхдатчиков, блок нидеоконтроля, дваФормирователя видеосигнала, блок выделения начал проводников, блок памяти, регистр начал проводников,счетчик координат, элемент И, триггер режима, элемент совпадения начал проводников 1 .Недостатком этого устройства является низкая достоверность распознавания за счет наличия зависимости результатов контроля от размеров и местоположения дефектов впроводниках. Например, площадь проводника может не меняться при определенных размерах и.местоположенияхдефектов типа разрыв и фзакороткаф.Наиболее близким к предлагаемому является устройство, содержащеетелевизионные датчики, выходы которых через Формирователи импульсовподключены к детекторам связных областей, блок памяти соединенный сраспределителем импульсов и с группой элементов ИЛИ, входы которых сое"динены с распределителем импульсов,подключенным к триггеру и к блокурегистрации, селектор, подключенныйк формирователю сигналов и к блокупамяти 2Данное устройство характеризуется достаточно высокой ненадежностькраспознавания.Цель изобретения - повышение надежности распознавания,Поставленная цель достигается тем,что н устройство, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов,а выходы подключены к соответствующим формирователям сигналов, детекторы, соединенные с соответствующимиформирователями сигналон, селектор,подключенный к одному Формирователюсигналов и к блоку памяти, первуюгруппу элементов ИЛИ, входы которыхсоединены с распределителем импульсон и с одним детектором, а выходыподключены к блоку. памяти, триггер,один вхоД которого соединен с распределителем импульсов, подключенным к блоку регистрации, введенысчетчик, соединенный с блоком памяти и с распределителем импульсов с блоком регистрации и с другим входомтриггера, вторую группу элементовИЛИ, входы которых подключены к дру"гому детектору и к распределителюимпульсов, а выходы соединены с5 блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены ктриггеру и к распределителю импульсов, элемент НЕ, соединенный сраспределителем импульсов, вторую1 О группу элементов И, входы которыхсоединены с триггером, с элементом НЕ.и с распределителем импульсов, итретью группу элементов ИЛИ, входыкоторых подключены к выходам эле 15 ментон И первой и второй групп, авыходы соединены с блоком регистра-ции.На Фнг.1 представлена блок-схема устройства; на фиг.2 и 3 - конст-О руктивное выполнение селектора и распределителя импульсон,Устройство содержит телевизионныедатчики 1 и 2, формирователи 3 и 4сигналов, детекторы 5 и б связных. областей, селектор 7 начал проводни 25ков, первую 8, вторую 9 и третью 10группы элементов ИЛИ, блок памяти11, счетчик 12, триггер 13, элементНЕ 14, первую 15 и вторую 16 группыэлементов И, распределитель 17 им 30 пульсов и блок 18 регистрации. Приэтом селектор 7 содержит группуэлементов задержки на строку 19,группу элементов задержки 20 наэлемент разложения в строке, эле 3 менты ИЛИ-НЕ 21 и элемент 22 И, араспределитель импульсов содержитсинхрогенератор 23, счетчик 24 циклов, элементы 2 И-ИЛИ 25-28, счетчики 29 и 30 адреса.Устройство работает следующимобразом.Видеосигналы разверток контролируемого и эталонного иэображений,которые синхронизируются импульсамираспределителя 17,поступают с выходовтелевизионных датчиков 1 и 2 соответственно на входы формирователей 3и 4, с выходов которых на входы де.текторов 5 и б поступают квантованные по уровню видеосигналы,Детекторы 5 и б преобразуют квантованные видеосигналы точек иэображения в коды, так что коды отображают принадлежность точек изображенияк соответствующим связным областям.55 Кодирование проводников осуществляется по следующему правилу. Каждыйпроводник или объект изображениярассматривается как совокупностьсвязных хорд. Если хорда не имебО ет связных с нею на предыдущей стро"ке, т.е, является начальной хордойновой связной области, то ей присваивается новый код. Если же сканируемая хорда имеет снязную с нейхорду на предыдущей строке, то ейприсваивается код связной хорды.После кодирования все точки одного проводника имеют одинаковые коды, а точки принадлежащие разниц проводникам, имеют разные коды, Сигналы кодов с выходов детекторов 5 и б че рез элементы ИЛИ первой и второй групп 8 и 9 поступают на соответствующие адресные входы блока 11, Второй квантованный видеосигнал посту пает на вход селектора 7, который за держивает видеосигнал на время дли" тельности трех строк и девяти элементов разложения с помощью элементов задержки 19 и 20 соответственно.Задержанные видеосигналы подаются на входы группы элементов ИЛИ-НЕ 21 и элемента И 22, На выходе элемента И 22 появляется сигнал с уровнем 11 только в точках начал проводников в эталонном иэображении.Импульсы с выхода селектора 7 по,ступают на вход фзапись-считывание блока 11. Если на этот вход блока 11 подается сигнал с уровнем 1, то блок 11 работает в режиме записи, а если с уровнемфО, то в режиме считывания.Первый и второй адресные входы блока 11 служат для выборки соответственно строк и столбцов МОЗУ. Во время развертки исследуемого и эта- З лонного изображений блок 11 работает на запись поэтому в ячейку с соответствующим адресом будет записана ф 1 фф если на первый и второй адресные входы этой ячейки приходит сигнал. В 35 момент окончания развертки изображений число11 накопленных в соот" ветствующей строке МОЗУ равно числу эакороченных проводников в Фигуре.исследуемого изображения, а число 4 ц 1 ф накопленных в соответствующем столбце МОЗУ равно числу разрывов в соответствующем проводнике. При завершении развертки изображений с выхода селектора 7 выдается сигнал с уровнем фО и устройство переходит в режим считывания информации с блока 11.Режим считывания разделяется на два цикла. В первом цикле происхо дит считывание информации со столбцов МОЗУ, а во втором цикле - со строк МОЗУ. В момент окончания раз.вертки изображений с третьего выхода синхрогенератора 23 распределителя 17 выдается импульс разгрузки55 счетчика циклов 24 в состояние ф 2 , при этом иа его первом выходе будет сигнал логической ф 1 ф, а на втором выходе сигнал логического Офф.Тактовые импульсы со второго вы хода синхрогенератора 23 через элемент 2 И-ИЛИ 25 поступают на счетный вход счетчика адреса 29, который формирует сигналы адреса для выборки соответствукцих столбцов МОЗУ. Импульсы с второго выхода счеТЧика 29 через элемент И-ИЛИ 26 поОТУпают на счетный вход счетчика адРеса 30 у который формирует сигналы а)реса для выборки соответствующих строк МОЗУ. Через определенное время пос ле начала считывания со второго выхода счетчика 30 через элемент 2 И-ИЛИ 28 на счетный вход счетчика циклов 24 проходит импульс, который изменяет его состояние на 1 ф, поэтому на его первом выходе будет сигнал лог 10 1, а на втором выходелог,1 ф. При этом тактовые импульсы будут проходит на счетный вход второго счетчика адреса, со второго выхода которого импульсы поступают на счетный вход счетчика 29. Счетчик 12 подсчитывает число 1, накопленных в каждом столбце (стро"ке) МОЗУ. После окончания считыванияинформации с каждого столбца (стро- кИ) МОЗУ с распределителя 17 выдаются импульсы на установку счетчика 12в исходное состояние -1 Если число ф 1 ф в столбце (строке) МОЗУ больше единицы, то на выходе счетчика 12 появляется сигнал фдефекта, который устанавливает триггер 13 в 11 и элементы И 15 и 16 первой и второй группы открываются и на вход блока 18 выдается код проводникаимеющего дефект. Тип дефекта (разрыв или закоротка определяется циклом.считываиия, так при считывании информации по столбцам МОЗУ определяется наличие фразрывовф в проводниках, а при считывании по строкам - наличие фзакоротокф. Номер цикла определяется уровнем сигнала (логОфф или 1 ф) с соответствующего выхода распределителя, который также подается на вход блока 18. Первый цикл считывания соответствует уровню лог. ф 1 ф, а второй цикл считывания - лог. ф 10 ф. Так как при распознавании дефектов используется только Факт наличия или отсутствия связностимежду соответствующими точками начал проводников в контролируемом изображении и никаких ограничений на Форму, размеры и местоположение дефектов в про.-.: водниках не накладывается, то результаты распознавания дефектов спомощью предлагаемого устройства не будут зависеть от Формы, размеров и местоположения дефектов в проводниках,Введение новых узлов и элементовпозволяет существенно повысить надежность распознавания.Составитель Т.НичипТехред В.Далекорей и едакто ректор А. Иль 215/3 Б Тираж 706 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, Ра