Зондовая головка

о 1661862 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфез Сфветскик Социаяистическнк Республик(22) Заявлено 140377 (21) 2461945/18-21 Н 05 К 1/04 6 01 й 1/06 с присоединением заявки М -Государствеииый комитет СССР ио делам изобретений и открытий,б 84 (088.8) Опубликовано 050579. Бюллетень Йо 17 Дата опубликованию описания 050579(54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА 4Изобретение относится к радиотехнике, а именно к конструктивному выполнению зондовой головки, предназначенной для измерения электрофизических параметров твердых схем, мо)кет быть йспользованонапрймер, в микроэлектронике.Известна эондовая головка, включающая игольчатый подпружиненный опс механизмом подвода его к контактирующему элементу, и держатель, кото-;рый посредством плоскихпружин соеди-.нен с подвешенной йа диафрагмев)чан-"гой и Связан.1 три помощи гибкого тро-са с подпружиненным штоком (11.15Однако эта головка обладает рядомнедостатков, обусловливающих".низкувточйост йзмерения удельноГа, сопротивления полупроводниковых материалов (погрешйость сходимости состав -ляет ф 60 при доверительной вероятности 0,95). При использовании ее.в устройствах для измерения удельного сопротивления по сопротивлению растекания необходима высокая точностьосцроиэведевйя расстояния между зон дами и контактной площади. зонда с образцом. Последнее преимущественно ч зависит от стабильности давления зонда на образец, 36 2Известная конструкция не обеспечивает стабильности давления зонда на образец по следующим причинама) имеются .невоспроизводимые потери на трение качения в шарнирных соединениях обводных роликов, трение скольжения" толкателя с поверхностьюклинового полэуна и трения троса при егоперекатываниИ по желобуб) возможны автоколебания а свободно подвешенной уйругой системе под действием собственньпс колебаний и внешних возмущающих воздействий;в) имеется совокупность нерегулируемых упругих характеристик плоских пружин и пружин сжатия,Известна эондовая головка в виде игольчатого щупа с держателем щупа, связанным с механизмом перемещения щупа и струной механизма подъема и опускания щупа на контактируеьйй эле- мент. При этом механизм перемещения ,щупа снабжен горизонтально установленным напряженным пружинным параляелограммом, опирающимся на конец полого цилиндра, имеющего торцовуюстенку, на которой в полости цилиндра одним концом закреплена струна, противоположным концом соединенная с регулируемой планкой, связанноймеханизмом перемещения, к которому посредством пружины прикреплен другой конец цилиндра 2).Однако н данной конструкции настройка зонда на заданное давление сопряжена с большими трудностями, В каждом случае настройки зондана иное давление необходимо тарировать силы упругости напряженного прижимного параллелограмма, что значительно усложняет регулировку давления зонда. 10цель изобретения - упрощение регулировки давления зонда - достигается тем, что эондовая головка, содержащая корпус с механизмом перемещения зонда в виде пружинного параллелог рамма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъеМа и опускания зонда в виде струны, снабжена механизмом регулировки давлейия зонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного параллелограмма рычагом, один конец которого соединен с ним при помощи терированйой пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможнос- тью взаимодействия с винтом механизма регулировки величины давления зонда.Ба чертеже изображена описываемая зондовая головка.В корпусе 1 закреплены пластины З 0 пружинного параллелограмма 2, механизма перемещения зонда 3, не=.ущего держатель 4 зонда, кииематически связанного посредством гибкой тяги 5 с механизмом б подъема и опускания 35 зонда в виде бтруны. Иеханизм регули-ровки величины давления зонда включает рычаг 7, одним концом соединенный с подвижным звеном 8 пружинного па- . раллелограмма посредством тарирован ной пружины 9, а другим шарнирно закрепленный в корпусе и подтягиваемый пружиной растяжения 10 к сФери- ческому концу винта 11 с трибкой 12, находящейСя в зацеплении с зубчатым колесом 13 с делениями на торце, на которые указывает стрелка 14.Настройка и работа зондовой голов. ки.Зная передаточное отношение рычаж но-зубчатого механизма регулировки величины давления зонда, включающего рычаг 7, винт 11 с трибкой 12 и зубчатое колесо 13, и упругую характеристику тарнрованной пружины 9, посредством винта 11 с трибкой 12 уста" навливают колесо 13 на число делений, соответствующее необходимой величине давления зонда на образец. Пружина 9 растягивается и воздействует силой упругой деформации на подвижное звено 8 пружинного параллелограмма 2 удерживаемое в неподвижном положении гибкой тягой 5 механизма 6 подъема и опускания зонда. При нагреве струны механизма 6 зонд опускается и создает в точке контакта с образцом давление, равное упругой деформации тарированной пружины.Конструкция зондовой головки позволяет стабилизировать величину заданного давления на зонд, расширяет диапазон регулировки давления, дает воэможность удобства регулировки и быстрой перенастройки на заданное давление.Формула изобретенияЗондовая головка, содержащая корпус .с механизмом перемещения зонда в виде пружинного параллелограмма, на котором размещен держатель зонда, и механизмом подъема и опускания зонда в виде струны, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью упрощения регулировки давления зонда, она снабжена механизмом регулировки величины давлениязонда с винтом и трибкой и размещенным внутри пружинного парал лелограмма рычагом,один конец которого соединен с ним при помощи тарированной пружины, а другой шарнирно закреплен в корпусе и подпружинен с возможностью вэаимодействия с винтом механизма регулировки величины давле- ния зонда.Источникй информации, принятыево внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР9190956, кл. О 01 11 1/06, 19652. Авторское свидетельство СССР9553763, кл. Н 05 К 1/04, 1975.661862 СоставитеТехред Э. Л Прокопенкожик Корректор С . Шекмар Редакто федЬ ак атентф, г.ужгород, ул,Проектна ал ПП 3/69 Тираж 943 цНИИПИ Государственного комипо делам изобретений и отк 035, Москва, Ж, Рауюская на Подписно та СССР тий д, 4/5