Устройство для полирования плоских поверхностей

О П И С А Н И Е и)958079ИЗОВЕЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскмкСоцмвпмстическмаРеснублмк в(5 )М. Кл, В 24 В 37/04 ФЬауаарставиюиа камятвт СССР ав дедам язобрвтвикк и атврмтнй(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛИР ПОВЕРХНОСТЕНИЯ ПЛОСКИ На фиг. 1 изобрустройство; общийфиг. 2 - разрез Аено предла гаем д в разрезе; н на фиг. 1. л кающеи на кронто ког 2 огается тем,волнообрази рабочегодинах дна,нымсос тверстия дл пода о вп ва расположены Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов для полирования плоских поверхностей.Известно устройство для бесприклеечной полировки деталей, содержащее полировальный блок, выполненный в виде нажимного диска с емкостью для размещения рабочего состава и отверстиями для подачи его в рабочую зону, демпфирующей прокладки и сепаратора с окнами для размещения заготовок 13.Недостатком данного устройства является налипание твердых частиц рабо" 15 чего состава на дно емкости.Цель изобретения - повышение эффективности подачи рабочего состава в зону обработки.Поставленная цель дости что дно емкости выполнено На вращающемся инструменте-шлифовальнике .1 установлен полировальный блок, состоящий иэ нажимной плиты 2, демпфирующей прокладки 3, под которой размещен сепаратор 4 с центральным сквозным отверстием 5 и окнами, в которых размещены стеклянные заготовки 6, На нажимной плите 2 выпо нена емкость 7 для приема доз 8 полировальной суспензии, исте из капельницы 9, закрепленной штейне 10 с таким расчетом, ч да полировальный блок находится в отведенном от капельницы 9 крае шлифовальника 1 доза суспенэии свободно падает на верхнюю поверхность шлифовальника 1. При нахождении полировального блока под капельницей 9 доза полировальной суспенэии падает в емкость 7.3 9580Дно емкости 7 выполнено волнообразным, во впадинах 11 размещены ка. налы 12, по которым доза 8 полиро- вальной суспензии перетекает в пространство центрапьного сквозного 5 отверстия 5 сепаратораи падает на рабочую поверхность шлифовальника 1 со стороны, расположенной ближе к центру вращения полировального блока стеклянной заготовки, оВо вреыя подготовки рабочего процесса на предваритепьно смоченный полировальной суспенэией шлифовальник 1 устанавливается сепаратор , в кон- цах которого размещаются стеклянные 15 заготовки б.На стеклянные заготовки б накладывается демфирующая прокладка 3 и нажимная плита 2, в осевое гнездо которой вставляется рычаг поводка 13.20 Для проведения рабочего процесса приводится во вращение шлифовальник 1 и в возвратно-поступательное движение поводок 13, который перемещает полировальный блок по шлифовал 4 нику 1 эа счет разности сил трения, возникающих между соприкасающимися поверхностями шлифовальника 1 и обраба" тываемых стеклянных заготовок б, приводится во вращение полировальный блок. Включается в работу капельница 9, дозы 8 полировальной суспензии попадают на верхнюю поверхность шли," фовальника 1 поочередно: на открытую35 поверхность - при отведенном от капельницы 9 полировальном блоке,в емкость 7 - при расположении полировального блока под капельницей 9 Доза 8 полировальной суспензии, попадая в 79 4емкость 7, стекает по наклонной поверхности волнообразного дна в канал12. Далее она падает на поверхностьшлифовальника 1 и захватывается поверхностью стеклянной заготовки, расположенной ближе к центру вращения полировального блока,Попадание свежего раствора поочередно то с одной стороны полируемойповерхности, то с другой обеспечиваетповышение точности и чистоты обрабатываемых поверхностей, производительностиоборудования и повышение процента выхода годных изделий, а выполнение для емкости волнообразнымобеспечивает более быстрое стекание.суспензии и устраняет налипание твердых частиц на стенках емкости,Формула изобретенияУстройство для полирования плоскихповерхностей, содержащее полировальный блок, выполненный в виде нажимного диска с емкостью для размещения .рабочего состава и отверстиями дляподачи его в рабочую зону, демпфирующей прокладки и сепаратора с окнами для размещения заготовок, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности подачирабочего состава, дно емкости выполнено волнообразным, а отверстия дляподачи рабочего состава расположеныво впадинах дна,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССР703315, кл. В 2 В 37/ОЬ, 1976., д филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная,Тираж 886ИИПИ Государственного комоо делам изобретений и35, Москва, Ж, Раушск Подп итет ткры я на сное ССС ий