Магниторазрядный вакуумметр

Союз Советских Социалистических Республик(4 б) Дата опубликования описания 08.12,77.(5) М, Кл, 601 1. 21/34 Гэстдарстванний кэиатет Соввта Маиастрюв СССР ае делам азабретвнай э аткрытай) МАГНИГОРАЗРЯДНЫЙ ВАКУУММЕТР Изобретение относится к вак менно к магииторазрядным вак Известим магниторазрядные ержащие манометрические магнетронного или инверсно мной технике, а акуумэтры, со.преобразователи мэгнетронного типа Наиболее близким по техничеснои сущности к предлагаемому является вакуумметр, содержаций ьанометрический преобразователь магиетроииего или инверсно.магиетронного типа, блок высоковольтного переменного напряжения н измеритель разрядного тока 21.УЬботосйособность такого вакуумметра дости. гается путем нодачи на манометрический преобразователь, помещенный в магнитное поле, перемен. ного напряжения, а мерой давления является величина переменного тока разряда, при этом значитель. но увеличивается срок службы преобразователя.Однако прн измерении давления в газовой среде, содержащей пары масла, процесс очистки 11 Е поверхностей электродов манометрнческого преобразователя за счет эффекта катодного распыления может уступить место процессу замасливания, что будет в основном определяться количеством паров масла, попадающего непосредственно в обьем иоии.й зации преобразователя. Образование при этом на поверхностях электродов электрически не рово. дящих пленок, обусловленное процессами крекинта органических соединений, приводит к перераспределению потенциалов поля в преобразователе, следствием чего является изменение чувствительности и выход его грэдуировочиых характеристик за преде. лы допустимой погрешности,Однако в таком вакуумметре отсутствует сигнализация о недопустимом замасливании электродов преобразователя нри наличии паров масла в обьеме иоиизации. Предлагаемое устройство отличается тем, что вакуумметр снабжен операционным усилителем, подключенным к одному иэ электродов преобразо. вателя, распределителем импульсов сигнала по по. лярности, инвертором, блоком сравнения и нульиидикатором, при этом выход усилителя соединен с входом разделителя, один выход которого соединен через инвертор с одним из входов блока сравнения, а другой выход разделителя подсоеди. нен ко входу измерителя и второму входу блока сравнения, выход которого подключен к нульнндикатору.На чертеже изображена принципиальная схема вакуумметра.Вакуумметр содержит манометрический преоб. раэователь 1, состоящий на электродовфй и 3, блок питания 4, питающий преобразователь 1 высоко. вольтным переменным напряжением синусоидаль. ной формы с частотой 50 Гц, операционный лога. рифмический усилитель разрядного тока 5, блок разделения напряжения по полярностиб, инвертор 7, блок сравнения напряжений 8, нуль.индика. тор 9 и измеритель 10 со стрелочным указате. лем 11.Вакуумметр работает следующим образом, При подаче на электрод 2 переменного напряже. ния от высоковольтного блока питания 4 в преоб. разователе 1 при наличии магнитного поля возни. кает разряд. За полный период питания в преобра. эователе 1 образуются два ионных ,тока различной полярности, На чистом, безмаслянном преобразова. теле 1 отношение между величинами этих токов соответствует некоторой величине, определенной за. ранее во всем диапазоне измеряемых давлений, а при замасливании преобразователя 1 это соотношение изменяется.Ионные токи, возникающие в преобразователе 1, поступают на вход Операционного усилителя 5, на выходе которого образуется переменное нанря. жение, пропорциональное логарифмувходного та. ка. Затем это напряжение поступает на вход блока б разделения напряжений по полярности, который выполнен в виде диодных выпрямителей, после чего эти сигналы поступают на вход блока сравне. ния 8, причем одно из них с помощью иивертора 7 изменяется по знаку на обратное. После чего оба напряжения сравниваются блоком сравнения 8, в качестве которого используется дифференциальный усилитель, к выходу которого подключен нуль- индикатор 9, состоящий, например из реле, обеспещвающего включение светового или звукового сигнала., Блок сравнения 8 реагирует на разность исходных напряжений, что равносильно отношению ионных токов преобразователя 1, и сравнивает это отношение с некоторой величиной, которая может 4быть задана в блоке сравнения в широких пределах в виде напряжения. Величина этого напряжения соответствует отношению токов для чистого преоб.разователя. Сигнал в вакуумметре о замасливании преобразователя будет возникать тогда, когда отношение измеренных ионных токов в реальных условиях будет отличаться в какую. либо сторону от отношении, заданного величиной сравнительного напряжения в вакуумметре.Наличие сигнала о состоянии преобразователяпозволяет увеличить срок службы вакуумметра,Измерение давления с заданной величиной по.грешности обеспечивает правильность отбраковки электровакуумных изделий в процессе их произ.водства, что значительно влияет на срок их службы и выходные параметры.Формула изобретенияМагнитораэрядный вакуумметр, содержащийманометрнческий преобразователь магнетронногоили инверсио-магнетронного типа, блок высоковольтного переменного напряжения и измеритель разрядого тока, отличающийся тем, что, с 25 целью Возможности сигнализации 0 недопустимомзамасливании электродов преобразователя при наличии паров масла в Объеме ионизации, он снабжен операционным усилителем, подключенным к одно му из электродов преобразователя, разделителем импульсов сигнала по полярности, инвертором, блоком сравнения и нуль- индикатором, при этом выход усилителя соединен с входом разделителя, один выход которого соединен через инвертор с одним из входов блокг сравнения, а другой выход разделителя подсоединен ко входу измерителя и второму входу блока сравнения, выход которого подключен к нуль-индикатору.Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР У 411334, кл 601 1.21/34 19712. Авторское свидетельство СССР Хо 474718,кл. 6 011. 21/34) 1973.566156 итель О, Полевхред И. Андрейчук ктор Н.Ковалева РедактоР Р. Пури Подиисносета Совета Министров СССий и открытийушсквя иаб., д. 4/5 аказ 2395 1 ирвд 1101ИИПИ Государственного комитио делам изобретен113035, Москва, Ж, Ра Филиал ППП "Патент", г, Узгород, ул, Проектн