Схема для измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п 1 656126(22) Заявл 23,06. 7 2376 831/18-25 1) М. Кл, Н 01 Я 9/42 С 011 21/32 присоединением заявк стеенный комитетСССРам нзооретеннйоткрытий(23) Приорит пуб овано 05,04Рязанский радиотехнический институ Заявители 4) С ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ В ОТПАЯННЫХ ЗЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРАХ ного повышения портак как с прогревотают и эффективновается низкой.Кроме того, относительно велика погрешность измерения давления за счет электрического поглогцснпя газа в замкпмтом объеме ЭВП, так как процесс измерения оказывается длительным.Такая схема измерения лавления имеет ограниченную применимость, обусловленную отсутствием эффективных стабилизаторов эмиссии для ЭВП разных типов. При подключении ЭВП с пологревом катодом к стабилизатору эмиссии промышленных вакуумомстров в схеме, как правило, возникают незатухающие колебания, делающие невозможным процесс измерения давления.Цель предлагаемого изобретения - снижение погрешности измерения давления, повышение пороговой чувствительности схемы и расширение возможности ее применения.Для этОго в цепь катода электровакуумного прибора между источником смещения катода и нулем схемы введен блок управИзобретение относится к области вакууметрии, в частности, к устройствам для измерения давления в отпаянных электро- вакуумных приборах (ЭВГ 1).Известна схема для измерения давления остаточных газов в ЭВГ 1, содержащая источник накала катода, источник ускоряющего напряжения, источник смещения катода, усилитель ионного тока и стабилизатор электронной эмиссии 1.Недостатком такой схемы является значительная инерционность системы, особенно при измерении давления в мощных ЭВП, приводящая к ограничению пороговой чувствительности за счет возрастания фонового тока в цепи коллектора ионов при разогреве внутренних деталей ЭВП.Известна также схема для измерения давления в отпаянных ЭВП, содержащая дополнительно блок компенсации фонового тока и запоминающий усилитель ионного тока 2.Наличие в этой схеме стабилизатора эмиссии определяет недостатки, присущие известной схеме. Блок компенсации фонового тока не может обеспечить значительоговои чувствительности, м фоновые токи возрассть компснсацпи оказыления, соединенный с запоминающим усилителем ионного тока.Блок управления состоит из источника опорного напряжения, измерительного резистора и нуль-органа, выход которогосоединен с запоминающим усилителем ионного тока.Конкретная схема блока управления определяется типом запоминающего усилителя ионного типа.С целью упрощения процесса измерения давления схема содержит блок автоматического переключения диапазонов измерения, в частности, выполненный по схеме триггерного счетчика, в выходные цепи которого включены обмотки реле, а их контакты соединень 1 с резисторами на входе запоминающего усилителя ионного тока.На фиг. 1 изображена схема устройства для измерения давления, на фиг. 2 кривая зависимости величины электронного, тока от времени.Измерение давления осуществляется следующим образом,На электроды ЭВП 1 (фиг. 1) подают ускоряющее напряжение (100 - 300 В) от источника 2 и напряжение смешения катода (20 - 50 В) от источника 3; появляющийся при этом в цепи анода (коллектора ионов) фоновый ток компенсирует с помощью блока 4 компенсации. Включают накал катода от источника 5. Измерение возрастающего тока коллектора в процессе разогрева катода осу шес гвл яется запоминающим усилителем 6 ионного тока с автоматическим выбором диапазона измерения, Блок 7 управления вырабатывает импульс включения памяти усилителя ионного тока, когда электронный ток достигает заданного уровня. Измерение давления производится непосредственно в момент времени (, (фиг, 2), а не в момент времени 12, как это делается в известных схемах измерения давления. Недостатки, присущие известным схемам измерения давления, устраняются в предлагаемой схеме следующим образом.1. Время измерения давления значительно сокращается, так как исключаются операции по регулировке тока эмиссии и его измерению, а переходный процесс установления электронного тока практически отсутствует. В связи с этим резко уменьшается эффект электрического поглощения газа и вызыванные этим эффектом ошибки измерения давления.2, За малое время измерения давления электроды (кроме катода) и изоляторы ЭВП не успевают заметно прогреться и поэтому фоновый ток коллектора сохраняется на том же достаточно низком уровне, что и в холодной лампе. Поэтому компенсация обеспечивает эффективное подавление фонового 5 тока и, тем самым, повышение пороговойчувствительности.3. Отсутствие необходимости стабилизации эмиссии позволяет измерять давление по предлагаемой схеме в ЭВП с тремя и более электродами независимо от мощности накала, что обеспечивает универсальность предлагаемой схемы.Малое время измерения давления обеспечивает высокую производительность труда при обследовании ЭВП в условиях крупно серийного производства,формула изобретения1, Схема для измерения давления в отпаянных электровакуумных приборах, содержащая источник накала катода, источникускоряющего напряжения, источник смешения катода, блок компенсации фонового токаи запоминающий усилитель ионного тока, отличающаяся тем, что, с целью снижения погрешности измерения, повышения пороговойчувствительности схемы и расширения возможности ее применения, в цепь катодаприбора между источником смешения катода и нулем схемы введен блок управления, соединенный с запоминающим усилителем ионного тока.2. Схема по п. 1, отличающаяся тем, чтоблок управления состоит из источника опорного напряжения, измерительного резисто 35 ра и нуль-органа, выход которого соединенс запоминающим усилителем ионного тока.3 Схема по п 1 и 2 отличающаясятем, что, с целью упрощения процесса измерения давления, она содержит блок автоматического переключения диапазонов измерения.4. Схема по п. 3, отличающаяся тем, чтоблок автоматического переключения диапазонов измерения выполнен по схеме триггерного счетчика, в выходные цепи которого45 включены обмотки реле, а их контакты соединены с резисторами на входе запоминающего усилителя ионного тока.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе501. Матвейко Р. П. и др. Измерение давления в ЭВП с помощью промышленныхвакуумметров. Электронная промышленность ЦНИИ Электроника, 1974,4,с. 89.8. Авторское свидетельство СССР55298973, кл. Н 01 3 9/42. 1969,656126 Составитель Г. ЖуковаТехред О. Луговая Корректор О. Билак ираж 922 Подписное Редактор Б. ПавловЗаказ 1538/43 енного комит ретений и о 5, Раушскаяг. Ужгород,ЦНИИ 11 И Государствпо делам изоб113035, Москва, ЖФилиал ППП Патент,ета . СССР ткрытийна 6. д. 4/5 ул. Проектн