Устройство для подгонки пленочных резисторов

(22) Заявлено 27.01.81 (21) 32 ч 5039/18-21 с присоединением заявки леОпубликовано 15,01,83Бюллетень М 2 еф лелем изобретение и етерыткйДата опубликования описания 15.01.83. институт им. акад".) Заявител Куйбышевский авиа 5 Й) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ПЛЕНРЕЗИСТОРОВ ктродскойлектровдние 5 Кроме того, точност ь под гонки резисторов недостаточно высокая вследствие большой апертуры разряда.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор факель.2 о ного разряда, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генераторг факельного разряда е точЦель ности иетения - повыш нки резист Изобретение относится к микроэлектронике и предназначено для прецизионной подгонки пленочных резисторов.Известны устройства для подгонки пленочных резисторов, которые со" держат один или два рабочих электро". да и генератор высокой частоты 1 "1.Причем мощность генератора достаточно высокая (20-100 Вт), а КПД1 О устройства составляет несколько процентов. 2В этом устройстве один эле(рабочий)выполнен в форме плопластины, а вспомогательным эдом служит металличеокое оснопредметного столика 2 3.Это устройство обладает невысоким КПД, так как интенсивность разряда зависит от величины тока высокой частоты, протекающего между двумя электродами, а ток высокой частоты, в свою очередь, зависит от емкости между двумя электродами, которая составляет очень малую величину 1,10 "-10 пФ) и зависит от расстояния между электродами и площади торца рабочего элек трода. Причем возрастание тока высокой частоты путем увеличения площади торца электрода снижает точность подгонки резисторов, так как происходит увеличение размера апертуры раз ряда.Указанная цель достигается тем, что в устройство для подгонки пленоч.- ных резисторов, содержащее генератор факельного разряда, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генератора факельного разряда, введе,- на катушка индуктивности, выполненная в виде половины однополостного гиперболоида и включенная между первым вЫ О ходом генератора и рабочим электродом, а длина рабочего электрода определена формулой е = 1-." Се - -1 15 1 е. = -2где м) - круговая частота генератора факельного разряда. При этом ус, ловии в колебательном контуре ингде д - расстояние между электродами,5 - площадь меньшего торца индуктивностиг - радиус рабочего электрода; 201 - длина рабочего электрода.На чертеже представлена ;.функцио"нальная схема устройства,Оно содержит генератор 1 факельного разряда, индуктивность 2, рабочий электрод 3, вспомогательный электрод 11,Устройство работает следующимобразом,Подложка 5 с пленочным резистором 30(не показан) располагает ся на вспомогательном электроде 11. Рабочийэлектрод 3 подводится под требуемыйучасток пленочного резистора и включа-ется генератор 1 факельного разряда. За счет протекания токов высокойчастоты возникает факельный разряд,локально удаляющий участок пленочного резистора.Наличие вспомогательной индуктивности оптимизирует условия возникновения и протекания разряда,Систему индуктивность-электродыможно рассматривать как последовательный колебательный контур с резо 1 45нансной круговой частотой оСсгде 1. - величина индуктивности; СР - 50емкость между электродами. Величина индуктивности Е - выбрана равной дуктивность-электроды течет максимальный ток, а значит система работает с максимальным КПД, Также токи высокой частоты проходяти через паразитные емкости С и Сот торца и боковой поверхности индуктивности к вспомогательному электроду, Токи от боковой поверхности индуктивности мало влияют на КПД устройства вследствие своей малости,так как они текут через цепь, состоящую из верхней части индуктивностии боковой емкости С и имеющую. резонансную частоту, отличную от частоты генератора факельного разряда,Уменьшение площади нижнего торца индуктивности путем придания ей формыполовины однополостного гиперболоидауменьшает паразитную емкость Сп, всравнении, например, с выполнениеминдуктивности в форме усеченногоконуса,Для того чтобы устройство имелевысокий КПД, должно соблюдаться условиеСтС (41пр ер се Рябе еаеер-и- ,+Егде Ц , Е - абсолютная и относительная диэлектрические проницаемости; г - радиус рабочего электрода; д расстояние между электродами; 5 площадь меньшего торца индуктивности;- длина рабочего электрода.Решение неравенства (1) относительно 1 дает условие для длины рабочего электродаВ связи с тем, что уменьшение длины рабочего электрода резко увеличивает паразитную емкость Сп от торца индуктивности, а его увеличение ограничивается как конструктивными соображениями (ухудшается жесткость рабочего электрода), так и спо собствует росту боковой емкости С е то оптимальным можно считать отношениеО/3=1-ЗНеобходимо отметить, что диэлектрическая проницаемость материала подложки не влияет на величину выведенного соотношения,