Резистивный электронагреватель

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ(23) ПриоритетОпубликовано 15.04.80 Государстеенныи комит юллетець делам изобретен и открыт ата опубликования описания 25.04 Г 1. Попов, К. А. Лаврентьев, В. В. Степано В. И. Матюхин, А. 11. Харламов и А.(7) Заявитель 54) РЕЗИСТИВНЫЙ ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛ 2 н электрический нагреватель, соосновной нагревательный элеолупроводникового окисного марубку из окиси циркония и дополныгревательный элемент в виде шей основной нагреватель трубтацной на ней платиновой цровоИз вестедержащиймент изтериылы, тнительцыйохватываюкп с цымпокой 2 При вклк)чепци боту основной наг варительно разог нагревательным последний отключ основной нагреват обладает стабильн 5 предварительного Цель - создан теля, обеспечиваю номцчность в рабы о 11 ос дополц песец не нен из пленки тавленная цель достигается тем, что тельный нагревательный элемент на. посредственно на основной и выполматериала на той же основе в виде двуокиси олова с добавками фтора Изобретение относится к области электротехники, в частности к электронагревателям и может оыть использовао для термообработки различных изделий, например, в производстве цриооров электронной техники для термообработкц полупроводниковых пластин.Известен темцсратуростойкий тонкопленочный й на гревытел, выполненный в виде кварцевой подложки, на которук нанесена токопроводящая пленка двуокиси олова с до бавками сурьмы и бора (пОе+ + В), а на пленке разме 1 цены токопроводяцие ши 1) Однако известный электронагревательимеет сравнительно большое начальное сопротивление токопроводящей пленки, что приводит к необходимости приложения больших напряжений, например для нагревателя с площадью более 100 см цри расстоянии между токопроводящими шинами около 50 см. Напряжение электроцагрева до рабочих температур составляет 400 - 500 В, что затрудцяет непосредственное использование таких электронагревателей при питании от стандартной электросети. нагрева ный эледопол ом, по тание т нагр работе а и неэ трукции оильно электро реватель ревается элемент ают и пи ель. Это остью в разогрев е коне щего ста оте.теля в рымент предните 1 ьным с 1 е чсо годают на еватель нев периодкономичен,нагревысть ц экос толщиной обоих нагревательных элементов, выбранной в соотношении:а = (0,5; -О) в,где а - толщина основного нагревательногоэлемента;в - толщина дополнительного нагревательного элемента.Таким образом, благодаря совместному размещению и одновременному включению основного и дополнительного нагревательного элементов в электрическую цепь ооеспечивается постоянство общего соп рати вления, которое будет меньше сопротивления каждого в отдельности взятого нагревательного элемента чем и обуславливается стабильность и экономичность электронагревателя в работе.На чертеже показан предлагаемый электронагреватель, общий вид.Нагреватель содержит диэлектрическую подложку 1, на которую нанесен основной нагревательный элемент 2, представляющий собой токопроводяшую пленку на основе двуокиси олова с добавками сурьмы и бора, На его поверхность нанесен дополнительный нагревательный элемент 3 также в виде токопроводяшей пленки на основе двуокиси олова с добавками фтора, причем начальное удельное сопротивление его ниже удельного сопротивления основного нагревательного элемента. На нагревательном элементе 3 по его краям расположены токо- проводящие шины 4, подключенные к сети.Электронагреватель работает следующим образом.При включении его в электрическую сеть ток поступает через шины 4 одновременно на оба нагревательные элемента, однако основной ток ввиду малого начального удельного сопротивления протекает по дополнительному нагревательному элементу З.,обеспечивая нагрев основного нагревательного элемента 2 .По мере разогрева основного нагревательного элемента 2 ввиду понижения его удельного сопротивления ток потечет только по нему, обеспечив достижение необходимой температуры разогрева, достигающей 700 - 850 С. Дополнительный нагревательный элемент не перегорает при высоких температурах вследствии того, что плотность проходящего через него тока после температур 200 - 250 С предельно мала.Формула изобретенияРезистивный электронагреватель, содержащий основной нагревательный элемент из полупроводникового окисного материала и дополнительный нагревательныйоэлемент с начальным удельным сопротивлением более низким, чем у основного, предназначенный для ввода в работу последнего,отличающийся тем, что, с целью повышенияэкономичности в работе при выполнении основного нагревателя в виде пленки, наприо мер на основе двуокиси олова с добавкамисурьмы и бора, дополнительный нагревательный элемент нанесен непосредственно наосновной и выполнен из материала на тойже основе, например в виде пленки двуокисиПолова с добавками фтора,при этом толщинаобоих нагревательных элементов выбранав следующем соотношении:а = (0,5 -10) вгде а - толщина основного нагревательногоэлемента;в - толщина дополнительного нагревательного элемента.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРпо заявке2199248, кл. Н 05 В 3/12,И 1975.2. Гапс 0 ег М. Гоиг )ац.е (егпрега 1 угееп апи)зрйеге охудап(е оп пецЛгеКе.ептегпа 1, )тац 1 ез, тегпрега( ет гетгасг 1969,6,1, р. 1723, 17 (прототип).ИПИ Государственного о делам изобретенийМосква, Ж - 35, Рау П П с Патент, г, Ужго Составител Техред К. Ш Тираж 885 А. Хадатаевауфрич Корректор М. ППедик ивекомитета СССРи открытийшская наб д, 4/5Род ул Проектная 4