Устройство для измерения параметров интегральных схем

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик АНИЕ К АВТО М СВИДЕТЕЛЬСТВтносится к электроннои быть использовано для ров интегральных схем.ство для контроля парасодержащее програмапряжения, соединенный 5 авляющего сигнала, реерителем напряжения, акже через токосъемный ный схемой управления, редственно с коммутаточерез измерительную ым прибором 1. к т Известно также устройство для ко ля параметров микросхем, содержащее граммный источник напряжения, соед ный с генератором управляющего сиги регистратором, измерителем напряже коммутатором, а также через токосъе резистор, снабженный схемой управл непосредственно с коммутатором, соед ным через измерительную линию с и туемым прибором, последовательно диненные генератор строб-сигнала, с сующий трансформатор и ключ, подкл ные к генератору управляющих сиги Недостатком ляется неконтр измерительных ток оказывает з ность измерени ройства в мно троля параметр вклад тока ут роке невозмож Изобретение о технике и может измерения параметИзвестно устрой метров микросхем мный источник н с генератором упр гистратором, изм коммутатором, а т резистор, снабжен с памятью и непос ром, соединенным линию с испытуем тро- про 15 ала, ния, мный ния, нен- спы- сое- огла- юченалов,МЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРЫХ СХЕМ а ключ подключен параллельно и к токо- съемному резистору 2.Наиболее близким техническим решениемизобретению является устройство для конроля параметров интегральных схем, содержащее программное устройство, схему управления, задатчик исходных режимов, источник напряжения с повторителем в цепи обратной связи, источник эталонного напряжения, программируемый источник тока, первый вход которого соединен со схемой управления, второй - с источником эталонного напряжения, а выход через нуль- индикатор связан с источником напряжения, входом подключенным к схеме управления, другой вход которой соединен с нуль-индикатором 3. указанных устройств яволируемость тока утечки в линиях и повторителе, Этот начительное влияние на точя при использовании устгопостовом комплексе конов интегральных схем. Учесть ечки при начальной калибно, поскольку распределение972423 потенциалов в устройстве изменяется от теста к тесту, и соответственно меняется ток утечки, Кроме того, изменение параметров окружающей среды, например темг 1 ературы и влажности воздуха, оказывает значительное влияние на точность измерения вследствие изменения сопротивления изоляции в измерительных линиях, коммутаторе и разъемах.Целью изобретения является повышение точности измерения токов,Поставленная цель достигается тем, чтов устройство для измерения параметровинтегральных схем, содержащее программатор, выход которого соединен с первымвходом схемы управления, первый выходкоторой подключен через задатчик режимов к входу испытуемой схемы, второй выход соединен с первым входом источникаРиспытательного напряжения, а третинвыход - с первым входом программногоисточника тока, второй вход которого соединен с выходом источника эталонного напряжения и вторым входом источникаиспытательного напряжения, третий входкоторого подключен к выходу повторителя, вход которого соединен с выходомисточника тока и первым входом нульиндикатора, второй вход которого подключен к выходу источника испытательного напряжения, а выход - к второмувходу схемы управления, введены коммутатор и дополнительный источник тока, первый вход которого соединен с четвертым выходом схемы управления, пятый выход которой подключен к первому входу коммутатора, второй вход которого соединен с выходомиспытуемой схемы, а выход подключен квходу нуль-индикатора и выходу дополнительного источника тока, второй вход которого соединен с выходом источника эталонного напряжения.На чертеже представлена блок-схемапредлагаемого устройства.Устройство содержит программатор 1,соединенный через схему 2 управления с задатчиком 3 исходных режимов и программируемым источником 4 испытательногонапряжения, задающим испытательный режим на испытуемую интегральную схему 5.Цепь обратной связи источника 4 подсоединена через повторитель 6 к входу нульиндикатора 7, к которому подключен такжепрограммируемый источник 8 тока, дополнительный источник 9 тока и коммутатор 10,который вторым входом соединен с испытуемой схемой 5. Второй вход нуль-индикатора 7 подключен к выходу источника 4.Схема 2 управления соединена с выходомнуль-индикатора 7 и с управляющими входами источника 8, источника 9 и коммутатора 10. Аналоговые входы источников 4,8 и 9 подсоединены к выходу источника 11эталонного напряжения,5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Устройство работает следующим образом.В соответствии с программой, переданной из программатора 1, схема 2 управления устанавливает задатчик 3 исходных режимов и программируемый источник 4 испытательного напряжения в состояние, необходимое для контроля интегральной схемы 5. Ток программируемого источника 8 тока задается равным нулю.При отключенном с помощью коммутатора 10 источнике 4 испытательного напряжения от контролируемой интегральной схемы 5 по сигналу из схемы 2 управления компенсирующий источник 9 тока задает ток, уравновешивающий токи утечки в силовой цепи источника 4, во входных цепях повторителя 6, во входных цепях коммутатора 10 и начальный ток источника 8 тока. При этом источник 4 задает на входе коммутатора 10 напряжение, необходимое для последующего контроля интегральной схемы 5.В момент равенства компенсирующего тока, задаваемого источником 9, и токов утечки в силовых и входных цепях нуль- индикатор 7 вырабатывает сигнал, который через схему 2 управления поступает в дополнительный источник 9, фиксируя значение компенсирующего тока.Затем, в соответствии с программой, поступающей из программатора 1, коммутатор 10 подключает испытуемую схему 5 через нуль-индикатор 7 к источнику 4, и с помощью программируемого источника 8 происходит уравновешивание тока в силовой цепи источника 4,В момент равенства нулю суммы токов источника 4, программируемого источника 8, дополнительного источника 9 и испытуемой схемы 5, нуль-индикатор 7 вырабатывает сигнал, который через схему 2 управления фиксирует величину тока источника 4. Величина этого тока является контролируемым параметром испытуемой схемы 5. Повторитель 6 подключен своим входом через коммутатор 10 к выводу испытуемой схемы 5. Такое включение позволяет поддерживать на выводе испытуемой схемы 5 заданное напряжение при изменении сопротивления силовой цепи источника 4 и нуль-индикатора 7.Таким образом, с введением дополнительного источника тока и коммутатора тока утечки в силовых и входных цепях не оказывают влияния на результат измерения тока схемы 5. Погрешность в результат измерения вносит толька ток утечки на отрезке силовой цепи между коммутатором 1 О и контролируемым выводом испытуемой схемы 5. Этот отрезок значительно меньше общей длины силовой цепи и соответственно величина тока утечки этого отрезка составляет порядка 0,1 - 0,001 величины скомпенсированного тока.9724235Поскольку минимальный ток, который может быть измерен, ограничивается током утечки, компенсация тока утечки позволит уменьшить минимальную величину измеряемого тока в 10 в 1 раз и повысить точность измерения тока в наноамперном ди апазоне. Формула изобретения Устройство для измерения параметров10 интегральных схем, содержашее программатор, выход которого соединен с первым входом схемы управления, первый выход которой подключен через задатчик режимов к входу испытуемой схемы, второй выход соединен с первым входом источника испытательного напряжения, а третий выход - с первым входом программного источника тока, второй вход которого соединен с выходом источника эталонного напряжения и вторым входом источника испытательного 20 напряжения, третий вход которого подключен к выходу повторителя, вход которого соединен с выходом источника тока и пер 6вым входом нуль-индикатора, второй вход которого подключен к выходу источника испытательного напряжения, а выход к второму входу схемы управления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения токов, в него введены коммутатор и дополнительный источник тока, первый вход которого соединен с четвертым выходом схемы управления, пятый выход которой подключен к первому входу коммутатора, второй вход которого соединен с выходом испытуемой схемы, а выход подключен к входу нуль-индикатора и выходу дополнительного источника тока, второй вход которого соединен с выходом источника эталонного напряжения. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3423677,кл. 324 - 73, 1969.2. Авторское свидетельство СССР615432, кл. б 01 К 31/26, 09.10.75.3. Авторское свидетельство СССР417748, кл. б 01 К 31/26, 06.04.72 (прототип) .яно едактор В. Данкоаказ 7676/37 КорректорПодписноемитета СССРоткрытийая наб., д. 4/5ул. Проектная Составитель Н. ШТехред И. ВересТираж 7 7ВНИИПИ Государственного копо делам изобретений и113035, Москва, Ж - 35, РаушскФилиал ППП Патент, г. Ужгород,Коро