Шагающий конвейер

Союз СоаетсиинСоциапистичесиикРеспубяии ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(6 ) Дополнительное к авт. свид-ву(22)Заявлено 15,11.79 (21) 2862913/27-03 1 с присоединением заявки ре -(5 )И. Кд,В 65 О 25/00 1 еаудеретавннЫ 1 квинтет СССР но млам нзебретеннй н аткрмтнй(54) ШАГАЮЩИЙ КОНВЕЙЕР Изобретение относится к машиностроению, в частности к транспортирующим устройствам, и может бытьииспользовано при перемещении плоских изделий в объеме, ограниченном по высоте, например при транспортировании5 полупроводниковых пластин между электродами в установках плазмохимического травления с диодной системой возбуждения разряда.Известно устройство для перемещения изделий, выполненное в виде шарнирного параллелограмма, одно звено которого неподвижно закреплено. При приложении момента сил к одному из незакрепленных звеньев механизм совершает дискретное перемещение изделий ка. ваг. 11 .Недостаток данного устройства заключается в том, что оно обеспечивает перемещения изделий только на равные величины как по вертикали, так и по горизонтали. В то же время возникает Необходимость перемещать изделия на небольшую величину по вертикали и на большую - по горизонтали,Наиболее близким к предлагаемому является шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, связанных с приводом горизонтального перемещения, Носитель выполнен в виде отдельных балок а каждая опора оборудована контактирующим с соответствующейбалкой двухребордным роликом. При перемещении груза опоры поднимающие продольные балкиповорачиваются с помощью привода. Продольные балки поднимаются выше балок, на .которых расположен груз, и приподнимают его. После этого с помощью другого привода перемещаются в горизонтальной плоскости продольные балки вместе с грузом. Затем груз снова опускается йна балки, на которых он был распо35 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1.Артоболевский И,И. Механизмы ви 11современной технике, М., Наука1970, т.1, с.376.2.Авторское свидетельство СССР309883, кл, В 65 О 25/00, 1969(прототип). 3 846436 ложен, и продольные балки возвращаются в исходное положение 2 1.Недостаток данного устройства заключается в сложности конструкции, обусловленной наличием двух раздельных приводов для вертикального и горизонтального перемещения груза. . Кроме того, известный конвейер не обеспечивает высокой производительности ввиду того, что необходимо вре О мя для холостого хода конвейера при возврате его в исходное положение.Целью изобретения является упро-. щение конструкции и повышение производительности. 15Указанная цель достигается тем, что в шкивах выполнены пазы, а неподвижная плита имеет ролики, уста новленные с возможностью взаимодействия с пазами при опускании .носителей. 20На фиг. 1 изображен шагающий конвейер, общий вид; на фиг. 2 - положение конвейера в момент выстоя обрабатываемого изделия на позиции обработки, на фиг. 3 - то же, в момент переноса обрабатываемого изделия на новую позицию.Шаговый конвейер состоит из плиты 1 с вертикальными пазами 2, в которых располагаются оси 3 с закрепленными на них шкивами 4, несущими гибкие движители 5, и подъемными шкивами 6, опирающимися своими пазами на ролики 7, Гибкие движители 6 утоплены в пазу 8 плиты 1 (фиг,1).Устройство работает следующим образом.Пазы поднаемных шкивов фиг. и 2 )совпадают с опорными плоскостями роликов 7. В этом положении гибкие 40 движители 5 утоплены в пазах 8 плиты 1 и обрабатываемое изделие 8 (не по-, казано) лежит на плоскости неподвиж" ной плиты 1. При включении привода (не показан) пазы подъемных шкивов 6 45 выходят из зацепления с роликами 7 1 фиг,3), приподнимая гибкие движители 5 над плитой 1 на величину, равную4разности глубин пазов подъемных шкивов 6 и пазов 8 плиты 1, При этом обрабатываемое изделие 9 приподнимается над плитой 1 и переносится на расстояние, равное разности длины окружности подъемного шкива 6 и части длины окружности паза шкива 6. После совершения одного оборота подъемных шкивов 6 (при совпадении их пазов с роликами 7) гибкие движители5 утопятся в пазу 8 плиты 1, и обрабатываемое изделие 9 останавливается на новой позиции.Таким образом, конвейер позволяет осуществить при соответствующем подборе соотношения длйны окружности подъемного шкива, глубины паза и диаметра ролика, значительные, например 125 мм, горизонтальные перемещения при весьма малых, например 1-2 мм вертикальных перемещениях обрабатываемого изделия,Формула изобретения Шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, связанных с приводом горизонтального перемещения, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения йроизводительности, в шкивах выполнены пазы, а неподвижная плита имеет ролики, установленные.с возможностью взаимодействия с пазами при опускании носителей.,Составитель Л,Расторгуевадактор П.Коссей Техред Т.Маточка Корректор Б.Р о аб., д.4 ал ППП Патент , г,ужгород,ул.Проектная аказ 5359/29 Тираж 842ВНИИПИ Государственногопо делам изобретений 13035, Москва, Ж-. 35,Подпи комитета СС открытий . аушская н