Способ определения распределения плотности электрических зарядов

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Рг-го .кап,:цесаря Союз Советских Соцмалнстмческих Республик(51) М. Кл,Н 05 7 3/00 нсоединением заявкиГосударстеениьй коиет Совета Икккстроа ССС оо,аелая кзобретекк и открытей(43) Опубликовано 05,04.78.Бюллетень13 (45) Дата опубликования описания 13.03,78) Заявитель ПОСОБ ОЦЕНКИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЗАРЯДОВ обретение относитс тик элект и характери взанной по путем измерения с р ческого поля над ук верхностью 2У этого способ т же недостаток,что и у предыдущего,Цель изобретения - уменьшеньности измерений,Эта цель достигается тем, что возбуждают и,тпульс продольной или поперечнойакустической волны, бегущей вдоль исследуемой поверхности образца, и измеряютвариации электрического поля, обусловлен-ные прохождением волны.На фиг. 1 и фиг. 2 изображены схемустройства, с помощью которых можно реализовать предложенный способ.Зонд 1 в виде металлической эквипотенциальной пластины располагают над поверхностью образца 2, С одним краем образцамеханически или электрически соединяютузел 3 возбуждения импульса акустическойволны, Зонд связывают с землей через нагрузочный резистор 4. Другой край обеоеаиняют с согласованиой нагрузкойРаботает устройство следующим об изме технике, может фь личных областях фи оввно в рвэи а то ки хники еделении никает необходимост ие длител татических зарядовиспользованВ поспе го вли х нежелате енение оно может най азовой рельефогрвфии ении, системах обрайя информации, элек мерения зарядов става нв поверхности зцв, при котором опстики электрического ью образца, которые в сигнал, зависящий ы б не позволяет быстро ие плотности заряда а предлагаемому споения плотности элек поверхности образца рвзца5,разом,верхностных электросцелью практическогоних или исключения исия. Наибольшее примти в электрографии, фбезвакуумном телевидботки и:преобразовантротехнике й др.Известен способ итического электричестдиэлектрического обраределяются харвктериполя, над поверхностпреобразуются затемот величины зарядаОднако этот спосооценивать распределенпо поверхности образцНаиболее близок ксобу оценки распределтрических зарядов по Научно-исследовательский инст Саратовском ордена Трудовогоуниверситете им. Н. т физики и механики приаслого Знамени государственномЧерныщевского601839 30 3Возбуждают акустическую воину, бегущуювдоль исследуемой поверхности образца,Ьез импульса акустической бегущей вопныток через резистор 4 не протекает, посчкопьку индуцироваипый на зонде 1 зарядпостоянен во времени. Возбуждение вдопьзарядного рельефа короткого импульса бегущей поперечной акустической вопяы( фиг, 1) приводит к изменению расстоянияот зонда до зарядного репьефа в покачьнойобпасти, опредепяемой во времечи и пространстве местом нахождения импупьса деформации. При маном затухании акустической вопны ее амппитуда вдопь репьефапостоянна, поэтому ток- , протекающийдиЬ)через резисиа 4 опреде вынется соотношениемгИ) - - б 1 х)Ч(х)ох,Д (где, 6 - дпина электрода, образующего неоднородное гипотетическое попе с потенциаломЛХ),Ь Х-искомое распредйпениеппотносчи зарядаПоскопьку. в области где отсутствуетвозмущение повар гости составпяюшиескорости пч)емешечня зафида равны нупюи касатеньная составпярщая напряженностигипогетического поня и .эквипотечциапьнойповерхности эпектрода"зонда также равнанчпк. в преппопожении чтопотенцчап 9(Х)в области л иостоянен, токчерез резистор определяетсл выражением6Г дЬХ) дХ, Г ЭбхИ)=-- - - Удк=Мус 3 х=ндх хдхЯ=Д С 1 д б х),н" х 4 ч 4Ц1 ри возбуждении вдоль зарядного репьефа продольного импульса (фиг. 2) задний фронт которого находится за предепами зарядного рельефа, т. е, цГ(- 8 ):О, ,ток через резистор 4 пропорционапен ппотности заряда в области нахождения переднего фронта импульса акустической волны г(1)=фР у 6 Й).В приведенных"соотношениях (1) -(3) Ч- скорость распространения акустической нонны, котора дпя твердых тел лежит в пределах 10 -5.10 м/с ипи 10 -5.10 мм/с,3 б" что и определяет скарость преобразования зарядного рельефа в электрический сигнал, Эта скорость значительно превьпдает (на 3-4 порядка) существующие скорости преобразования,характерны для известных способов, что поэвопяет существенно уменьшить дпитепьность измерений. Формула изобретения Способ оценки распределения плотности эпектрических зарядов по поверхности образца путем измерения характеристик эпектрического попя над указанной поверхностью, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью уменьшения длительности измерений, возбуждают импульс продопьной или поперечной акустической волны, бегущей вдопь иссдедуемой поверхности образца, и измеряют вариации электрического поня., обусловленные прохождением вопны.Источники информации, принятые во,внимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР Л 1 423058 ф 6 01 Я 19/121 19712, Патент СШЛ 14 3761803, 317-4 197 3.601839 Составитель В. Кимфедотов Техред 3. Фанта Корре Гарасиняк Реда Закаа 1663/9 ЦНИИПИ Госуд илиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул, Проектна Тираж 992арственного комитетпо делам изобрете35, Москва, Ж, Рауш ПодписноеСовета Министров СССий и открытийхая наб., д. З/Й