Зондовая головка

Г. Гасилов 72) Авторы изобретения енский филиал Всесоюзного научйр-исследовательского технологического института приборостроеныв) Заявятеяь ОВАЯ ГОЛО с Изобретение Ьтносится к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к установкам контроля и исследования полупроводниковых структур.Известны эондовые головки, выпол" ненные в виде игольчатых зондов, раз": мещенных в держателях, соединенных с механизмом нагружения зондов 1,Однако вследствие индивидуального1 О нагружения зондов, их контактные давления не идентичны, что в значительной степени влияет на достоверность результата измерений.Известна также зондовая головка, содержащая корпус с закрепленными в нем изолированными друг от друга зондами, механизм нагружения зондов, выполненный в виде подпружиненного толкателя и пакета балочных опор 1 2 .Недостатком известного устройства является неплавное нагружение зондов, а также изменение упругих свойотв пружины нагружения в процессе эксплуатации, что ведет к нестабильностипараметров головки и значительнымпогрешностям при измерении.Цель изобретения - повышение точности контроля,Поставленная цель достигается тем,что в зондовой головке, преимущественно для контроля полупроводниковыхтруктур, содержащей корпус, основание, в диэлектрических направляющихкоторого размещены зонды, механизмнагружения зондов с пакетом балочныхопор и толкатели, механизм нагружения зондов снабжен парой постоянныхмагнитов, размещенных в корпусе одиннад другим одноименными полюсами навстречу, один другому и выполненных свозможностью взаимодействия черезтолкатель со сферической поверхностьюс пакетом балочных опор.На чертеже изображена принципиальная схема эондовой головки.Зондовая головка состоит иэ корпуса 1 с крышкой 2, выполненной из3 9 магнитомягкого материала, внутри которого размещен механизм нагружения зондов, включающий пару постоянных магнитов 3 и 4, расположенных навстречу один другому одноименными полюсами. Регулировочный винт 5 служит для ограничения перемещения магнита.3 Иагнит 4 через толкатель 6 опирается на центр начальной балки пакета балочных опор 7. На корпусе гайкой 8 закреплено основание 9 с диэлектри"ческими направляющими 10, в которых расположены зонды 11. Зонды 11 нера" бочими концами попарно опираются на равноотстоящие от середины концы замыкающих балок пакета балочных опор 7Устройство работает следующим образом.При опускании зондовой головки на контролируемую полупроводниковую структуру 12, зонды 11, входя в соприкосновение со структурой 12, перемещаются в диэлектрических направляющих 10 основания 9 и воздейству" ют на толкатель 6 (через пакет балочных опор 7), представляющий собой цилиндрический стержень, который сферической поверхностью воздействует на магнит 4, сближая его с магни том 3. Вследствие того, что магниты 3 и 4 направлены друг к другу одноименными полюсами, силы взаимодействия их магнитных полей, стараясь сохранить первоначальное положение магнитов 3 и 4, создают давление на зонды 11, необходимое для надеж" ного контактирования их с полупроводниковой структурой 12.Усилие давления зондов 11 наФструктуру 12 зависит от начального положения магнита 2 в осевом наорав" формула изобретения Зондовая головка, преимущественнодля контроля полупроводниковых структур, содержащая корпус, основание,.в диэлектрических направляющих которого размещены зонды, механизм нагружения зондов с пакетом балочныхопор и толкатели, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения точности контроля, механизмнагружения зондов снабжен парой постоянных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименнымиЭВ полюсами навстречу один другому ивыпопненнных с возможностью взаимодействия через тоякатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРИ 514457, л. Н 05 К М 04, 19742. Авторское свидетельство СССРй 50432 1, кл. Н 05 К 1/04, 1974(прототип). 07885 4лении, которое устанавливается регулировочным винтом 5.Конструкция зондовой головки позволяет исключить необходимость ий-дивидуальной подгонки зондов подавлению на .структуру, что значительно снижает себестоимость изготовления эондовой головки. Применениевместо пружинных элементов в устрой О ствах нагружения постоянных магнитов, в. свою очередь, позволяет стабилизировать параметры зондовой головки, а значит и увеличить достоверность результатов контроля. 5в е4лиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектная,Заказ 627/75ВНИИПИ Гпо дел113035,Тираж 856 ударственного ком м.изобретений и о сква, М, Раушс ета СССРрытийя наб., д