Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(23) Приоритет -Н 01 1 17/48Н 01 1 17/49 Государствеииый комитет Опубликовано 23.01.82. Бюллетень 3Дата опубликования описания 28.01.82по делан изобретений и открытий(71) Заявитель Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей (ГИП),Известны способы изготовления электродной системы ГИП, электроды которых изготовляются из различных металлов - золота или алюминия 1.Недостатком данного способа являются использование дефицитного дорогостоящего материала - золота или высокое сопротивление электродов (в случае алюминия); наличие обрывов электродов из-за недостаточной адгезии пленки золота к стеклянной подложке или возможности окисления электродов при термообработке во время формирования изоляционного слоя.Известен также способ изготовления электродной системы ГИП переменного тока путем нанесения на пластину с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при 500 в 6 С 2.Однако верхний слой хрома часто разрушается при изготовлении фотолитографическим способом. Кроме того, пленка хрома не защищаетмедную основу электрода от окисления при формировании изоляционного слоя.Цель изобретения - защита электродовот коррозии при термических обработках.Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока, заключающемуся в нанесении на пластину с электродами изоля ционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработке при 500 - 600 С, перед нанесением изоляционного слоя из легкоплавкого стекла на электродную систему наносят слой окиси магния толщиной 0,15 - 0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме.На диэлектрическое основание, напримерстекло наносят пленочные электроды или электроды из неблагородного металла, например меди, которые наносят трафаретной 2 о печатью, и контактные площадки. На электродную систему методом реакционного термического испарения в плазме наносят защитный слой окиси магния, а за(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ИНДИКАТОРНОЙ ПАНЕЛИ ПЕРЕМЕННОГО ТОКА1 В13 Формула изобретения 2 О 2 зф 33 тем изоляционный слой легкоплавкого стекла и проводят термообработку. Далее на пластину может быть нанесено стабилизирующее покрытие из окиси магния. Прибор собирают из двух электродных пластин, располагая при этом электроды ортогонально, герметизируют с помощью стеклокристаллического цемента при 400 в 5 С, а затем откачивают с прогревом прибора при 300-400 С.На фиг. 1 приведен пример изготовления панели.На стеклянную подложку 1 путем термовакуумного напыления наносят сплошную пленку 2 меди толщиной 3 - 4 мкм. Фотохимическим методом вытравливают электроды шириной 800 - 100 мкм. На конец каждого электрода методом трафаретной печати наносят составную контактную площадку 3. Далее на электродную систему с контактной площадкой наносят (методом реакционного термического испарения в плазме) защитный слой 4 окиси магния толщиной 0,15-0,5 мм.Затем методом трафаретной печати наносят изоляционный слой 5 легкоплавного стекла, который оплавляют при 500 - 600 С. Последним наносят дополнительный слой 6 из окиси магния. Проведено обследование защитных свойств покрытия из пленки окиси магния; изоляционого покрытия из легкоплавкого стекла и двухслойного покрытия окись магния - изоляционный слой.Результаты показали, что первые два покрытия, каждое в отдельности, не защищают электроды от коррозии. Двухслойное покрытие защищает электроды от окисления при термообработке.За критерий оценки защитных свойств было выбрано сопротивление электродов, измеренное при различных температурах и выдержках обработки.На фиг. 2 представлены зависимости сопротивления электродов от температуры обработки: 1 - использован изоляционный слой только из легкоплавкого стекла толщиной 40 мкм. Электроды окислялись в интервале 200 - 250 С; 2 - использовано покрытие только из окиси магния, окисление электродов происходит в интервале 500 в 5 С; 3 - использовано двухслойное покрытие. Сопротивление не изменялось во всем исследуемом диапазоне температур до 600 С.Предлагаемый способ изготовления элект-. родной системы дает возможность использования в качестве материала электрода - медь, имеющую высокую электропроводность заменяется дифицитный материал - золото, следовательно снижается себестоимость способа. Способ изготовления электродной системы газоразрядной индикаторной панели переменного тока путем нанесения на пласти ну с электродами изоляционного покрытия из легкоплавкого стекла и термической обработки при 500 - 600 С, отличающийся тем, что, с целью защиты электродов от коррозии при термических обработках, перед нанесением изоляционного слоя легкоплавного стекла на электродную систему наносят слой окиси магния толщиной 0,15 - 0,5 мкм методом реакционного термического испарения в плазме. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Бердичевский А. М. и Лакомкина Т.Н.Индикаторные помехи за рубежом. - Обзоры по электронной технике, Серия 4, Электровакуумные и газоразрядные приборы, М,ЦНИИ Электроника, 1975.2. Патент США3804609,кл, 65 - 59, опублик. 1974.итель В, АлексА. Бойкас757 овКорректорПодписноеСР Соста нова Техре Тираж ИПИ Государствен по делам изобрете Москва, Ж - 35,ППП Патент, г, ногонийРаушУжгоро 11303Филиал Уср Л7 Редактор В. Ив Заказ 12192/69ВНИ омитета СС открытий кая наб., д. 4/5 д ул Проектная