Установка для присоединения выводов полупроводниковых приборов

Республик АВТОРСКОМУ СВ ЕЛЬ СТВ 1) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлен М. 11. 21 6 4 (21) 2050297/2 инением заявкис прис сударственнын комитет(23) Приорит Опубликован Дата опубли Совета Министров СССло делам изобретенийи открытий 15,02.77, Бюллетеньования описания 14,03.753) УДК 621.382(088.8) 2) Автор изобретент И. Никули 71) Заяви 4) УСТАНОВКА ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ВЫВОД ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВвуковои сварки чную головку с устройство для с зажимными20 Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов и может быть использовано, в частности, для присоединения проволочных выводов при сборке транзисторов и ИС. 5Известна установка микроконтактной сварки МКС, содержащая сварочную головку с инструментом, снабженное капилляром устройство для подачи и обрыва проволоки, манипулятор и рабочий стол. 10Совмещение сварочной проволоки с рабочей частью инструмента производится оператором вручную и требует дополнительных затратрабочего времени, что снижает производительность труда, 15Известная установка ультразУЗПМ, содержащая свароинструментом и капилляром,подачи и обрыва проволокипланками и манипулятор.Совмещение привариваемой проволоки с рабочей частью сварочного инструмента обеспечивается тем, что подача проволоки производится через отверстие, направляющее проволоку под рабочую часть инструмента. Такая кон стръкция обеспечивает совмещение сварочной проволоки с рабочей частью инструмента только в том случае, если линия, соединяющая первую и вторую точки сварки, совпадают с осью, вдоль которой движется сварочный пн- ЗО струмент в процессе формирования (разводки) вывода. Если же формирование вывода производится под углом к оси, то сварочная проволока выйдет из-под рабочей части инструмента.Известна установка для присоединения выводов полупроводниковых приборов, содержащая сварочную головку с инструментом п капилляром устройство для подачи п оорыва проволоки с зажимнымп глапкахи и манипулятор с подвесной и неподвесной плитами.Однако в известной установке присоединение выводов без поворота столика с обраоатываемыми ножками полупроводниковых приборов возможно лишь при условии расположения контактной площадки кристалла и торца траверсы по оси движения инструмента.В связи с тем, что контактные площадки п торцы траверс расположены одни относительно других под разными углами, необходимо после присоединения вывода к контактноЙ площадке кристалла вручную поворачивать столик с ножамп приборов таким ооразом, что сварочная проволока совмещается с рабочей частью инструмента, что снижает производительность труда.С целью повышения произьодптельности установки и качества присоединения выводов капилля 1) укроп,сп па Одной пз зажимпых планок и соединен с приводом, выполненнымв виде двух электромагнитов, установленных на держателе, шарнирно соединенном через шток, располокенный на подвижной плите манипулятор, с механизмом подачи и обрыва проволоки, установленным на одной из зажимных планок, при этом электромагниты установлены с возможностью поочередного контактирования с подвижной плитой и пластиной, подпружиненной к неподвижной плите манипулятор.На фиг. 1 схематически изображена установка присоединения выводов; на фиг.2 - схема взаимного расположения инструмента и капилляра при сварке на кристалле; на фиг, 3 - схема взаимного расположения инструмента и капилляра при разводке и присоединении выводов к траверсам.Установка состоит из сварочной головки 1 с инструментом 2, закрепленной на рычаге 3, который установлен в стойке 4, соединенной с подвижной плитой 5 манипулятора 6. Вертикальное перемещение сварочной головки 1 осуществляется рычагом 3 от привода сварочной головки (на чертеже не показан). Механизм 7 подачи и обрыва проволоки соединен осью 8 с зажимными губками 9 и 10, между которыми находится электромагнит 11.На подвижной плите 5 установлен шток 12, соединенный посредством кронштейна 13 с осью 8, а посредством подвижного соединения 14 и штока 15 - с держателем 16 электромагнитов 17 и 18, Электромагнит 17 периодически жестко соединяется с пластиной 19, подпружиненной к неподвижной плите 20. Электромагнит 18 периодически жестко соединяется с подвижной плитой 5. На закимной губке 10 установлен подающий капилляр 21, в который подается проволока 22 барабана 23 при.оединения к траверсам 24 и 25 и контактным глощадкам кристалла 26, расположенным на ножке полупроводникового прибора 27.Установка работает следующим образом.В исходном положении электромагнит 18 включается и жестко соединяется с подвижной плитой 5, электромагнит 17 отключен и свободно перемещается по плоскости подпружиненной пластины 19. Проволока 22 заправляется между губками 9 и 10 в подающий капилляр 21 под инструмент 2. Сварочная головка 1 с инструментом 2 и подающее устройство с капилляром 21 совмещаются с манипулятором 6 контактной площадкой кристалла 26. Приводом сварочной головки через рычаг 3 инструмент 2 опускается на проволоку 22 и присоединяет ее к контактной площадке кри:талла. Электромагнит 18 отключается, включается электромагнит 17, при этом последний жестко соединяется с подпружиненной пластиной 19, фиксируя держатель 16 относительно неподвижной плиты 20.Затем при помощи манипулятора 6 производят совмещение инструмента 2 с торцом траверсы 25. 5 10 15 2 О 25 30 35 40 45 50 55 ао Сварочная головка 1 с инструментом 2 вместес верхней плитой 5 манипулятора 6 перемещается механизмом перемещения и останавливается над торцом траверсы 25 ножки 27, приэтом подающей капилляр 21 с проволокой 22связан с кронштейном 13 и штоком 12 вокругнеподвижного держателя 16 так, что ось присоединяемой проволоки совмещается с центром инструмента. Приводом сварочной головки через рычаг 3 сварочная головка 1 с инструментом опускается и присоединяет другой конец вывода к торцу траверсы 25. Включаетсяэлектромагнит 11, губки 9 и 10 притягиваются, зажимают проволоку 22, а механизм 7 обрывает проволоку и рабочей кромки инструмента 2,Затем сварочная головка и механизм 7 вместе с подвижной плитой 5 манипулятора 6возвращаются в первоначальное положение.Отключается электромагнит 18, соединяющийкапилляр 21 через держатель 16, подвижноесоединение 14, шток 15 кронштейн 13 и ось 8с подвижной плитой манипулятора. Манипулятором совмещается инструмент со второйконтактной площадкой кристалла 26. Механизм 7 подается конец проволоки в подающемкапилляре 21 под инструмент 2, который опускается, присоединяя проволоку к кристаллу,Отключается электромагнит 11, освобождаю.щий проволоку 22 в губках 9 и 10.Порядок присоединения другого конца вы.вода к траверсе 24 аналогичен описанномувыше порядку присоединения вывода к траверсе 25.Изменение угла поворота капилляра 21 (изменение угла разводки вывода) осуществляется путем регулирования расстояния междуподпружиненной пластиной 19 и неподвижнойплитой 20, вследствие чего происходит измене.ние соотношения плеч, образованны.; звеном13 и звеньями 14 и 15. Формула изобретения Устрановка для присоединения выводов полупроводниковых приборов, содержащая сварочную головку с инструментом и капилляром, устройство для подачи и обрыва проволоки с зажимпыми планками и манипулятор с подвесной и неподвижной плитами, о тл и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения качества соединения и производительности установки, капилляр укреплен на одной из зажимных планок и соединен с приводом, выполненном в виде двух электромагнитов, установленных на держателе, шарнирно соединенном через шток, расположенный на подвижной плите манипулятора, с механизмом подачи и обрыва установленном на одной из планок, при этом электромагниты установлены с возможностью поочередного контактирования с подвижной плитой п пластиной, подпружиненной к неподвижной плите манипулятора.546961 фиг 3 О иг. 2 Н. Островскаяелева Корректор Т. Добровольск едактор А. Попов каз 338/ 9 Ти нного комитета Со изобретений и от а, Ж, Раушска ПодписноСССР НИИ Сапунова,ипографи оставительсхред Е. Изд.2 Государстве по дела 3035, Моск