Устройство управления отклонением пучка заряженных частиц

(и 892524 ОП ИСАЙКЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 21,04,80 (2 ) 2914445/18-21с присоединением заявки ЭЙ(5)М. Кл. Н 01 37/30 всудэРстэкяяьй камятат СССР аю делам яэабрвтеяяй к открмтяй(7) Заявктел 4) УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЕМ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦбретение относится ения технологически и может быть испол олучевых установкахммным управлением системам оборудоваовано в алек цифровым нием тронн и ог недостаткам этого ус необходимость соглас цифроаналоговых прво х каналах и влияние тки различия в их т Кситсятабови обо а отномасш-ф твлей тройст браэов на качеседпагаемомуется устройэкс пои яров атво урномере р рИзвестна система акспонирования электронным лучом, работающая по принципу двойного отклонения электронного пуча и содержащая цифроаналоговый пре-.Я обраэователь, выходные сигналы которого используют для отклонения электронно го луча в пределах небольшого участка поверхности экспонируемого объекта, а также устройство для изменения начально.5 го положения электронного, луча на поверхности,: объекта в пределах большой площади ЯОднако данная система обладает ограниченными функциональными возможностями.Наиболее близким к прпо технической сущности являство, реалнэукицее способ Гния электронным лучом, содержащее дваканала отклонения алектронного луча по 4 каждой иэ координат Х и У. Каждый ка нал включает в себя ци)роаналоговый преобразователь, выходной усилитель и отклоняющую систему, являющуюся нагрузкой выходного усилителя, Координаты единичного участка поверхности сканируемого объекта в определенной последовательности задаются преобразователем высокой точности, который входит в канал позиционирования электронного луча, и положение электронного луча в пределах заданного участка определяется быстродействующим преобразователем, входящим в состав канала формирования топологичвского рисунка на заданном участке поверхности 12140 50Бифровая система управления представлена выходом 8, соединенным с управляющим входом запоминающего устройства 2, и выходом 9, соединенным с управляющим входом ключа 3. 55Устройство управления отклонением пучка заряженных частиц работает следующим образом,и временном дрейфах, а также большоечисло линий связи между устройством ицифровой частью системы управления, определяемое суммарным числом цифровыхвходов цифроаналоговых преобразователей.Бель изобретения - упрощение устройства при исключении необходимости согласования масштабов цифровых кодов вобоих каналах. 1 ОУкаэанная цель достигается тем, чтов устройстве управления отклонением пучка заряженных частиц (электронов), содержащем последовательно соединенныецифровую систему управления, узел для 15преобразования цифровых кодов .в аналоговый сигнал и два выходных усилителя, выход одного из которых соединен сотклоняющей системой канала позиционирования пучка, а выход другого - с 20отклоняющей системой канала формирования фрагмента топологического рисунка,узел для преобразования цифровых кодовв аналоговый сигнал выполнен в видецифроаналогового преобразователя, выход 25которого соединен с о входами аналогового запоминающего устройства и аналогового ключа, причем выход аналогового запоминающего устройства соединен совходом выходного усилителя канала пози- зюционирования пучка, выход аналоговогоключа соединен со входом выходного усилителя канала формирования фрагментатопологического рисунка, а управляющиевходы аналогового запоминающего устрой- З35ства и аналогового ключа соединены с выходами цифровой системы управления,На чертеже показана блок-схема устройства управления отклонением пучказаряженных частиц.Устройство содержит цифроаналоговыйпреобразователь 1, выход которого соединен со входами аналогового запоминающего устройства 2 и аналогового ключа3, Выходы аналогового запоминающего45устройства 2 и аналогового ключа 3 соединены со входами выходных усилителей4 и 5, выходы которых соединены с отклоняющимися системами 6 и 7 соответственно,Одновременно с подачей на цифровыевходы цифроаналогового преобразователя1 параллельно двоичного кода, соответствующего начальной координате Фрагмента, на управляющий вход аналогового запоминающего устройства 2 от циф,."в.йчасти системы управления по выходу 8поступает сигнал, по которому выходнойаналоговый сигнал цифроаналогового преобразователя 1 запоминается аналоговымзапоминающим устройством 2. Сигнал повыходу 9 на управляющем входе аналогового ключа 3 в это время отсутствует,что соответствует запертому состояниюключа, при котором он не передает поданные на его аналоговый вход сигналы. Поокончании сигнала по выходу 8 аналоговое запоминающее устройство 2 из режима запоминания переходит в режим хранения, а электронный пучок оказывается отклоненным в заданную точку поверхности обрабатываемого изделия. Врежиме формирования фрагмента топологического рисунка управляющий сигналотпирает аналоговый ключ 3, при этомна цифровые входы цифроаналоговго преобразователя предварительно подаетсянулевой код, В режиме формирования топологического рисунка используется только часть разрядов цифроаналогового преобразователя, начиная со старшего, а нацифровых входах неиспользуемых младших разрядов постоянно поддерживаетсянулевая кодовая комбинация. Аналоговыевыходные сигналы цифроаналогового преобразователя 1, соответствующие .кодовым комбинациям в используемыхстарших разрядах, через аналоговый,ключ 3 поступают на выходной усилитель5, который связан с отклоняющей системой 7, в результате чего происходитотклонение электронного пучка по заданной программе в окрестности выбраннойточки поверхности обрабатываемого изделия.Таким образом, при сохранении функционапьных воэможностей устройствоимеет более простую структуру, что в це.лом повышает его надежность, а такжекачество обработки изделий,формула изобретенияУстройство управления отклонениемпучка заряженных часта, содержащее последовательно соединенные цифровую систему управления, узел для преобразованияпитеровых кодов в аналоговый сигнал идва выходных усилителя, выход одного изкоторых соединен с отклоняющей системойканала позиционирования пучка, а выходдругого - с отклоняющей системой канала 5формирования фрагмента топологическогорисунка, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что с целью упрощения устройства при исключении необходимости согласованиямасштабов шаровых кодов в обоих каналах, узел для преобразования цифровыхкодов в аналоговый сигнал выполнен в виде цифроаналогового преобразователя, выход которого соединен со входом аналогового запоминающего устройства и аналого-фвого ключа, причем выход аналогового за 892524 4поминающего устройства соединен со входом выходного усилителя канала позиционирования пучка, выход аналоговогоключа соединен со входом выходногоусилителя канала формирования фрагмента топологического рисунка, а управляющие входы аналогового запоминающегоустройства и аналогового ключа соединены с выходами цифровой системы управления.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент США % 4117340,кл. 250492, опублик, 1978.2. Патент Японии % 53-24792,кл, 99/5/С 5, опублик, 1978 (прототип).Лазаренк сноССР ого комитета ий и открыт осква,ая набд, 4/5 илнал ППП "Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ставитель Вхред И. Га 268/76 ТВНИИПИ Гопо делам нраж 787 дарс твены изобрете 35, Раущ аврю шин Корректор Л Бокша