Датчик холла

Союз Советскни Социалистическими Республик(22) Заявлено 1211,79 (21) 2837755/18-21с присоединением заявки Ио(23) ПриоритетОпубликовано 071181 Бюллетень Ий 41Дата опубликования описания 07,1181 р 11 М з С 01 8 ЭЗ/06Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения В.И. Погодин, Н.П. Тихомиров и Г.А, Юрьева Специальное конструкторское бюро Ордена Ленина физикотехнического института им. А.Ф. Иоффе(54) ДАТЧИК ХОЛЛА Известны устройства для измерения и преобразования магнитных полей в электрический сигнал с использованием гальваномагнитных эффектов - датчики Холла 1,Эти устройства обладают слабой механической прочностью из-за малой площади контактов и по этой же причине в режиме работы без перегрева име ют малую мощность рассеивания, что ограничивает рабочий ток через преобразователь, а значит и его чувстви-тельность к магнитному полю. И кроме того, эти устройства обладают чув ствительностью к температурным изменениям, что приводит к дополнительной погрешности измерений. С целью повышения точности в дат" чике Холла, содержащем диэлектрическую подложку, на которой расположен элемент Холла, выполненный из полупроводниковой пластины, токовые и потенциальные электроды, длина токовых электродов выполнена равной шири" не полупроводниковой пластины, а 25 Изобретение относится к измерительной технике, а точнее - к устройствам для измерения магнитных полей, основанным на использовании гальвано 5 магнитных эффектов. Известен также датчик Холла для измерений магнитных полей 2 ).Известный датчик Холла, содержащий элемент Холла, выполненный из полупроводниковой пластины, расположенной на диэлектрической подложке,токовые и потенциальные электроды икомпенсационное сопротивление, вклю-ченное параллельно в цепь потенциальных электродов или последовательно с ними. В первом случае это сопротивление имеет тот же температурныйкоэффициент, что и датчик Холла, вовтором - оно имеет обратный, по сравнению с датчиком Холла, температурный коэффициент. Подключение дополнительного сопротивления служит длятемпературной компенсации. Недостатками известного устройства являются, во-первых, недостаточная точность, во-вторых, сложность подбора сопротивлений с одинаковыми температурными коэффициентами.Цель изобретения - повышение точности измерений.879521 Формула изобретения 40 толщина полупроводниковой пластиныопределяется выражением: где д - толщина пластины, мкм;в - коэффициент, определяемыйконцентрацией носителей тока;о - температурный коэффициентвыходного напряжения.На чертеже представлено схематическое изображение датчика Холла.Датчик Холла содержит диэлектрическую подложку 1, на которой распо 15 ложена полупроводниковая пластина. Из этой пластины сформирован элемент Холла 2, имеющий холловские выступы 3 и 4, на которые нанесены потенциальные электроды (на чертеже не по казано). Токовые электроды 5 и 6 нанесены как на рабочую область элемента Холла 2, так и на нерабочие участки 7-10 полупроводниковой пластины. 25Работа датчика Холла происходит обычным образом. Токовые электроды 5 и б подключаются к источнику питания, а сигнал, пропорциональный величине магнитного поля, снимается с потенциальных электродов.Для того, чтобы температурный коэффициент выходного напряжения был минимальным, толщина полупроводнико-. вой пластины выбирается с учетом выражения: где д - толщина полупроводниковойпластины;в - коэффициент, определяемыйконцентрацией носителей тока;о - температурный коэффициент выходного напряжения.Например, для антимонида индия уже при концентрации носителей тока 7 10"е см- температурный коэффициент выходного напряжения переходит через 50 нуль. Однако толщина элемента Холла 2 в этом случае будет неоправданно велика. Оптимальным для изготовления датчиков Холла представляется антимо-. нид индия с концентрацией носителей 55 тока 1 10 смЗначение в для этой концентрации носителей тока будет равно 0,124. Подставив это значение в формулу, можно определить толщину элемента Холла для получения любого необходимого температурного коэффициента выходного напряжения датчика Холла. Например, если требуется, чтобы этот коэффициент был равен нулю,то толщина элемента Холла 2 равна 52 мкм.При задании формы элемента Холла 2 полупроводниковое вещество вытравляется только по контуру элемента, так что канавки отделяют рабочую область элемента Холла 2 от нерабочих участков 7-10 полупроводниковой пластины. Токовые электроды 5, б, наносят как на рабочие, так и на нерабочие участки полупроводниковой пластины, так что длина контактов равна ширине всей полупроводниковой пласти. ны.Таким образом, за счет большей площади контакта токовых электродов 5, б с полупроводниковой пластиной увеличивается механическая прочность датчика Холла и повышается мощность, отводимая от поверхности элемента Холла 2 через большие по площади токовые электроды 5, б, выполненные,например, из медной фольги. При этом, чем меньше размер элемента Холла 2, тем значительней укаэанный эфФект.Используя обнаруженную зависимость температурного коэффициента выходного напряжения от толщины полупроводниковой пластины для разных концентраций носителей тока, при изготовлении датчиков Холла можно заранее выбирать такую толщину пластины, которая при данной концентрации носителей тока обеспечит необходимое значение температурного коэффициента выходного напряжения. Датчик Холла, содержащий диэлектрическую подложку, на которой расположен элемент Холла, выполненный изполупроводниковой пластины, токовыеи потенциальные электроды, о т л ич а ю щ и .й с я тем, -что, с цельюповышения точности, длина токовыхэлектродов выполнена равной ширине"полупроводниковой пластины, а толщина полупроводниковой пластины определяется выражением:: р 77где д - толщина пластины, мкм;в - коэффициент, определяемый концентрацией носителей тока;о - температурный коэффициентвыходного напряжения.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. А. Кобус, Я. Тушинский. ДатчикХолла и магниторезисторы, М., 1971,с. 101-106.2, Патент ФРГ Р 1104603,кл. 21" е 26/01.879521Составитель В.Новожилов Редактор И.Марголис Техред А.Ач Корректор Н.Швыдкая Заказ 9713/16 Тираж 735 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раущская наб., д. 4/5филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4