Способ получения изображения в электронно-оптической системе

Союз Советских Социалистических республик(51)М. Кл.з Н 01 3 29/48 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) СПОСОЬ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОИ СИСТЕМЕ зами 2. Однако при этом не полностьюреализуются возможности магнитной 20 цилиндрической линзы.Например, если плоскость симметрии пучка, сфокусированного первойэлектростатической цилиндрической линзой ортогональна плос кости симметрии магнитной линзы, то из-за поворота изображения пучок на экране фокусируетсяне оптимально, а в направлении, со.ответствующем фокусирующему лейстЗо вию магнитной линзы. При условии Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в электронно-оптических системах (ЭОС), формирующих пучки, поперечное сечение которых в плоскости экрана является некруглым. ЭтиОЭС предназначены, как правило,для ЭЛГ с однострочной разверткойпри высокой разрешающей способности вдоль строки.Известен способ фокусировки пучка во взаимно перпендикулярных направлениях при помощи двух последовательно расположенных цилиндрическихлинз, выполненных в виде пар параллельно расположенных пластин. Торцы пластин затянуты мелкоструктурной сеткой для разделения фокусиру-.их полей в каждом из направлений1 .Однако применение данного способа фокусировки пучков не обеспечивает высокой удельной разрешающейспособности вдоль строки нэ-за расфокусировки пучка в ячейках сеток,а также вследствие значительныхаберраций во второй электростатической линзе.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому является способ получения изображения в электронно-оптической системе, содержащей две цилиндрические линзы, заключающийся в том, что пучок электронов Фокусируют в цервой линзе в одном направлении, затем фокусируют пучок в другом направлесии во второй линзе, являющейся одинарной магнитной,линзой, и создают на экране изобра О жение точечного источника, Фокусировка пучка второй магнитной цилин.дрической линзой позволяет повыси.разрешающую способность по сравнению с фокусировкой чисто электро-.15 статическими цилиндрическими лингауссовой Фокусировки обеими линзами точечного источника, изображениеего в этом случае имеет вид штриха.Это уменьшает общую разрешающую способность, а также приводит к уменьшению плотности тока н пятне, поскольку площадь пятна оказываетсябольшей, чем в том случае, когдаточечный источник отображается фокусирующей системой в точку.Цель изобретения - повышениеразрушающей способности,Указанная цель достигается тем,что сфокусированный первой линзойпучок поворачивают противвращенияизображения, создаваемого второй линзой, на угол, прямо пропорциональныйрасстоянию от точечного источникадо второй линзы.На фиг. 1 представлена схема ЭОС,продольное сечение, на фиг. 2 - тоже, поперечное сечение.ЭОС содержит катод 1, модулятор2, ускоряющий электрод 3, электрически соединенный с парой параллельных пластин 4, которые образуют первую цилиндрическую электроакустическую линзу 5 совместно с пластинами6. Второй цилиндрической линзой янляется электромагнитная катушка 7.Плоскость симметрии электростатической линзы 5, являющаяся н частномслучае и плоскостью, относительнокоторой Фокусируют пучок 8 электронов на выходе первой линзы, повернута относительно вертикали плоскостисимметрии магнитной линзы 7 на уголУ Способ Фокусировки осуществляетсяследующим образом,В иммерсионном объективе, образованном катодом, модулятором и ускоряющим электродом Формируется аксиально-симметричный расходящийся пучок8 электронов. Далее этот пучок попадает в область действия электростатической линзы 5 и фокусируется этойлинзой на экране в штрих, которыйповернут на угол 9 от вертикали кплоскости симметрии магнитной линзы,Затем пучок попадает в одинарную магнитную линзу, которая осуществляетокончательную Фокусировку пучка наэкране,При наличии укаэанного угла разворота магнитной линзы по ходу вращения изображения в ней, пучок наэкране фокусируется в виде эллипсас осями, пропорциональными коэффициентам линеиного увеличения соответствующих линз, Тожчный же источникэлектронов в этом случае отображаетсяна экране в точку.4Угол разворота отсчитывается отвертикали к продольной плоскости симметрии магнитной линзы против вращения изображения в этои линзе. Вращение изображения, обусловленное магнитной линзой, происходит по часовойстрелке на угол )" (фиг, 2)В качестве первой цилиндрическойлинзы используется электростатическая линза либо магнитная н виде постоянного магнита, либо магнитная ивиде многосекционной катушки совстречно включенными секциями. Вэтом случае плоскость, относительнокоторой Фокусируется пучок, и плоскости симметрии линз совпадают, 1 т, е, линзы развернуты одна относительно другой от угла в 90 О строгона величину угла разворота ФЕсли же первая цилиндрическая линза выполнена в виде одинарной элекщ тромагнитной катушки, то необходимо учитывать поворот изображения, который имеет место в первой линзе,Технико-экономический эффект изобретения заключается в повышении разрушающей способности электроннолучевых приборон, При этом уменьшается мощность, необходимая для создания требуемой напряженности Фокусирующего поля по сравнению с известными способами, где необходимо ис пользование, по крайней мере, двойной фокусирующей катушки со встречным включением токов в секциях,35 40 45 50 55 формула изобретенияСпособ получения изображения вэлектронно-оптической системе, содержащей две цилиндрические линзы,заключающийся в том, что пучок электронов фокусируют в первой линзен одном направлении, затем фокусируют пучок в другом напранленииво второй линзе, являющейся одинарной магнитной линзой, и создают наэкране иэображение точечного источника, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения разрешающейспособности, сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращения иэображения, создаваемого второй линзой, на угол, прямопропорциональный расстоянию от точечного источника до второй линзы.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, .ЦЬьгупгу Н, 6. Неи а 62 еОессговйаСс чадгоп", Ргос.Ч ЕЕ,ч. 116, 9 3, р. 339, 1969.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке 9 2549557/18-25,кл. Н 01 ) 29/48, 05.12.77 (прототип).790035 Составитель В. ГавркшинКеви Техред Е.Гаврилешко Корректор Ковинска едактор одпис н Филиал ППП фПатент". г. Ужгород, ул. Проектная,Заказ 904 б/52 ВЦИИПИ ГосУД по делам 113035, Моск