Зондовое устройство

Союэ СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯВТОРСМУ СДЕЛЛэСТУ пи 951484(5 )М, Кл. Н 01 Ь 2 О 66 ЬеударожнныВ каентвт СССР в делам изобретений н открытий(53) УДК 621, 3 15.684 (088.8) Дата опубликования описания 18.08,82 д(72) Авторы изобретен 71) Заявител ЗОНДОВОЕ УСТ ОйстВ ейстагни ЦеностиэлектризмСВЧ м: ышение точения влияниярезультатыраметров ль изобретенияизмерения путемомагиитных помеерений электрически посн труктур.ставленная цель д зондовом устройс, кон тактирующи тол, размещенный а с возможность остигается тем, ве, содержащем узел предмРт Ма основании перемещения по о. что корпу ный корпус Изобретение относится к приборам точной механики, в частности к контрольно-измерительному оборудованию для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов и структур на пластине.Известно зондовое устройство, содержащее корпус, неподвижное нижнее основание, выполненное из магнитного материала, верхнее подвижное основание с, токопроводящими катушками, разделенное воздушной подушкой с возможностью взаимных координатных перемещений под д вием изменяющихся по программе м тных полей 1.Однако это устройство характеризует ся не достатафпвй точностью пощпционирования предметного стоатка и влиянием изменяющихся электромагнитиых полей на резуа таты оценки контрожруемых параметров СВЧ-структур.Известно зседовое устройство, содержащее корКс, контактиующий узет 4 Эпредметный столик, установленный на основании корпуса с возможностью перемещений по двум координатам, кинематически связанных посредством пары винт- гайка с щаговыми электродвигателями, подключенными к системе управления Г 23.Недостатком данного зандового устройства является наличие значительных электромагнитных полей, которые в процессе измерения электрических параметров полупроводниковых СВЧ-структур создают помехи.и снижают точность резуль татов измерений.3 95 14двум координатам, и систему управления,предметный стол снабжен платформой, аоснование корпуса - двумя подвижнымипневмовакуумными столами с возможностью перемещений во взаимно перпендикулярных направлениях и соединенныхс пневмовакуумной системой управления,причем на нижней поверзности платформы нанесен фрикционный слой с возмскностью поочередного сцепления с поверхностью одного из пневмовакуумных столов.На чертеже показано предлагаемоезондовое устройство,Зандовое устройство содержит корпус 1 Ф 5контактирующий узел 2, предметиый стол 3,платформу 4, два пневмовакуумных стола 5и 6, систему 7 пневмовакуумного управления с пневмовакуумными каналами 8,два пневмопривода 9 с пневмотолкателямио(на чертеже показан Оан), два упругихэлемента 10 (на чертеже показан один),два ограничителя хода 11 (на чертежепоказан Один) На нижнюю повеРхностьпдатформы 4 нанесен фрикционный слой 12,5а верхние поверхности пневмовакуумныхстолов снабжены соединяющимися с каналами 8 проточками 13. Пневмовакуумныестолы 5 и 6 установлены в взаимно перпендикулярных направляющих 14.30Зон довое устройство работает следующимм образом.На предметный стол 3 помещаетсяизмеряемая СВЧ-структура. Пре дметныйстол 3 устанавливают под контактирующимузлом 2 на платформе 4, Подключают пневмовакуумную систему управления 7,Система 7 управления поочередно подключает стол (например 6) и пневмопривод (например. 9) соответственно к ваку,умному и пневмоканалам 8. Нижнее основание платформы 4, покрытое фрикционнымствем 12, поочередно соединяется с однимили другим столами 5 и 6.При перемещении одного стола (5 или 46) платформа 4 перемещается по той жекоординате, свободно проскальзывая по поверзности стола, отключенного в данный 84 фмомент от вакуумной системы, При подключении к вакуумному каналу другого стола,происходит сцепление его поверхности сфрикционной поверзностью платформы, а вакуумный канал первого стола отключаетсяи его пневмопривод отключаются.При перемещении второго стола перемещается и платформа по его координате, перпендикулярно координате первого перемещения,ТаКим образом, благодаря поочередномусцеплению платформы нанесенным фрикционным слоем с пиевмовакуумиыми столами,имеющих возможность также поочередносовершать пневмоперпендикулярные перемещения, обеспечивается повышение .точностирезультатов измерений путем снижения влияния электромагнитных помех. формула изобретения Зондовое устройство, содержащее корпус, контактирующий узел, предметныйстол, размещенный на основании корпусас возможностью перемещения по двумкоординатам, и систему управления, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюповышения точности измерения путем снижения влияния эдзктромагнитных помехна результаты измерений электрическихпараметров СВЧ-структур, предметныйстол снабжен платформой, а основаниекорпуса - двумя подвижными пневмовакуумными столами с возможностью перемещений во. взаимно перпендикулярныхнаправлениях и соединенных с пневмовакуумной системой управления, причемна нижней поверхности платформы нанесен фриКционный слой с возможностьюпоочередного сцепления с поверхностью.одного из пневмовакуумных столов.Источники информации,принятые во внимание пои экспертизе1, Патент США М 3376578,кл. 346-29, 1968.2. Патент ВеликобританииМ 1128034, кл. Ь 05 В 3/16, 1969