Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников

ОП ИСАНИЕИ 306 РЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспубликОпубликовано 15.06.82. Бюллетень22Дата опубликования описания 15,06.82 лв аллам лзвврвтений и аткрмтийИзобретение относится к вычислительной технике, в частности к технологическим процессам, обеспечивающим изготовление запоминающих устройств на ферритовых сердечниках.Известен способ изготовления трафаретов для ориентации ферритовых сердечников заключающийся в формировании сквозных отверстий в металлической пластине путем химического травления 1 .Недостатками трафарета, полученного указанным способом, является наличие растравов в местах образования сквозных отверстий и низкая механическая прочность.Наиболее близким по техническому решению к предложенному является способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотошаблон и проявлении экспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрытия, например никелевого, удалении фоторезиста с поверхности металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травления 2 .Недостатком этого способа изготовлениятрафарета является образование нависающих слоев металла над отверстиями в областях растрава пластины, что снижает срок службы трафарета, и отсутствие в трафарете вертикальности стенок сквозных отверстий.1 ОЦель изобретения - повышение надежности трафарета.Эта цель достигается тем, что согласноспособу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние.На чертеже представлена последовательность технологических операций предложенного способа.Способ изготовления трафарета заключается в следующем.Бронзовую фольгу 1 (опорную пластину), толщиною примерно 0,1 мм, обезжиривают и на обеих ее поверхностях формируют фоторезистивные слои 2 ф, толщина которых равна толщине будущих никелевых слоев,5 путем экспонирования и проявления создают фоторезистивный рельеф 3 (в), обнажая поверхность опорной пластины 1 в местах расположения перемычек 4 между отверстиями будущего трафарета. Затем производят гальваническое наращивание слоев никеля 5 1 О (г) на вскрытых участках опорной пластины 1, т. е. в местах расположения перемычек, После удаления фоторезистивного рельефа опорная пластина 1 защищена слоями никеля 5 в местах расположения перемычек и свободна от никеля в местах расположения 15 отверстий будущего трафарета (д). Поэтому при последующем травлении опорной пластины 1 в травящем растворе, не действующем на никель, формируются сквозные отвер стия 6 (е). В силу изотропии травления 20 сравнительно толстой опорной пластины 1 отверстия 6 имеют в сечении форму песочных часов, и участки 7 никелевых слоев нависают над отверстиями. При заполнении трафарета ферритовыми сердечниками тонкие никелевые слои на участках нависания 7 разрушаются и размеры ориентирующих отверстий трафарета определяются уже размерами отверстий в опорной пластине 1 из берилиевой бронзы, т. е. значительно отличаются от заданных. Практически из-за этого трафарет становится непригодным для дальнейшей эксплуатации после 2 - 3 заполнений ферритовыми сердечниками. После формирования отверстий в опорной пластине 1 производят их заполнение материалом 8 (ж), обладающим анизотропией травления, например З фоторезистом. Эта операция может быть выполнена путем окунания заготовки трафарета с предварительно сформированными отверстиями в .фоторезист. При.этом фоторезист заполняет отверстия 6 и удерживается силами поверхностного натяжения, После 4 в просушивания заготовку трафарета экспонируют через предварительно совмещенные фотошаблоны 9 (з), Экспонирование можно проводить и без фотошаблонов в случае, если контур ориентирующих отверстий в никелевых слоях четкий и размеры отверстий соответствуют заданным. Роль фото- шаблонов при этом выполняют слои никеля. После проявления, т. е. удаления проэкспонированных участков фоторезиста в проявляющем растворе, трафарет подвергают термообработке при 80 - 100 С в течение 10 - 15 мин. При этом неэкспонированный фоторезист под непрозрачными участками фотошаблона и под никелевыми слоями в областях растрава опорной пластины задубливается и принимает стеклообразное состояние.Предложенный способ не содержит сложных операций и позволяет изготавливать трафареты без применения спецоборудования.Формула изобретенияСпособ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотошаблон и проявленииэкспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков,свободных от фоторезиста, нанесении на этиучастки защитного покрытия, напримерникелевого, удалении фоторезиста с поверхности металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлическойпластине методом травления, отличающийсятем, что, с целью повышения надежноститрафарета, сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Японии52-446,кл. 97 (7) б 11, опублик. 1978.2. Патент Японии52-4136,кл. 97 (7) 6 11, опублик. 1978 (прототип).Составитель В. ВакарТехред А. БойкасТираж 622ствениого комитета СССРбретений и открытий- 35, Раушская наб., д. 4(5г. Ужгород, ул. Проектная Государ по делам из 113035, Москва, Ж илиал ППП Патент