Компенсатор аберраций для контроля качества оптических систем

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 1 ц 928292(51)М. Кл,С 02 В 27/00 Ввударстюхый квиитет СССВ ае делам взабретеикХ и втхрыткХОпубликовано 1 5. 05, 82, бюллетень Рй 1 8 Дата опубликования описания 15.05.82рдейа Тчилйще"им 7) Заявитель осковское ордена Ленина и намени высшее техническое Й) КОИПЕНСАТОР АБЕРРАЦИЙ ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕС ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕИ 1Изобретение относится к оптическому приборостроению, а более конкретно - к компенсаторам аберраций,которые йспользуются в интерФерометрах, теневых и других устройствахпри компенсационном методе контроляоптических систем.Известны компенсаторы аберраций,используемые при контроле качестваасферических поверхностей, двояко"выпуклых линз, исследований оптических неоднородностей, состоящиеиз двух линз 13,Однако двухлинзовые кочпенсаторыпредназначены для исправления аберраций некоторого определенного диапазона параметров контролируемыхоптических систем, и для каждогоконкретного случая контроля компенсатор должен занимать определенноеположение в контрольном устройствекак по отношению как к источникусвета, так и к контролируемой оптической системе. Наиболее близким к изобретению по технической суцности является - компенсатор аберраций для контроля качества оптических систем, содержащий .отрицательную и положительную линзы, образуюцие афокальную систему 21.Недостатком устройства является то, что для получения автоколлимации при контроле качества оптических систем изображение источника, построенное компенсатором, должно быть в определенном месте по отношению к контролируемой системе.Цель. изобретения " повышение качества аберрационной коррекции.Указанная цель достигается тем, что в компенсаторе, имеющем отрицательную и положительную линзы, образуюцие аокальную систему, отрицательная линза выполнена в виде мениска, вогнутой поверхностью обращенного к. положительной линзе, при этом передний фокус положительФормула изобретения 3 928ной линзц совмещен с задним Фокусомотрицательной линзы,а Фокусные расстояния линз равны йо абсолютной веЛИЧИН 8,1(роме того, положительная линзавыполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью к ОтрицательноЙлинзе.При такой совокупности существенных признаков параксиальное 6изображение точечного источника света через компенсатор совпадает сположением самого источника и гриперемещениях компенсатора вдоль осиэта взаимосвязь н 8 нарушается т.е.пОлОЖ 8 ни 8 параксиальнОГО изОбраВения истОцника не зависи 7 От полож 3 ния компенсатора.ПервоЙ линзОЙ мОжет Оыть как ПОложит 8 льнаЯр так и ОТРицательнаЯ Ялинза, это же касается и второй линзы кОмпенсатОРВр т.е. кОмпенсатОРможет Работать как в ПРЯмом р таки в перевернутом положении. Причемв прямом и перев 6 рну 7 ОМ пОлОжении 2свойства 8 го по Отношению к параксиальному изображению источника света не меняются, но он вносит раз"личны 8 величин.1 аберраций, что также испОльзуется для расшир 8 ния 8 ГОФункциональных возмойнОстей,На чертежа изображена оптицескаясх 8 ма компенсаторэ наприм 8 рприконтрол 8 двояковыпуклой линзы савтоколлимацией От плоскоЙ пов 8 рхзности с показом хода параксиальныхлуц 8 Й От точечноГО источника св 8 таНа чертеже приняты Обозначенияположительная линза компенсатора, выполненнаяр напРимеРрв ВИД 8 мениска",2 - отрицательная линза; 3 - контрОлируемая двОяковыпуклая линзаР, и Г- передний и задней ФокусыпеРВОЙ линзыр ГР и ГР пеР 8 Дний изаднии Фокусц второи линзы; А - тоцецный истОчник света; А - мнимоепараксиальн 08 изображение точ 8 цнОГОисточника, построенное .компенсаторомр" расстояния от первой поверхности компенсатора ро А 5 - расч р " щстояние от последней поверхности компенсатора до А; д - суммарная толщина компенсатора,Отрицательная линза 2 выполн 8 нав виде мениска, обращенного вогнутостью к полОжительной лин 38, Линзы1 и 2 образуют аФокальную систему,поэтомУ ФокУсы Г и Гр совмещенц,Фокусное расстояйие полбжительной линзы 1 равно Фокусному расстояниюотрицательной линзц 2 с обратнымзнаком,и Фокусы Ги Г совмещены.Поэтому точечный источник А совмещен с изображением А и эта взаимосвязь не нарушается при перемещениикомпенсатора вдоль оси, Кроме того,вывод компенсатора из пучка светатакже йе влияет на ход параксиальнцх лучей, При использовании этогосвойства компенсатора упрощается процесс юстировки компенсатора и повышается его производительность,При юстировке компенсатора, сна"цала вставлеся тоцецныЙ сочкА по отношению к контролируемой оптической системе. Затеи в расходящийпучок:лучей вводится компенсатор, которцй не нарушает положение точечногоисточника А по отношению к контролируемой оптицеской системе. При перемещениях только одного компенсатора(источник света А и его изображениеА неподвижны находится наиболееоптимальное положение компенсаторапо отнсаению к объекту контроля, Причем оптимальное положение компенсатора может отличаться от расцетногоиз-за изменения параметров контролируемого объекта (напринерр в пределах допуска)Один предлагаемцй компенсатор может заменить несколько известных компенсаторов для различных случаевконтроля оптических систем с одновременным упрощением процесса юстировки и повышением его производительности. 1, Компенсатор аберраций для контроля качества Оптических систем, содержащий отрицательную и положительную линзы, образующие аФокальнУю систему р О т л и ц а ю Щ и Й е с я тем, что, с целью повышения качества аберрационной коррекции, отрицательная линза выпОлнена в виД 8 менискар воГнутОЙ пов 8 Рхностью обращенного к положительной линзе, при этом Фокусные расстояния линз равны по абсолютной величине, а передний фокус положительной линзы совмещен с задним Фокусом отрица- ТЕЛЬНОЙ ЛИНЗЫ.2, КомпенсатоР по П.1 р о т л ич а ю щ и Й с я тем, цто положиСоставитель Л. МухинаРедактор Т.Парфенова ТехредЕ.ХаритончикКорректор Н, Стец т 233/58Тираж 516 Под НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 13035, Иосква, Ж, Раушская наб., сное ак д. 4/5 П "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Фи тельная линза выполнена в виде мениска, обращенного вогнутостью котрицательной линзе,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 8292 б1, Авторское свидетельство СССРУ 613280, кл. С 02 В 27/00, 1978.2. Авторское свидетельство СССРР 640227, кл. 6 .02 0 17/08 1978