Устройство для жидкостной обработки деталей

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 220978 (21) 2667471/18-21с присоединением заявки Мо -(51) М. Кл,3 Н 01 1. 21/00 С 25 О 17/02 Государственный комитет СССР но дедам изобретений и открытийЮ) УД( 621. 382. .002(088.8) Дата опубликования описания 300280(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЖИДКОСТНОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ Изобретение относится к технологическому оборудованию, применяемому в полупроводниковой промышленности для химической обработки деталей удлиненной формы, в частности кремние 5 вых слитков длиной до 630 мм., Известно травильное устройство, содержащее ряд ванн последовательной обработки, расположенных на одном уровне. Вдоль ванн смонтировайы рельсы, на которых с возможностью перемещения установлены транспортирующие механизмы 11.Недостатками устройства являются сложность и громоздкость транспорти рующего средства (наличие рельсов, транспортирующих механизмов), необхо-, димость изоляции упомянутого средства от вредного воздействия паров и брызг травителя, а также невозмож.- 2 О ность обработки деталей одновременно во всех камерах, что снижает производительность устройства. Известно также устройство для хи мической обработки деталей, содержащее камеры последовательной обработки со смежными перегородками, причем каждая камера снабжена перегру,жакхдей планкой, установленной с воэ можностью возвратно-поступательного перемещения (2).Однако это устройство имеет большие габариты, кроме того, в нем без конструктивных изменений невозможно осуществлять обработку деталей цилиндрической форью, например полупроводниковых слитков. Цель изобретения - повышение процента выхода годных деталей - достигается тем, что в устройстве для жидкостной обработки деталей, преимущественно кремниевых слитков, содержащем камеры последовательной обработки с перегородками, причем каждая камера снабжена перегружающей планкой, установленной с возможностью воэвратнопоступательного перемещения, каждая камера снабжена двумя валиками, жестко закрепленными в нижней части камеры с возможностью прохода между ними перегружающей планки, а перегородки снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в сторону последовательного перемещения деталей.На фиг. 1 изображено устройство для жидкостной обработки деталей в момент перегрузки," на фиг. 2 - то же в момент технологической обработки .Устройство для жидкостной обработки деталей содержит, например, три смежные камеры 1 последовательной об" работки с приспособлениями для перегрузки деталей из одной камеры в дру-, гую, каждое иэ которых включает планку 2, снабженную приводом 3 возвратно-поступательного движения в вертикальной плоскости. В нижней части каждой камеры 1 жестко закреплены валики 4, расположенные симметрично относительно планки 2 и с возможностью ее прохода между ними, Планки 2 имеют скосы в сторону последовательной обработки деталей 5. Пере" городки 6 между камерами снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в 15 сторону перемещения деталей. Валики 4 установленные с возможностью вращения вокруг своей оси, расположены так, что между перегородкой б и обрабатываемой деталью 5 образуется зазор 2 О от 1 до 5 мм, в зависимости от диаметра обрабатываемой детали 5, Камеры 1 последовательной обработки помещены в герметичный корпус 7, снабженный шлюзами 8, установленными на позициях загрузки-выгрузки деталей 5.Устройство работает следующим образом.Камеры 1 предварительно заполняются соответствующей средой обработки. Обрабатываемая деталь 5, например кремниевый слиток диаметром 75 мм и длиной 630 мм, через шлюз 8 подается в камеру 1. Планка 2 в этот момент находится в крайнем , 35 верхнем положении, Затем планка 2 начинает опускатьоя и деталь 5, опираясь одновременно на планку 2 и перегородку б, перемещается вниз до тех пор, пока не попадает на валики 4.що После этого валикам 4 сообщается вращательное движение от привода (на чертеже условно не показан). Вместе с ними начинает вращаться деталь 5 и происходит процесо технологической ее обработки, например, удаление нарушенного слоя после операции калибровки кремниевой детали 5 на круглошлифовальном станке, По окончании технологического процесса обработки в первой камере 1 деталь 5 с помощью планки 2 подается вверх на уровень высоты перегородки 6 и по скосам планки 2 и перегородки 6, образующим в данный момент наклонную плоскость, скатывается 55 на планку 2, размещенную в соседней камере 1, которая находится в верхнем крайнем положении,и в этой камере 1 цикл повторяется. В это время в первую камеру 1 через шлюз 8 подается очередная обрабатываемая деталь5. Таким образом, осуществляется"загрузка и перегрузка деталей 5 и обеспечивается возможность обработки деталей 5 одновременно во всех камерах 1.Выгрузка обработанной детали 5происхоидт через шлюз 8, установленный на позиции выгрузки, в накопитель обработанных деталей 5.Использование предложенного устройства в качестве технологического оборудования, в частности, полупроводникового производства, позволяет осуществлять обработку слитков,большой длины, например кремниевыхи длиной 630 мм, без увеличения габаритов устройства,Габариты устройства для жидкостной обработки деталей цилиндрическойформы уменьшаются в 2,5-3 раза,Применение этого устройства позволяет осуществлять операцию травлениякремниевых слитков для удаления нарушенного слои после операции калибровки, что повышает процент выхода годных пластин и приборовС помощью предложенного устройствавозможна обработка слитков, имеющихзначительную длину, следовательно экономится дорогостоящий материал, таккак исключается необходимость разделения слитков на отдельные более короткие заготовки.Формула изобретенияУстройство для жидкостной обработки деталей, преимущественно кремниевых слитков, содержащее камеры последовательной обработки с перегородками, причем каждая камера снабжена перегружакцей планкой, установленной с возможностью возвратно-поступательного перемещения, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повыаения процента выхода годных деталей, каждая камера снабжена двумя валиками, жестко закрепленными в нижней части камеры с возможностью прохода между ними перегружающей, планки, а перегородки снабжены отбортовкой, выполненной с наклоном в сторону перемещения деталей.Источники информации,принятые во внимание при эксйертиэе 1. Заявка Японии М 48"30213,кл. 12 А 12, опублик. 1973. 2. Заявка Японии Р 51-10944,кл. 99(5)СЗ, опублик. 1976 (прототип),767869 Составитель Л. ГришковаРедактор Е,Караулова Техред А. Ач Корректор М исное ак 4/5 роектная, 4 иал ППП "Патент", г род 13/49ВНИИПИпо д113035 Тирам 844 Подосударствениого комитета СССлам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская набг