Способ обработки отрицательных электро-дов электровакуумных устройств

ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Совет скинСоциал истическин(23) Приоритет Опубликовано 3006,81, бюллетень Рй 24 но делам нэобретеннй н открытнй(088.8) Дата опубликования описания 30.0 б.81(72) Автор изобретен Н,ин ни инжен Московский орде удового .Красного 3ский институт аявнтел(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОТРИЦАТЕЛЬНЫХ ЭЛЕКТРО ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ УСТРОЙСТВносится к электрон ет быть использовавакуумных приИзобретение ой технике и мышение элек в высоковольтных рах и электрофизи х, например в уск их устан рителях, длятик вакуумной стк сти ями Я Однако пр ботки на пов таются микро вают напряже поля в Ъ ратаком способе обрархности электрода о стрия, которые усилиность электрического и тем самым ухудшаю коэ ны сос отв ляп улучшения характерисизоляцииИзвестны способы получения высоких напряженностей электрическог поля в вакууме с помощью кондиционирования поверхностей электродов, микропробоями в вакууме Г 11.Известен способ обработки отрицательного электрода электровакуумного устройства, включающий очи электрода и тренировку поверхно электрода высоковольтными пробо электрическую прочность вакуумнойизоляции,Цель изобретения - поввтрической прочности вакуумного промежутка,5Поставленная цель достигается тем,что в способе, обработки отрицательного электрода электровакуумногоустройства, включающем очистку элек 1 Отрода и тренировку поверхности электрода высоковольтными пробоями, после тренировки высоковольтными пробоями на поверхность электрода наносят ионным напылением слой металла15с работой выхода не ниже работы выхода металла электрода до получениястабильного коэффициента усилениянапряженности электрического пол .На фиг, 1.показаны зависимостиффициента усиления поля 1 о от дливакуумного промежутка с 1 для двухтояний электродов. Кривая 1 соетствует: абстоянию вакуумной иэоии после обработки тлеющим раз. рядом и кондиционирования микропробоями вакуума. Кривая 2 соответствует состоянию вакуумной изоляции после обработки предлагаемым способом,Из сравнения этих зависимостей видно,что при увеличении длины промежутка предлагаемый способ позволяет существенно уменьшить коэффициентчто соответствует повьппению электрической прочности вакуумного промежутка.На фиг. 2 показана схема устройства для реализации предлагаемого способа,Схема содержит электроды 3 и 4, 15расположенные на расстоянии О другот друга, Кроме того, в устройство могут быть введены дополнительные электроды 5 и б.При проведении очисткина, электроды 3 - 5 подают отрицательный потенциал, а на электрод 6 положительный, что приводит к осаждению на поверхность электрода б загрязненного поверхностного слоя металла электродов 3-5. Очистка элек- д 5тродов необходима для полного удаления пленок окислов и неметалличес-,ких включений, что обеспечивает необходимое качество сцепления напыля-емого слоя с металлом электрода. ЭОПосле очистки электрод 3 тренируют высоковольтными пробоями, длячего электрод 3 подключают к отрицательному полюсу источника, а электрод 4 - к положительному. Даннаятренировка приводит к упрочнению поверхностного слоя материала электрода Далее на электрод 3 напыляют металл электродов 5 и 4,При напылении в тлеющем разряде 40электрод 3 подключают к положительному полюсу источника, а электроды4 и 5 - к отрицательному, причем вцепь электрода 5 включают ограничивающее сопротивление, величина ко 1 4торого в 100 раз больше, чем величина сопротивления в цепи электрода 4, что обеспечивает преимущественное распыление последнего электрода. Напыление проводят в чистом инертном газе при таких режимах тлеющего разряда которые обеспечивают механическую прочность напыленной пленки, превосходящую механическую прочность металла основного электрода.Толщина пленки должна соответствовать наименьшему стабильному коэффициенту усиления напряженности поля Ь при заданной величине промежутка д. Определениепроизводится путем снятия характеристик Фаулера-Нордгейма.Предлагаемый способ позволяет значительно повысить надежность и безотказность работы высоковольтных электровакуумных приборов.Формула изобретения Способ обработки отрицательныхэлектродов электровакуумных устройств,./включающий очистку"электрода и тренировку поверхности электрода высоковольтными пробоями, о т л и ч а ющ и .й с я тем, что, с целью повьппения электрической прочности вакуумного промежутка, после тренировкивысоковольтными пробоями на поверхность электрода наносят ионным напылением слой металла с работой выхода не ниже работы выхода металлаэлектрода до получения стабильногокоэффициента усиления напряженностиэлектрического поля.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРУ 550702, кл, Н 01 д 21/00, 1977.2. Сливков И. Н, Электроизоляция и разряд в вакууме. М., Атомиздат1972, с, 44-55 и 74 (прототип)..В 11 ИИПИ Государственн по делам изобрет 113035, Москва ЖВака 784 Подйисноеого комитета СССРе й и .открытийаушская наб. д 4/5Патент , г. Ужгород, ул. Проектная,Составитель В. МинаковМатюхина Техред Т,Маточка Корректо