Установка для электроннолучевого нагрева

ц)656558 кб Союз Советск П И ЗОБ Н И НИ оциалистическии РеслубликВИД ИТЕЛЬСТВ ОЛЕСКОМУ 161) Дополнительный,) 37/30 сударственныи иомит СССР о делам изооретениУДК 6 38.617 88.8) 53 Бюллетень Мисания 16.04.79 04.7 ияо публикован открыт Дата опубликова И Петер Зомме) Заявител ОГО НАГРЕВА ОННОЛ что крышка наконечников онена под угри оптималь 45 - 70. Поющей систе- расположеневода вместе 54) УСТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТ Изобретение относится к электроннолучевым приборам для местной обработки объектов и может быть использовано для нагрева,плавления и испарения материалов,Известны электроннолучевые установкидля нагрева объектов, в которых электронный луч формируется и отклоняется с помощью электростатических и магнитных систем 1 . Недостаток известных установоксостоит в сложности формирующих систем,Ближайшим техническим решением кпредложенному является установка дляэлектроннолучевого нагрева, содержащаяохлаждаемый тигель и электронную пушку, состоящую из катода, формирующего электрода, анода, лучевода и двух магнитных систем для отклонения электронноголуча в двух взаимно перпендикулярных направлениях Х и 1. Каждая магнитная система образована магнитопроводом с полюсными наконечниками и катушками возбуждения. Лучевод и магнитные системы заклю очены в цилиндрический корпус, в торце которого на выходе лучевода установленакрышка, через которую выведены полюсныенаконечники Х-отклоняющей системы 2. Недостатки известнои установки связаны с тем, что под действием тепла, исходящего от нагреваемого материала, крышка электронной пушки прогревается до высокой температуры и, кроме того, она запыляется частицами обрабатываемого материала. Высокая температура крышки приводит к снижению надежности работы пушки, а загрязнение крышки - к последующему отслоению напыленного материала и попаданию его в тигель. Этот недостаток особенно существенен, поскольку установка должна обеспечивать чистоту последовательно испаряемых материалов.Цель изобретения - повышение надежности установки. Эта цель достигается тем,корпуса от начала полюсныхХ-отклоняющей системы накллом 30 - 80 к оси лучевода пном диапазоне углов наклоналюсные наконечники Х-отклонямы установлены в плоскости,ной по одну сторону от оси лучс испарительным тиглем.656558 51 О Формула изобретения 13 3 О корпуса 8 установлены охватывающие лучевод магнитные системы 9, 10, отклоняющие луч в направлениях Х и У соответственно.Лучевод 7 и корпус 8 вакуумноплотно соединены крышкой 11.Отклоняющая система 9 состоит из магнитопровода 12 и установленной на нем катушки возбуждения 13. Магнитопровод 12 соединен с полюсными наконечниками 14 (на фиг. 1 виден только один наконечник).Крышка 11 наклонена к оси лучевода. Магнитопровод 12, катушки 13 и полюсные наконечники 14 расположены по одну сторону плоскости симметрии Б - Б, проходящей через ось лучевода 7. Внутренние поверхности наконечников 14 установлены под углом друг к другу. У-отклоняющая система 10 содержит раму, на которой закреплены катушки 15, 16 и полюсные наконечники 17 и 18,На фиг. 3 показана входная часть пушки. Электронный луч отклоняется системой 9 по криволинейной траектории в направлении тигля 19, охлаждаемого водой. Тигель поворачивается вокруг вертикальной оси для совмещения с лучом.На полюсных наконечниках 14 расположен изготовленный из меди охлаждаемый экран 20, имеющий коническое отверстие 21, экран предотвращает загрязнение пушки испаренным металлом и служащий в качестве ловушки для части отраженных электронов,Внутренние поверхности полюсных наконечников Х-отклоняющей системы расположены по касательной к цилиндрической поверхности корпуса под углом 20 - 90 (оптимальный диапазон углов наклона 45 - 70) друг к другу.Магнитопровод 1-отклоняющей системы выполнен в виде замкнутой рамы, охватывающей лучевод, на сторонах которой, расположенных по обе стороны плоскости симметрии полюсных наконечников Х-отклоняющей системы, установлены катушки возбуждения, а на поперечных указанной плоскости сторонах - полюсные наконечники,Тигель закреплен между полюсными наконечниками Х-отклоняющей системы и снабжен боковыми накладками, образующими продолжение полюсных наконечников Х-отклоняющей системы:На фиг. 1 показана предложенная установка (электронная пушка дана в разрезе); на фиг. 2 - разрез А - А; на фиг. 3 - относительное расположение пушки и тигля; на фиг. 4 - тигель с накладками.Электронная пушка (фиг. 1) содержит катод 1 и формирующий (цилиндр Венельта) электрод 2, установленные на изоляторе 3, снабженном радиатором 4. Изолятор окружен экранирующим колпаком 5. Анод 6 выполнен с каналом, переходящим в цилиндрический лучевод 7, Внутри цилиндрического 30 35 40 4 3 О 5 Вместо экрана в полюсные наконечники 14 может быть помещен тигель (фиг. 4), При этом полюсные наконечники 14 укорачивают, а тигель снабжают накладками 22.Положительный эффект достигается при выполнении угла наклона крышки в диапазоне 30 - 80, а угла между полюсными наконечниками 14 20 - 90, однако оптимальными величинами являются 45 - 70 для обоих угловых величин. Выход за эти пределы снижает эффективность использования объекта или приводит к паразитным воздействиям на электронный луч. 1. Установка для электроннолучевого нагрева, содержащая охлаждаемый тигель и электронную пушку, состоящую из катода, формирующего электрода, анода, лучевода и двух магнитных систем для отклонения электронного луча в двух взаимноперпендикулярных направлениях Х и У, каждая из которых образована магнитопроводом с полюсными наконечниками и катушками возбуждения, причем лучевод и магнитные системы заключены в цилиндрический корпус, в торце которого на выходе лучевода установлена крышка, через которую выведены полюсные наконечники Х-отклоняющей системы, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности работы установки, крышка корпуса от начала полюсных наконечников Х-отклоняющей системы наклонена под углом 30 - 80 к оси лучевода.2, Установка по п. 1, отличающаяся тем, что угол наклона крышки корпуса к оси лучевода составляет 45 - 70.3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что полюсные наконечники Х-отклоняющей системы установлены в плоскости, расположенной по одну сторону от оси лучевода вместе с испарительным тиглем.4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что внутренние поверхности полюсных наконечников Х-отклоняющей системы расположены по касательной к цилиндрической поверхности корпуса под углом 20 - 90 друг к другу.5. Установка по пп, 1 и 4,отличающаяся тем, что угол между внутренними поверхностями Х-отклоняющей системы составляет 45 - 7,0. 6, Установка по п. 1, отличающаяся тем, что магнитопровод У-отклоняющей системы выполнен в виде замкнутой рамы, охватывающей лучевод, на сторонах которой, расположенных по обе стороны плоскости симметрии полюсных наконечников Х-отклоняющей системы, установлены катушки возбуждения, а на поперечных указанной плоскости сторонах - полюсные наконечники.Сост ловская Техред Тираж ОНИИПИ Государстве по делам изо3035, Москва, Жилиал ППП Патент, Редактор Т. О Заказ 604/5 рректор П.МакаревиодписноеССРнй 4/5 ектная, 7. Установка по пп,и 3, отличающаяся тем, что испарительный тигель закреплен между полюсными наконечниками Х-отклоняющей системы. 8. Установка по пп. 1, 3 и 7, отличающаяся тем, что испарительный тигель снабжен боковыми накладками, образующими продолжение полюсных наконечников Х-отклоняющей системы.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР137205, кл, Н 0137/06, 960.2. Патент ФРГ248175, кл. 21 д 21/01, 1975.