Устройство для поворота луча

ц 636769 Соеэ Сфветскин Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ 61) Дополнительное к авт, свид в Заявлено 24.11,75 (21) 219395 51)М, К 8-25 3/3 2(32) 24.12.783409(33 Ь ГДР аеударственный квинтет ааата Мнннетроа СКр аа делам нзвбретеннй и аткрытнй(4 б) Дата опубликования описания 15,12,7 Иностр Роберт Гюнтер, Гтон Вольфганг Эрбкамм(72) Авторы изобретен Иностоанное ФЕБ Бандшталькомб) Заявител ЛУЧА УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВО Изобретение относится к каналам транспортировки пучков заряженных частиц и может быть использовано для изменения трактории влектронного луча в технологических электроннолучевых у тановках, например в установках для осаждения из паров в вакууме.Известно устройство для поворота лу ча а алектроннолучевой технологическо установке, содержащее ряд магнитных систем, расположенных перед передним краем испарительного тигля 11.Недостатком етого устройства являетсравнительно большой размер полюсных наконечников для создания изгибаю щего магнитного пола. сся решение я повов влек- ановке, ю систеика наю сисНаиболее близкое техническое к предложенному - устройство дл рота влектронно о луча, например троинолучевойнапылительной уст содержащее магнитную повор 1 тну му, расположенную вблизи источи пыления, и магнитную отклоняюш тему, расположенную на выходе электронного луча из влектронной пушки 21.В етом устройстве из-аа больших размеров поворотных полюсов, неравномерности изгибающего ма нитного поля прималом расстоянии между подложкой и испяряемым веществом поверхность ванныс недостаточной толщиной покрытия в поперечном направлении засвечивается,Кроме того, испаряемое вещество частично осаждается на полюсах.Целью изобретения является уменьшение габаритов установки за счет уменьщения площади полюсных наконечников.Поставленная цель достигается тем,что иа пути влектронного луча введенадополнительная поворотная магнитнаясистема, соединенная с первой магнитопроводом.На фиг,1 схематично показано устрой 2 цство для поворота пучка; нафиг.2-вариант магнитной цепи,В камере 1 устройства испарительныйтигель 2 укреплен на подвижном кронштейне 3. На боковых сторонах 4,5 тигля на некотором безопасном расстояниинаходятся стержневые полюсные наконечники 6,7 изгибающего магнита, на которых укреп лены соответствующие катушки 8; З9. Стержневые полюсные наконечники икатушки имеют водяное охлаждение и ук,реплены на поворотных рычагах 10,11,выполненных иэ немагнитного материала.Рычаги соединены с тигельным кронштей- фном 3 с помощью полой немагнитнойпоперечины 12. При смене тигеля посредством вращения поперечины полюсные наконечники 6,7 поднимаются и освобождают тигель 2. 3Концы катушек 1314 в этом примерене соединены с магнитным ярмом, магнитная цепь замыкается через воздушныезазоры между полюсными наконечниками 6,7 и концами катушек 13,14, поскольку З 1камера установки для испарительного покрытия выполнена из немагнитного материала.Возможны также устройства, в которых магнитная цепь замыкается черезярмо полюсных наконечников, напримермеханизм отведения,Далее магнитная цепь образуется дву:мя воздушными зазорами между концамикатушек 1314 и стенками 15-17 камеЗОры, если камера выполнена из.магнитньпматериалов,Кроме того, магнитная цепь можетбыть выполнена как показано на фиг.2,где рычаги 10,11 и прерванная в областипрохода электронного луча 18 поперечина 12 выполнены из магнитного материала. Свободные концы частей 19 и 20поперечины выполнены как полюсные наконечники 21,22, а части 19 и 20 соОединены с помощью бугеля 23,Устройство работает следующим образом.Электронный луч 18, выходя из электронной пушки, попадает сначала в область,43 неоднородного магнитного поля между полюсными наконечниками 2122, При этом он отклоняется вверх, т.е, от поверхности ванны в тигле 2, за счет неоднородности поля между полюсными наконечниками 21,22. Электронный луч с координатой(У 0 отклоняется вверх этой области сильнее, чем электронный луч с координатой/У/ О.Угол ввода корректируется почти исключительно посредством имеющегося между полюсными наконечниками 21,22 неоднородного магнитного поля,Введение этих полюсов позволяет существенно сократить размеры полюсных наконечников 6,7, находящихся непосредственно вблизи тигля, что уменьшает вероятность попадания на них испаряемого материала.Формула изобретенияУстройство для поворота луча, например, в электроннолучевой яапылительнойустановке, содержащее магнитную поворотную систему, расположенную вблизиисточника напыления, и магнитную отклоняющую систему, расположенную на выходе электронного луча из электроннойпушки, отличающееся тем,что, с целью уменьшения габаритов эасче. уменьшения плошади полюсных наконечников, на пути электройного луча введена дополнительная поворотная магнитная система, соединенная с первой магнитопроводом,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Патент США М 3394217,кл. 13-33, 1968. 2. патент ГДР М 64635,М, кл. Н 01 Ю 332 1967,636709 Составитель Е, Громов Редактор Т. Орловская Техред Л. Алферова Ко За рН, Золотовск Под итета Совета тений и отк ушская набЯр каэ 6961/44 Тираж 918 БНИИПИ Государственного ком по делам изобр 113036, Москва, Ж, Р