Система магнитной фокусировки корпускулярных лучевых аппаратов

5 л11 55М ОП ИСДНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз СоветскихСоциалистичешихРеспублик(61) Дополни ву ное к авт, с 07.74 (21) 2 Заявлено 17,(51) М, Кл. Ст 05 Г 1/20// дН 01 Э 37/26 4508 3) Приорите(Зо) 19.11.7 Гасударственный каынтеСовета Мннистрав СССРпд делам нзааретенийи атирытнй 31) Ю РН 013/174721 (3 публиков(53) УДК 621.31 .722.1 (088.8 О. 78.Бюллетен Дата опубликования описания 11.09.7(72) Автор изобретення ИностранецКурт Протце(54) СИСТЕМА МАГНИТНОЙ ФОКУСИРОВКИ КОРПУСКУЛЯРНЫХ ЛУЧЕВЫХ АППАРАТОВпте а, соединенного с источником Изобретение относится к технике элек тронной стабилизации токов магнитных линз корпускудярных лучевых аппаратов, например, электронных микроскопов или установок электронно лучевой обработки,Известно устройство электронной стабилизации токов магнитной линзы корпускуцяр 55 ь 5 х лучевых аппаратов. Такие аппараты 55.,5 еют эдектроннооптическу 1 с систему, состоящую из большого количества эдектронооптических линз, которые должны снабжаться энергией для выполнения своей функции с высокостабильными во Врех 1 ее 51 ПОстояштыми токами ПОстоянные токи ре 1 удпруются в большом диапазоне возбуждеш",я с цеттью настройки эдектронноопт 51 ческ;.:й системы и для работы 5 лаг нитных линз при разшчных напряжениях УскоРвннЯ пУЧ 51 в 11.Наиболее близкой по техтп 5 ческой сущности к предложенной является система магнитной фокусировки корпускуляр 55 ь 5 х лучевых аппаратов, содержащая группу магн 55 тных линз, обмотки возбуждения ко"Орых подктцочены к выходустабилизируюпи тания 121.Недостатком этих систем являетсяснижение стабилизации токов магнитныхлинз при регулировании токов в широком3 диапазоне. Кроме того, снижение стабильности токов связано с температурной не-стабильностью сопротивления датчиков тока, включенных последовательно в выходную цепь каждого стабилизатора,о Целью изобретения является повышениестабильности токов магнитных линз,Это достигается тем, что в предложейной системе обмотка возбуждения каждойиз магшттных линз выполнена в виде сек5 ц 55 Й, соединенных последовательно между собой и с выходом стабилизирующегоузда через переключатели, причем стабидизирующий узел выполнен на базе одного общего по крайней мере для двух линзЮ электронного стабилизатора тока,На фиг. 1 показана схема предложенной системь на фиг, 2 - схематическиизображен переключатель секций обмоткиодной из магнитных линз,Выпрямитель 1 соединен с мощным стабилизатором 2 тока, К выходу стабилизатора 2 тока через переключатели 3-6 подключены обмотки 7-10 магнитных линз, выполненные в виде секций. Выход 5 выпрямителя 1 соединен, кроме того, со входами маломощных стабилизаторов тою 11-14, подюпоченных к секциям 15 18 магнитных линз. Каждая иэ обмоток магнитных линз выполнена по схеме, в 1 О которой секции 19 22 соединены через механически связанные переключатели 23 28. Резисторы 29 31 служат для устранения коммутационных перенапряже ний в моменты переключений секций, 15Регулирование возбуждения магнитных линз осуществляется не путем регулирования выходного тока стабилизатора 2, а эа счет рационального противовключеиия секций обмоток 19 22, Приэтом как 2 О в обмотках магнитных линз,.так и в сопротивлении датчика тока.стабилизатора 2 происходит стабильное выделение тепла, вследствие чего достигается повышение стабильности токов магнитных линз,Стабилизаторы 11-14 предусмотрены для более точной регулировки возбужде, ния формула изобретенияСистема магнитной фокусировки корпускулярных лучевых аппаратов, содержащая группу магнитных линз, обмотки возбуждения которых подключены к выходу стабилизирующего узла, соединенного с источником питания, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения стабильности токов магнитных линз, обмотка возбуждения каждой из магнитных линз выполнена в виде секций, соединенных последовательно между собой и с выходом стабилизирующего узла через переключатели, причем стабилизирующий узел выполнен на базе одного общего но крайне мере для двух линз электронного стабилизатора тоь ка.Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе;1. Руководство по обслуживаниюэлектронного микроскопа ЗМ 13 100 Л(СССР), 1968.2. Руководство по обслуживанию элек"тронного микроскопа ЗМ 13 100 К (СССР)1969.Составитель В. КругловаРедактор Е, Кравцова ТехредО, АндрейкоКорректор Е, ПаппЗаказ 6069/42 Тираж 1033 Подписное БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская набд. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектнан, 4