Импульсное регулирующее устройство

ОПИСАНИЕ ИЗО БРЕТ НИ Я СфЬэ СюеетФкихСфцмапкстнчеснихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 12080 (21) 2923535/18-24 (531 М КЛ э с.присоединением заявнк МЯ С, 05 В 11/14 Государственный комитет СССР о дедам изобретений и открытий(23) Приоритет -Опублиновано 070782.Бюллетень Ио 25 Дата опубликования описаиия 10. 07. 82(54) ИМПУЛЬСНОЕ РЕГУЛИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО Иэобретение относится к автоматике а именно к устройствам автои(ахиеского регулирования технолоИЧЕ 9 ких.параметров.По сановномуавт.св. 9 750438 известно импульсное регулирующее устройство, используемое для автоматического регулирования технологических параметров объектов с переменными динамическими характеристиками. Устройство содержит. последовательно соединенные форсирующий блок, генератор импульсов, реверсивный счетчик, исполнительный элемент, нагревательный элемент, выход которого соединен со входом объекта регулирования, выход которого связан через датчик температуры со входом блока сравнения, соответствующий вход которого соединен с выходом задатчика, а выходы - с управляющими входами реверсивного счетчика, а также датчик состояния нагревательного элемента и регулятор частоты, выход которого подключен к соответствующему входу генератора . импульсов, вход - к выходу форсирукнцего блока и к выходу датчика сосюяния нагревательного элемента, вход которого соединен с соответствующим выходом нагревательного элемента 111 .Недостатком этого устройства является невозможность его устойчивой работы в режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра с периодом, соизмеримым с постоянной объекта. регулирования, под воздействием внешнего периодического возмущения применительно к объектам; динамические характеристики которых изменяются в широком диапазоне. Действительно, для осуществления режима симметричных периодических колебаний регулируемого параметра, часто используемого для интенсификации технологических процессов, обычно производят периодическое ступенчатое с постоянной амплитудой изменение выходного сигнала эадатчика. Подбирая параметры настройки регулятора частоты и форсирующего блока, можю добиться устойчивой работы устройства в этом режиме с периодом, равным периоду изменения сигнала задатчика, в узком диапазоне изменения динамических характеристик объекта регулирования, При измененииже динамических характеристикобъекта в более широком диапазоне это устройство не обеспечивает ус тойчивой работы в режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра.Бель изобретения - обеспечение5 устойчивости работы в .режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра с периодом, соизмеримым с постоянной объекта регутырования, под воздействием внешнего периодического возмущения применительно к объектам регулирования с переменными динамическими характеристиками.Поставленная цель достигается тем, 15 что импульсное регулирующее устройство содержит последовательно соедижнные второй регулятор частоты, второй генератор импульсов и делитель частоты, выход которого связан с входом задатчика, причем вход второю регулятора частоты связан с соответствующим выходом датчика состояния нагревательного элемента.На чертеже представлена структурная схема импульсного регулирующего устройства для автоматического регулирования температуры подложки, динамические характеристики которой изменяются в течение технологического процесса. 30Устройство содержит датчик 1 температуры и задатчик 2,. подключенные к входу блока 3 сравнения, Блок 3 .сравнения состоит из последовательно соединенных сумматора 4 и нуль-орга на 5. Выходы нуль-органа 5 и первого генератора импульсов 6 подключены соответственно к управляющим и синхронизирующему входам реверсивного счетчика 7. Выход реверсивного счет чика 7 подключен к последовательно соединенньм исполиаюельному элемей-, ту 8 и нагревательному элементу 9. Нагревательный элемент 9 подключен к объекту 10 регулирования и датчику 11 состояния нагревательного элемента. Выход последнего подключен к входаи первого регулятора 12 частоты, фореирующего блока 13 и второго регулятера 14 частоты. Выходы пер" вого регулятора 12 частоты и форсирующего блока 13 подключены к соответствующим входам первого генератора ,6 импульсов, а выход второго регулятора 14 частоты - к последователью соединенным второму генератору 15 55 импульсов и делителю 16 частоты. Выход последнего подключен к задатчику 2.На входе сумматора 4 происходит алгебраическое суммирование сигналов Щ от датчика 1 температуры и,задатчика 2. В зависимости от знака суммы сигналов нуль-орган 5 выдает сигнал .фПрибавить илй ,Убавить ф 1 на управляющие входы реверсивного счет- у 5 1 чйка 7,импульсов. Реверсивный счет,чик 7 импульсов управляет работой исполйительного элемента 8Последний воздействует на нагревательный элемент 9, а нагревательный элементна, регулируемый параметр объекта регулирования 10 - температуру подложек. С выхода первого генератора 6 импульсов на синхронизирующий. вход реверсивного счетчика импульсов 7поступают однополярные импульсы, форсирующий блок 13 предназначен дляповышения быстродействия импульсногорегулирующего устройства в целом.Выходные однополярные импульсы второго генератора импульсов 15 поступают на вход делителя 16 частоты. С нюсода делителя частоты 16 импульсы, период следования которых равен тре" буемому периоду симметричных периодических колебаний температуры подложек, поступают на вход задатчика 2 иосуществляют ступенчатое изменениежходного сигнала задатчика 2 с темже периодом, Амплитуда выходного сигнала задатчика 2 изменяется в пределах, соответствующих требуемым пределам изменения амплитуды симметричных периодических колебаний температуры подложки. В зависимости от величины тока нагревательного элемента 9, являющегося однозначной функцией динамических характеристик объекта 10 регулирования, производитсякоррекция частоты как первого 6, таки второго 15 генераторов импульсов.Подбирая параметры первого регулятора 12 частоты, форсирующего блока 13 и второго регулятора 14 частоты, при наладке можно обеспечить устойчивость работы устройства в режиме симметричных периодических колебаний температуры подложки в течение всего технологического процесса.Испытания показывают, что предложенное устройство обеспечивает устойчивую работу в режиме симметричжх периодических колебаний температуры подложек и позволяет интенсифицировать технологический процесс,формула изобретенияИмпульсное регулирукщее устройство по авт, св. Ф 750433, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения устойчивости его работы в режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра .с периодом, соизмеримьа 4 с постоянной объекта регулирования, оно содержит последовательно соединенные второй регулятор частоты, второй генератор, импульсов и делитель частоты, выход941924 5.Экоторого связан с входом задатчнка, гончем вход второго регулятора .частоты связан с соответствуюцим выходом датчика состояния нагревательного элемента. Источннки ннфорйацннр:ринятые во вннманне при эксйертнэе1. Авторское свндетелЬство СССРУ 750433, кл.6 .05 В 11/б 197 ЖФрототйп)еюее Проектная г Фили ктор ОвКоссей 483 Б/35ВНИИ по д1130 Составитель Л,ПтенцоваТехред К.14 ыцъоКа а е вв вв Юв е е а е ю еТирам 914ПИ Государственного комлам изобретений н отк5, Москвар В .35 р Рау 3 аскаю е ю еаеееееаеююеал ППП ффПатентффр г, Жк орректор АвДэютхоюееееюааввеввводпнсноеитета СССРрцтийая наб д.4/5