Испаритель электропроводящих материалов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сеюз Сбеетскнв Сереннстическнк Оеспубямк(54 технологи х пленок и качестве . азличныхи тонких итсятойкано вениякрытио нНа чер испарител В но охлажд ненный из доохлажд разделяющи рабочую ц 80 верхностиИзобретение относ к ивакуумных покрытий и иможет быть использовиспарителя для получ рэлектропроводящих по йпленок.Известен испаритель электропроводящих материалов, испарение в которомсуществляется катодным пятном вакуумой дуги 11 .Однако срок службы испарителя небольшой иэ-за отсутствия стабилияациикатодных пятен дуги на рабочей поверхности катода.Известен сильноточный плазменныйиспаритель электропроводящих материалов, содержащий катод,.анод и магнитную систему с полюсными наконечниками, расположенную под катодом и создающую на рабочей поверхности катоданеоднородное тангенциальное магнитноеполе 2,Однако в указанном устройстве обеспечивается стабилизация разряда в выфделенной зоне рабочей поверхности квтода, где индукция внешнего магнитного поля имеет только один компонент,параллельный поверхности катода. Приэтом зона испаряемой поверхности зависит от жесткости стабилизации ка КТРОПРОВОДЯЩИХ МАТЕРИ тодных пятен на рабочей поверхностикатода, которая определяется величиной индукции магнитного поля. Малаяширина зоны испаряемой поверхности б ограничивает срок службы испарителя,снижает коэффициент использования материала к эффективность оклад(пения,что приводит к перегреву материалаи возрастанию доли генерируемых ка- Ю тодным пятном дуги микрокапель, ухудшающих качества покрытий.Цель изобретения - увеличение сро"ка службы испарителя.Достигается это тем, что в цредла- (6 гаемом испарителе электропроводящихматериалов, содержащих анод, катод имагнитную систему с полюснюе наконечниками, расположенную под катодами,полюснйе наконечники выполнены в виде 20 чередующихся впадин и выступов, маг-,нитная система содержит катушку, включенную в цепь питания нспарнтеля.теже изображен описываемыйь. Он содержит принудительаемый плоский катод 1, выпол"испаряемого материала, воемый анод 2, изолятор 3,й участком поверхности 4оверхность катода 1 от поанода 2, и азимутальнозамкнутую магнитную систему, выполненную в виде ярма (фланца) 5, полюсныхнаконечников б и 7, образующих междусобой зазор 8 в виде чередующихсявпадин и выступов. Магнитная системьснабжена встречно включенными электромагнитными катушками 9 и 10, причеькатушка 9 питается от отдельного источника питания 11, а катушка 10 включена последовательно в цепь дуги, питаемой от источника 12 однополярныхимпульсов напряжения с регулируемой Юамплитудой, длительностью и частотойследования, Плоский катод 1, охлаждаемыйсистемой охяаждения 13 (входи выход охлаждающей жидкости показанна чертеже стрелками), расположен над 15полюсными наконечниками б и 7 магнитной системы и изолирован от нее припомощи изолятора 14. Подача охлаждающей жидкости в анод 2 осуществляетсячерез токовводы 15 и 1 б. 3) Испаритель работает следующим образом,При подаче напряжения на катод 1и анод 2 происходитпробой по поверхности 4 изолятора 3, на которую предварительно нанесена проводящая пленка, и на границе раздела катод-изолятор, вынесенной иэ области максимуманеоднородного магнитного поля, создаваемого полюсными нЬконечниками б и7, возбуждается катодное пятно, Поддействием неоднородного магнитногополя рассеяния на рабочей поверхност,.катода катодное пятно совершает слож-,ное движение, быстро перемещаясь взону максимума. поля (вблизи оси заэо"ра между полюсными наконечниками б и7) и поперек силовых линий магнитногополя. Достигнув эоны максимума поля,катодное пятно движется только лишь 40поперек силовых линий поля, т.е, совершает круговое движение вдоль полюсных наконечников. За время установления тока дуги величина. магнитного поляна поверхности катода, создаваемого 45катушкой 9, подбирается таким образом,чтобы обеспечить быстрый увод катодного пятна из эоны контакта катоднэолятор. При установившемся токе дуги катушка 10, включенная встречно катушке 9, обеспечивает ослабление напряженности магнитного поля на поверхности катода, что уменьшает жесткость стабилизации катодного пятна и увеличивает ширину зоны испарения.При горении вакуумной дуги происходит испарение материала катода ка. тодным пятном дуги, генерируется плазма катодного материала, которая, конденсируясь на поверхности конденсации, образует покрытие. Часть плазмы (доли процента общего расхода), генерируемой в период горения импульсной вакуумной дуги, осаждается на поверх- ности 4 изолятора 3 и восстанавливает на ней проводящую пленку, необходимую для периодического возбуждения дуги переменного. тока (при естественном прохождении тока дуги через ноль). Использование указанной конфигурации полюсных наконечников и применение дополнительной электромагнитной ка- тушки позволяет в несколько раз увеличить область испарения и тем самым повысить срок службы испарителяФормула изобретения1. Испаритель электропроводящих материалов, содержащий анод, катод имагнитную систему с полюсными наконечниками, расположенную под катодом,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью его увеличения срока службы,полюсные наконечники выполнены в видечередующихся впадин и выступов.2. Испаритель по п.1, о т л ич а щ.и й с я тем,что магнитнаясистемасодержит катушку, включеннуюв цепь питания нспарителя,Источники информации, принятые вовнимание при.зкспертизе:1. Патент СЧА 9 3437260,кл 230-69, 1969.2. журнал технической физики,том 29, вып. 3, с. 278-288, 1959614133 Составитель О. БогомоловРедактор И.ГохФельд Техред Е. давидович Корректор .Л, Небол илиал ППП Патентф, г, Ужгород, ул, Проектная,Тираж,ствеяного комитет о делам изобретен Москва, Ж, РаЗаказ 3647/25 ЦНИИПИ Государ 113035, 177 Подлисное Совета Министров ССС й и открытийушская иаб., д. 4/5