Устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования

Союз Советских Сщиалистнческик РеснуйннЕТЕЛЬСТ АВТОРСКОМУ СВИ 356469 2 М, Кл Н 05 К 3/00 б 12 В 5/00(23) Приоритет Государственный коми Совета Министров СС Бюллетень42(71) Заявител ЮСТИР ЕХНОЛО 4) УСТРОЙСТВО Д РАБОЧИХ ОРГАНО КИ УГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ Устроиство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования состоит из эталонного диска 1, на котором установлены регулируемые пластины 2 с метками 3. Над диском 1 на двух соседних позициях смонтированы микроскоп 4 и дополнительный микроскоп 5 с окуляр-микрометрами б.Устройство работает следующим образом.Эталонный диск 1, снабженный пластинами 2, равномерно установленными под нужным углом разворота (90 - прп делении на четыре части, б 0 - при делении на шесть частей и т. д.), жестко закрепляется на исполнительном валу 7 рабочего органа, кинематически связанного с диском 8 фиксации, снабженного подвижными элементами 9, взаимодействующими с фиксатором 10,Метку 3 на пластине 2 совмещают с перекрестьем микроскопа 4, после чего рабочий орган поворачивают против часовой стрелки и фиксируют за счет введения фиксатора 10 в паз подвижного элемента 9. Г 1 ерекрестье дополнительного микроскопа 5 совмещают с меткой 3, которая ранее находилась под микроскопом 4, регулировкой положения подвижного элемента 9 на диске 8, а перекрестье микроскопа 4 совмещают с меткой 3 второй пластины 2 ее смещением на диске 1, Этими операциямн микроскопы 4 и 5, метки 3 на 61) Дополнительное к авт. с(22) Заявлено 21,04.76 (21) 3) Опубликовано 15.11,77 5) Дата опубликования опи Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к технике регулирования положения рабочих органов,Известны устройства для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, содержащие эталонный диск с метками, закрепленный на исполнительном валу рабочего органа и размещенный над диском микроскоп с окуляр-микрометрами 1. Однако известные устройства не обеспечивают высокой точности юстировки.Цель изобретения - повышение точности юстировки - достигается тем, что устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, преимущественно в установках для изготовления изделий микроэлектроники, содержащее закрепленный на исполнительном валу рабочего органа эталонный диск с метками и размещенный над диском микроскоп с окуляр-микрометрами, снабжено дополнительным, установленным над эталонным диском микроскопом и закрепленными на диске пластинами с метками с возможностью перемещения каждой из пих относительно диска.На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - положение меток, совпадающее с перекрестием микроскопа; на фиг. 3 - положение меток, не совпадающее с перекрестием микроскопа. п БЗО 666двух пластинах 2 и два подвижных элемента 9 устанавливаются строго под одним произвольным углом.Эти операции, т. е, поворот исполнительного вала 7, совмещение меток 3 с перекрестием дополнительного микроскопа 5 смещением подвижных элементов 9 на диске 8, а с перекрестием микроскопа 4 - смещением пластин 2 на диске 1, повторяются до тех пор, пока метка 3, находившаяся в начале работы под перекрестием микроскопа 4, вновь займет первоначальное положение.В этом случае метка 3 под дополнительным микроскопом 5 будет иметь смещения ЛХ относительно его перекрестья, величина которого равна произведению числа делений и на ошибку угла, допущенную при установке подвижных элементов 9, микроскопов 4 и 5 и меток 3 на пластинах 2,С помощью окуляр-микрометра 6 дополнительного микроскопа 5 эта величина измеряется в мкм, после чего его биссектор смещается в нужную сторону посредством микрометрического устройства на величину смещения,Д, деленную на число делений, т. е., благодаря чему достигается точная установка заданного угла.Далее, вышепривсденной последовательностью действий, производится совмещение меток 3 пластин 2 относительно перекрестья микроскопа 4 и биссектора дополнительного 5 микроскопа 5.Для получения наибольшей точности юстировки углового положения рабочего органа операции повторяются неоднократно. Формула изобретения 10 Устройство для юстировки углового положения рабочих органов технологического оборудования, преимущественно в установках15 для изготовления изделий микроэлектроники,содержащее закрепленный на исполнительномвалу рабочего органа эталонный диск с метками и размещенный над диском микроскоп сокуляр - микрометрами, о т л и ч а ю щ е е с я20 тем, что, с целью повышения точности юстировки, оно снабжено дополнительным, установленным над эталонным диском микроскопом и закрепленными на диске пластинами сметками с возможностью перемещения каж 25 дой из них относительно диска,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3399593, кл. 88 - 24, 1968.Заказ 2467/15 Изд.912 Тираж 1014 Подписное НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2