Способ обработки электровакуумных приборов

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски кСоциалистическихРеспублик(23)Приоритет 02.0279 Рауааретвеиый кекитет СССР ао делам изоаретеиий и аирытий(5) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМПРИБОРОВ Изобретение относится к технологии изготовления электровакуумных приборов (ЭВП), в которой предусмот рена или целесообразна обработка откачиваемого прибора с напуском водорода в откачиваемь 1 й прибор. Та кая обработка поз воляет про вес" ти дополнительную финишную очистку внутренних поверхностей прибора от загрязнений, что приводит к повышению стабильности параметров (в первую очередь параметров катода на сроке службы), Кроме того, обработка прибора с напуском водорода позволяет в ряде случаев сократить время обезгаживания приборов на посту.Известны способы обработки ЭВП с напуском водорода в откачную систему, когда водород напускается непрерывно 1 1, "разбавляя" атмосферу откачиваемых газов, или порциями 2, периодически "вымывая" выделяющиеся газы. Эти способы широко распространены, но они не обеспечивают достаточную воспроизводимость эмиссионныхпараметров катодов, поскольку напускаемый водород расходуется, главным 5образом, на очистку откачной системыи лишь частично на очистку откачиваемого прибора, при этом продуктыреакции (водяные пары, летучие окислымогут попадать на обрабатываемый катод.Известны способы обработки ЭВПпутем пропускания из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки.Прибор специально приспособлен длятакой технологии, имеет два штенгеля: сквозь один из них водород вводится в прибор, сквозь другой откачивается, очищая таким образом сначала поверхности прибора, а затемуже поверхности откачной системы ( 3 1.Воспроизводимость эмиссионных параметров катодов обрабатываемых приборов возрастает, но на уровне вы898536соких параметров она остается недостаточной, т.е. полностью очиститьприбор удается не всегда.:(рс;. ;Ого,наличие двух штенгелей увеличиваетгабариты прибора и, соответственно,снижает процент выхода их по герметичности, увеличивает стоимость прибора, расход материалов и т.д, Цляосуществления этого способа необходимыдткацные посты со специапьной конст Орукцией гребенки,. имеющей по двагнезда под каждый откачиваемый прибор;штангели от поибора удлинены и изогнуты, что увелицивает сопротивлениевакуумпровода и, соответственно, удли 15няет время откацки, Затруднена такженапайка и отпайка прибора на посту.Приборы, имеющие только один штенгель, обрабатывать известным способом нельзя,20Цепью изобретения является повышение стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощение технологии откачки,25Поставленная цель достигается тем,что согласно способу обработки ЭВПпутем пропускания водорода из источника водорода сквозь прибор на этапеоткачки источник водорода вводят вприкатодное пространство прибораи выводят из него после окончанияобработки,Предлагаемый способ осуществляется на крупногабаритных приборах,тех, - зпогия изготовления которых преду;атривает бесштенгнельную ("камер. уюоткачку вводя генератор водо;,о,.;, прикатодное пространство обраб-.,==; - яго прибора, которое нач 40ходит; ежду катодом и ближаишимэлектрода т него, а затем извлекая генератор после окончания обработки.Осу е :;,:;-длагаемый способмож .к:,;е ,.-,;.твои предваритель 45но 1 0 насыщения деталей катодногоузла водородом, который, выделяясьпри термической обработке узла, способствует очистке прибора в целом.Однако такое решение не всегда оптимально иэ-эа плохой управляемостипроцессом и трудностями контроля(в дсталях узла трудно .=-ласти количество водорода достаточное дляоарабо; ки прибо:а. ;:деление водорода 55во времени спад.;,.=., не обеспечиваянеобходимого ре,.",:ча очистки, а после оконцания.зботки неизвестно сколько водорода еще осталось в деталях узла).Наиболее предпочтительным является такое осуществление предлагаемого способа, когда водород впускают в прикатодное пространство через открытый конец трубки, соединенной с источником водорода, которую вводят в прибор на период обработки через откачной штенгель и выводят после проведения обработки,Ь данном способе значимость операций,очистки поверхностей различна и последовательна - сначала и в большой степени очищается прикатодное пространство, затем и в меньшей степени - другие электроды и оболоцка прибора и наконец - вакуум-провод откачной системы.При использовании напуска водорода сквозь трубку удалось обрабатывать с лучшим качеством приборы, имеющие всего один штенгель, т.е, распространить технологию с "потоком" водорода на приборы, для которых такая технология не предназначена, Таким образом, несущественно изменив скорость откачки (заполнением части пространства штенгеля), можно расширить номенклатуру приборов, обрабатываемых по прогрессивной технологии, а в при борах, использующих ее, снизить габариты и улучшить качество, удалив второй (ставший ненужным) штенгель. Выполнение требования - впускатьводород в прибор именно через открытый конец трубки, позволяет легкоуправлять потоком водорода, расположив нагреваемый диффузионный натекатель за пределами гнезда гребенки,П р и м е р, Предлагаемый способопробовался на модернизированном откачном посту. Суть модерниэациизаключается в использовании водородного натекателя, состоящего из трубки,открытым концом вводимой в прибор,а другим укрепленной на основаниинагреваемого элемента., сквозь который пропускается сетевой водород.Посредством сил ьфона трубка можетперемещаться внутри штенгеля откачиваемого прибора.Способ осуществляется в следующейпоследовательности,Устанавливают прибор на пост. Приэтом трубка натекателя находится внутри гнезда гребенки и не мешает напайке. Длина штенгеля прибора выбирается898536 6формула изобретения Составитель А. СенчихинТехред А, Дч Корректор Л, Шеньо Редактор И, Петрова Заказ 11961/71 Тираж 757 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 филиал ЛПП "Патент",г, Ужгород, ул. Проектная,такой, чтобы при вдвинутой трубке ееоткрытый конец попадал в прикатоднуюобласть прибора, Включают насосы ипроводят откачку по заданному режиму,Сжимают сильфон и вводят трубкусвоим открытым концом внутрь прибора,в его прикатодную область, Включаютнагрев натекателя водорода и устанавливают поток (в нашем случае контрольего осуществляется по заранее програ Вдуированной зависимости потока отмощности нагрева), Осуществляют обработку прибора (с прогревом под печью,обезгаживанием электродов, активированием и т.д.) согласно технологичес-кой карте на прибор, Разжимают сильфон, удаляя трубку из прибора и штенгеля, Производят отпай прибора с поста. 20Предлагаемый способ позволяет повысить воспроизводимость эмиссионных параметров от прибора к прибору и увеличить их срок службы при отборе тока повышенной плотности. Способ обработки электровакуумныхприборов путем пропускания водородаиз источника водорода сквозь приборна этапе откачки, о т л и ч а ю "щ и й с я тем, что, с целью повыше-,ния стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощения технологииоткачки, источник водорода вводят вприкатодное пространство и выводятиз него после окончания обработки.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Подкопаева Н.Н. и др. Влияниесреды в процессе разложения карбонатов на свойства оксидных катодов."Электронная техника", сер. Ь. 1973,вып. 1, с. 76-87.2, Патент Великобритании М 852750,кл. 39(1), ьпублик. 1960.3, Киселев А.б. и др. 0 примененииводорода при откачке ЭВП с оксиднымкатодом. "Электронная техника",сер. 1, 1977, с. 80-89 (прототип) .