Способ изготовления интегральных магнитных головок

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 20.11.81 (21) 3355816/18-10 1) М.КП,с присоединением заявки Мо(23) Приоритет С 11 В 5/42 Государственный комнтет СССР по делам нзобретеннй н открытий(71) ЗаявительЕ 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛГНИЯ ИЕЕТЕГРАЛЬЕЕЫУ. МАГЕЕЕЕТНКЕХГОЛОВОК Изобретение относится к магнитной записи, а именно к способам изготовления интегральных магнитных головок.Известен способ изготовления интегральных магнитных головок путем нанесения на основу-шаблон пленочной обмотки, диэлектрических слоев и пленки магнитного сердечника 1 ).Данный способ позволяет обеспечить относительную простоту процесса изготовления интегральных магнитных головОк, однако он не обеспечивает изготовления многовитковых интегральных магнитных головок.Известен также способ изготовления интегральных магнитных головок путем последовательного нанесения на немагнитную пластину первой части обмотки диэлектрического слоя, пленки магнитного сердечника и диэлектрической пленки, формирования второй части обмотки осаждением электропроводящего слоя и его протравливанием и обработки рабочей поверхности до достижения заданной глубины рабочего зазора 2 ).Известный способ обеспечивает изГотовление многовитковых интегральных магнитных головок, однако неФ позволяет обеспечить высокую прочность изготовленных в соответствии с ним интегральных магнитных головок из-за слишком большой многослойности их конструкции, что приводит к значительной сложности процесса изготовления интегральных магнитных головок.Цель изобретения - упрощение процесса изготовления и повышение прочности интегральных магнитных головок.Поставленная цель достигается тем, что нанесение первой части обмотки, производят осаждением электро-. проводящих полос ионным легированием, затем в немагнитной пластине ионноплазменным травлением формируют паз, в котором осуществляют нанесение диэлектрического слоя и пленки магнитного сердечника, а при формировании второй части обмотки против электропроводящих полос первой части обмотки в диэлектрической пленке протравливают окна, в которых осуществляют осаждение электропроводящего слоя.На фиг, 1-3 представлены варианты изготовления интегральной магнитной головки по предлагаемому спосо 980145Интегральные магнитные головки изготовляют следующим образом.На немагнитную пластину 1 из диэлектрического или полупроводнико вого материала наносят первую часть обмотки. Нанесение первой части обмотки производят осаждением электропроводящих полос 2 ионным легированием. После нанесения первой части обмотки в немагнитной пластине 1 ионноплазменным травлением формируют паз 3, который в данном случае выполнен замкнутым и имеет выступ 4, определяющий ширину и глубину рабочего зазора. Однако паз 3 может иметь .и другие формы, определяемые конструкцией изготавливаемой интегральной магнитной головки, После. формирования паза 3 в нем осуществляют последовательное нанесение диэлектрического слоя 5 и пленки б магнитного сердечника, осаждаемых электронно-лучевым испарением, Затем притирают поверхность немагнитной, пластины 1 до вскрытия электропроводящих полос 2 первой части обмотки, электронно-лучевым испарением наносят 25 диэлектрическую пленку 7 и формируют вторую часть обмотки. Формирование второй части обмотки производят осаждение электронно-лучевым испарением электропроводящвго слоя 8 и его про травливанием. Причем при формировании второй части обмотки против электропроводящих полос 2 первой части обмотки в диэлектрической пленке 7 протравливают окна 9, в 35 которых осуществляют осаждение электропроводящего слоя 8, протравлиЬание которого обеспечивает формирование обмотки. После формирования обмотки производят обработку рабочей 4 п поверхности до достижения заданной глубины рабочего зазора. Использование изобретения позволяет в значительной степени упростить процесс изготовления интегральных магнитных головок и повысить их прочность.Формула изобретенияСпособ изготовления интегральных магнитных головок путем последовательного нанесения на немагнитную пластину первой части обмотки диэлектрического слоя, пленки магнитного сердечника и диэлектрической пленки, формирования второй части обмотки осаждением элвктропроводящего слоя и его протравливанивм и обработки рабочей поверхности до достижения заданной глубины рабочего зазора, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса изготовления и повышения прочности интегральных магнитных головок, нанесение первой части обмотки, производят осаждением электропроводящих полос ионным легированием, затем в немагнитной пластине ионноплазменным травлением формируют паз, в котором осущеСтвляют нанесение диэлектрического слоя и пленки магнитного сердечника, а при формировании второй части обмотки против электропровадящих полос первой части обмотки в диэлектрической пленке протравливают окна, в которых осуществляют осаждение электропроводящего слоя.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент ФРГ 9 2833249,кл. С 11 В 5/16, 07,02.80.2. Патент США Р 4195323,кл . 360/113, 25 .03 .80 (прототип) .980145 Составитель 6.-1:.РозенкранцРедактор Л,Пчелинская Техред О. Веце орректор О,Билак ПодписноеСР Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,акаэ 9367/41 Тираж 62 ВН)ШПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, Раушскомитета СС открытийая наб., д. 4