Регулируемая щелевая диафрагма

Номер патента: 672671

Авторы: Ганзбург-Преснов, Клешков, Фрейцис, Фридлянский

ZIP архив

Текст

(51) М, Кл.Н 01 У 39/02. Геаударатвааный ветат СССР ва ладан изабретвей а аткритай(72) Авторы изобретения Ордена Трудового Красного Знамени специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения НТО АН СССР(54) РЕГУЛИРУЕМАЯ ЩЕЛЕВАЯ ДИАФРАГМА Изобретение относится к ионно-оптическим и оптико-механическим устройствам, в которых,осуществляется формирование и фокусировка электронных,ионных и других пучков, и может быть нсюльзов ало в масс.спектрометрах.Известны регулируемые щелевые диафрагмы, 5 устанавливаемые в фокусирующих системах источников ионов и в приемниках ионов масс-спектрометров и содержащие два подвижных элемента, установленных в направляющих общего основания и находящихся под действием пружий, и 16 приводной механизм, шток которого герметично введен в вакуумную полость и взаимодействует с указанными элементами. Обращенные друг кдругу створки подвижных элементов образуют щель; ограничивающую ширину ионного пучка 13.1 ЗИзвестна также регулируемая щелевая диафрагма 2), содержащая два пружинных параллелограм.ма, закрепленных на основании таким образом, что их подвижные жесткиеэлементы образуют щель, приводной механизм регулирования шири. а ны щели и тяги, соединяющие гюдвижные жест- кие элементы пружинив параллелограммов с".поступательно дв мся штоком приводного 2механизма. Тяги представляют. собой плоские пружинные элементы, расположенные таким образом, что они не препятствуют перемещениям жестких пружинных элементов в направлении, перпендикулярном щелиСущественным недостатком описанных приборов является отсутствиерегулировки угла ново. рота диафрагмы, что весьма затрудняет юстировку прибора. Известна регулируемая щелевая диафрагма 13, содержащая образующие щель ножи и узел пере мещення ножей, расположенные в вакуумной по. ности прибора, а также приводной механизм ре гулирования ширины щели, соединенный. с узлом перемещения ножей, и узел поворота диафрагмы. Последний состоит из неподвижного и подвржного направляющих элементов, контактирующих, по поверхности вращения, ось которой совмеще. на с оптической осью прибора, Узел перемещения ножей закреплен на подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы, В указанном устройстве происходит заклинивание контактирующих поверхностей и изменение ширины30 Регулируемая щелевая диафрагма, содерыщая образующие щель ножи и узел перемещенияножей, расположенные в вакуумной полости прибора, а также прйводной механизм регулирования ширины щели, соединенный с узлом перемез щения ножей, и узел поворота диафрагмы, состо.ящий из неподвижного и подвижного направляющих элементов, контактирующих по поверхнос.тй вращения, ось которой совмещена с оптичес.кой осью прибора, причем узел перемещения но жей закреплен на подвижном направляющем эле.менте узла поворота диафрагмы, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности инадежности работы устройства, приводной механизм регулирования ширины щели расположен 45 на подвижном направляющем элементе узла поварота вне вакуумной полости прибораИсточники информации, принятые во внимание при экспертизе1, Патент США Иф 3187179, кл. 250 - 41 - 9, 50 19722. Патент Великобритании Ие 1327394,кл. Н 1 О, 1974.3. Техническое описание масс-спектрометраМХ 1320 1 Г 3. 394. 004 ТО. 55 67щели диафрагмы, что весьма критично при малойширине щели.Цель изобретения - повышение точности инадежности работы устройства, а также исключение влияния поворота диафрагмы на ширину еещели,Указанная цель, достигается тем, что привод.ной механизм регулирования ширины щели рас-положен на подвижном направляющем элементеузла поворота диафрагмы, размещенного вне ва.куумной полости прибора,Размещение подвижного и неподвижноГо направляющих элементов узла поворота диафрагмывне вакуумнои полости прибора при сохранениисовмещения оси поверхности контакта указанныхэлементов с оптической осью прибора позволяетисключить влияние вакуума на трущиеся поверх.ности, а также использовать антифрикционныематериалы и смазки, применение которых в вакууме недопустимо,Совместная установка узла перемещения ножей и механизма регулирования ширины щелина подвижном направляющем элементе узла поворота диафрагмы исключает их отйосительноеперемещение при Повороте диафрагмы и, следовательно, обеспечивает постоянство ширины щели диафрагмы.На чертежепоказана предложенная регули.руемая шелевая диафрагма, разрез.Регулируемая шелевая диафрагма содержитузел перемещения ножей, приводной механизмрегулирования ширины щели и узел поворотадиафрагмы.Узел перемещения ножей представляет собой два пружинных параллелограмма, закрепленных на кронштейне 1 корпуса 2, Каждый, параллелограмм содержит подвижныи 3 и нейодвйжный 4 жесткие элементы и соединяющие их-плоокие упругие элементы 5. Ножи 6 установленына подвижных жестких элементах 3 пружинныхпараллелограммов таким образом, что их рабочие кромки образуют щель,Приводной механизм регулирования шириныщели содержит поступательно перемещающийсяшток 7, установленный в расточке корпуса 2,который при помощи гайки 8 закреплен в под.вижном направляющем элементе 9 узла поворота диафрагмы. Герметизация штока 7 осущеет.вляется , сильфоном О Гайка 11 взаимодейству.ет с резьбой, имеющейся на конце штока 7, Пружила 12 выбирает зазор в резьбе и обеспечивает контакт, гайки 11 с опорной площадкой подвижного направляющего элемента 9, Индикатор3, щуп которогоконтактирует с торцомштока 26717, позволяет контролировать ширину щели диафрагмы.Шток 7 при помощи тяг 14, представляющихсобой плоские упругие элементы, соединен с подвижнымижесткими элементами 3 пружинных параллелограммов.Узел поворота диафрагмы содержит непод.вижный направляющий элемент 15, который закреплен на фланце 16, имеющем уплотняющий 0 элемент и служащем для установки диафрагмына корпус прибора, и подвижный направляющийэлемент 9.Указанные элементы сопрягаются по цилиндрической поверхности, ось которой совпадает с 5 оптическойосью прибора. Надежный контакт сопрягаемых поверхностей обеспечивает пружина17. Герметизацию качающегося корпуса 2 осуществляет сильфон 18. Винты 19 служат для поворо.та диафрагмы и ее фиксации в нужном положе.20 ни и.целевая регулируемая диафрагма обеспечива.ет работу в высоком вакууме и при высоких тем.пературах; расположение трущихся поверхностейузла поворота диафрагмы вне вакуумтюй полос ти прибораповьпцает надежность механизма, аисключение влияния поворота диафрагмы на ширину щели облегчает юстировку прибора.Формула изобретения672671 Составитель Н, Алимоваская Техред 3. Фанта Корректор О дактор Т ская каэ 3901/51 П "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Тираж 922 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам йзобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб.; д; 4/5

Смотреть

Заявка

2556118, 08.12.1977

ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ АН СССР

ГАНЗБУРГ-ПРЕСНОВ ВЛАДИМИР СЕМЕНОВИЧ, КЛЕШКОВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ФРЕЙЦИС АВРУМ ДАВИДОВИЧ, ФРИДЛЯНСКИЙ ГРИГОРИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 39/02

Метки: диафрагма, регулируемая, щелевая

Опубликовано: 05.07.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-672671-reguliruemaya-shhelevaya-diafragma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Регулируемая щелевая диафрагма</a>

Похожие патенты