Дозатор для получения парогазовыхсмесей

Союз Советских Социалистических Республик(51)М. Кл. С 05 0 11103 С 01 Р 13/00 с присоединением заявки йо -Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(54) ДОЗАТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПАРОГАЗОВЫХСМЕСЕЙ Изобретение относится к устройствам дозирования материалов и может применяться в технологических процессах производства интегральных схем, ,а также в химической промышленности.Известен дозатор, содержащий испарительную и смесительную камеры, соединенные диффузионным сопротивлением, атрубки подвода и отвода гаэоносителя и систему управления 11.Недостатком этого дозатора является узкий диапазон регулирования расхода, что связано с постоянным диффузионным сопротивлением, соединяющим испарительную и смесительную камеры.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемой конструкции является прямоточный испаритель для получения парогазовых смесей, состоящий из испарительной камеры, спиральных разделительных экранов и натекателя 21.Недостатком данного дозатора является невозможность регулирования расхода испаряемого реагента, что связано с фиксированным значением величины канала, образованного разделительными экранами, т.е. его длины и высоты. Расход испаряемого реагентаопределяется условиями насыщения газа-носителя парами, т.е.значением величины канала испарения,Вследствие этого данная конструкциядозатора обеспечивает единственноефиксированное значение расхода паров,так как при условии ненасышения газа-носителя происходит значительноеколебание расхода паров при неэначи тельных колебаниях расхода газа.Цель изобретения - расширение области применения дозатора.Укаэанная цель достигается тем,. что дозатор содержит поршень, уста В новленный в корпусе над поверхностьюжидкости с возможностью перемещенияпо вертикали и жестко связанный совторым входом патрубком, а спиральная перегородка закреплена на торце 20 поршня со стороны поверхности жидкости, причем спиральный канал перегородки связан с первым входнымпатрубком.На чертеже показан дозатор для 25 получения парогазовых смесей.Дозатор содержит частично заполненный жидкостью цилиндрический корпус 1 с радиальным первым входным 2,соосйым вторым входным 3 и выходным 30 4 патрубками, закрепленную в цилинд 830334рическом корпусе 1 соосно выходному патрубку 4 втулку 5, образующую со вторым входным патрубком 3 клапанную пару, нерез которую газовая полость б цилиндрического корпуса 1 сообщена с выходным патрубком 4, спиральную перегородку 7.и поршень 8, уста новленный в цилиндрическом корпусе .1 над поверхностью жидкости с возможностью перемещения по вертикали и жестко связанный со вторым входным патрубком 3, а сгиральная перегородка 7 закреплена на торце поршня 8 со стороны поверхности жидкости, причем спиральный канал .9 перегородки 7 связан с первым входным патрубком 2, Поршень 8 соединен с цилиндрическим 15 корпусом 1 с помощью сильфона 10.Клапанная пара -5 имеет канал 11.Дозатор работает следующим образом.Газ-носитель, .расходуемый на на сыщение, поступает через первый вход" ной патрубок 2 в цилиндрический кор" пус 1 с жидким реагентом и проходит через спиральный канал 9, При этом происходит его насыщение парами реагента и насыщенный газ-носитель поступает через канал 11 в выходной патрубок 4, смешивается с газом-разбавителем, подаваемым во второй входной патрубок 3 и далее смесь поступает в реакционный объем рабочей установки. В интервал времени, когда не требуется подача паров реагента в реакционный объем, второй входной патрубок 3 перемещается и закрывает канал 11. 35Для получения требуемой концентрации парогазовой смеси на выходе дозатора, высота канала 9 устанавливается перемещением поршня 8, за счет перемещения второго входного патруб. ка 3 и деформации сильфона 10.Таким образом, изменяя высоту ка нала 9 при неизменной его длине, концентрация парогазовой смеси изменяется в широком диапазоне, что дает возможность увеличить его производительность, сохранив требуемую для процессов точность дозирования.Формула изобретенияДозатор для получения парогаэовысмесей, содержащий частично заполненный жидкостью цилиндрический корпус с радиальным первым входным исоосным. вторым входным и выходнымпатрубками, закрепленную в цилиндрическом корпусе соосно выходному патрубку втулку, образующую со вторымвходным патрубком клапанную пару,через которую газовая полость цилиндрического корпуса сообщена с выходным патрубком, и спиральную перегородку, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения области применения дозатора, он содержит поршень, установленный в цилиндрическомкорпусе над поверхностью жидкостис возможностью перемещения по вер-тикали и жестко связанный со вторымвходным патрубком, а спиральная перегородка закреплена на торце поршня со стороны поверхности жидкости,,".причем спиральный канал перегородкисвяэан с первым входным патрубком.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРВ .581379, кл. 001 Р, 13/00, 1977.2, Авторское свидетельство СССРР 204444, кл. Н 01.Ь 17/68, 1967Ипрототип.Тираж 940 Государственн делам изобрете , Москва, ЖПодлого комитета СССРний и открытий