Шлюзовое устройство

Союз СоветскнхСоцнвлнстнчесннхйиеспублни ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пи 723000(51)М. Хл. с присоелииениен заявки,% С 23 С 13/08 Государственной ноннтет СССР но делан изобретений и отнритий( 54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО Изобретение относится к поворотным: шлюзовым устройствам для ввода в ва-: куумные рабочие камеры или вывода из них изделий из материалов радиотехники, электронной техники и др.Известно шлюзовое загрузочное устройство, содержащее корпус с торцовыми крышками и средства откачки 1(. Это устройство не обеспечивает сохранение ориентации загружаемых изделий.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является шлюзовое устройство, содержащее корпус с загрузочно-разгрузочными отверстиями и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью (21 .Цель изобретения - исключение повреждения обрабатываемых изделий.Это достигается благодаря тому, что шлюзовое устройство, содержащее корпус с загрузочно-разгрузочными отверстиями и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью, снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочным отверстиямкорпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслоной, кинематическисоединенной с ротором и расположеннойв торце выходного отверстия держателя.5На фиг. 1 изображен общий вид устройства в разрезе; на фиг. 2 - разрезА-А на фиг. 1,Устройство состоит из корпуса 1 сполостями 2 и 3 промежуточной откачки первой ступени и второй ступени соответственно, ротора 4 с загрузочнойполостью 5. К торцовой герметичнойкрышке 6 присоединен откачкой пвтрубок7 первой ступени откачки, а в другойгерметичной крышке 8 находится ввод вращения 9 вала ротора 4. Загрузочная полость 5 ротора 4 выполнена в виде цилиндра, внутри которого размещены направляющая 10 и ось 11, скрепленные между собой. Между загрузочной полостью 5 и торцом ротора 4 расположен вводвращения 12 для вывода и крепления оси 11 в торцовой герметичной крышке 6.й 1 Ф Фиг.1 з 72 Огкачная полость 3 соединена с откачиым патрубком 13 второй ступени откачки, который закреплен на корпусе 1. В корпусе 1 имеются загрузочное 14 и разгрузочное 15 отверстия дпя прохода транспортируемых иэделий. Для того, чтобы изделие не соприкасалось с внутренней поверхностью загрузочной полости 5 ротора 4, на направляюшей 10 установ лен держатель 16 и заслонка 17, кинематически соединенная с ротором 4.Устройство установлено на рабочей камере 18. Регулируемые упоры 19 предназначены для балансировки ротора 4 в корпусе 1.Устройство работает следуюшим образомЧерез загрузочное отверстие 14 происходит загрузка изделия в загрузочную полость 5 ротора 4. При этом изделие размещается в направляюшей 10 и упирается в держатель 16. При вращении. ротора 4 загрузочная полость 5 совмешается поочередно с полостями промежуточной откачки 2 и 3, в результате чего происходит ступенчатая ее откачка.Так как направляюшая 10 жестко соединена с осью 11, которая прн этом закреплена неподвижно в торцовой герметичной крышке 6 через ввод врашения 12, то направляюшая 10 остается неподвижной в процессе врашения ротора 4. В момент совмешения загрузочной полости 5 с разгрузочным отверстием 15 корпуса 1 заслонка 1 7 открывает держатель 16 и изделие поступает из направляющей 10 в рабочую камеру 3000 418 под собственным весом сохраняясвою ориентацию.Аналогично устройство работает привыгрузке изделий из рабочей. камеры.Только установка устройства осушеств 3 иется так, чтобы загрузочное отверстие 14 находилось со стороны вакуумной рабочей камеры 18.В предложенном устройстве обеспечивается сохранение ориентации изделия иповышается надежность загрузки иэделия, т,е. исключена поломка изделия ивыход из строя шлюзового устройстваиз-за попадания частиц изделия в заэо 1 ь ры между ротором и корпусом. формула изобретения Шлюзовое устройство, содержащее корпус20с загрузочно-разгрузочнымиотверстиями иразмешенный в нем ротор с цилиндрической полостью, отлич аюшеес ятем, что, с целью исключения повреждения обрабатываемых изделий, устройство 225снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочнымотверстиям корпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслонкой,30кинематически соединенной с ротороми расположенной в торце выходного отверстия держателя.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе .1, 5 оого. Нос. 5 О, ТесЬпЖодч1 973 г, Ч 10 й 2 р. 393-397,2. Авторское свидетельство СССР451753, кл. С 21 д 9/00, 1973723000 Составитель Е. Кукииамирнова Техред Н, КовалеваКор р Ю. Мака дак ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 аказ 321/17ЦНИИПИ Г по делам 113035 Тираж 1 ударствен иэобретени Москва, Ж 074 Подписноеого комитета СССРи открытий35, Раушская наб., д. 4