Способ определения вакуума
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
5 16 1 Ь пие между измеренными ионными токами иго абсанотному значению разности междуполученными отношениями оценивают величину погрешности измерения, после чего судят о величине давления.В магниторазрядных преобразователяхимпульсы ионных токов, возникающие в различные нолупериоды напряжения питания,отличаются друг от друга как по форме, таки по амплитуде, длительности и т.д, Суммарный эффект от процессов очищения изамасливания на каждом из электродов преобразователя различен. Конфигурация электродов подбирается таким образом, чтобыобеспечить в одном из режимов (например,магнетронном, возникающем при отрицательном напряжении питания) преобладание процесса очищения над процессом замасдивання, за счет бомбардировки меньшей поплошади поверхности сфокусированным пучком положительных ионов, т.е. более интенсивного катодного распыления, При замасливании преобразователя отношение между импульсами ионных токов отличаетсяот отношения между этими же токами причистом преобразователе,На фиг, 1 показана форма разрядноготока 3 образующаяся при питании преобразователя переменным напряжением припостоянном давлении, и форма питаюнегонанряжения Б 11 унктиром обозначенаформа разрядного тока 3 , снятого притом же давлении после замасдивания нреобразоватедя, на фиг, 2 - градуировочныехарактеристики преобразователя, работающего нри переь енном напряжении питанияПунктиром обозначены характеристики, снятые нрн замасливании преобразователя.11 редставденные характеристики получают на мг-ниторазрядном датчике диодноготипа с коаксиадьно расположенными эдектродамн в магнитном поле с напряженнс:тью 3.3.00 э, На преобразователь подают, еременное напряжение с эффективным знаением2,5 кВ с частотой 50 Гц синус идальной формы,Преобразователь помещают в вакуумнуюкамеру, имеющую устройство, позволяющееполучать различную концентрацию паровмасла в откачиваемом объеме и разрядномпромежутке датчика. Из графиков видно, что при уходе градуировочной характеристики преобразователя 19 = 1 Ю, снятой при прохождении отрицательной полуводны напряжения питания не более, чем на 10%, уход характеристики Э =(р), подученной при прохождении положительной полуволйы напряжения, составляет 50% по сравнению с характеристикой для чистого преобразователя. Абсолютное значение разности отношений ионных токов для чистого и замасляного преобразователя в этом случае не равно нулю, что свидетельствует о возможности использования этой разности для оценки погрешности измерения давления,Формула изобретения Способ определения вакуума с помощью магниторазрядного манометрического преобразователя путем измерения переменной составляющей ионного тока, о т л и ч а ю - ш и й с я тем, что, с целью определения выхода градуировочной характеристики преобразователя за пределы допустимой погрешности, обусловленного наличием паров масла в объеме ионизации и замасливанием электродов преобразователя, измеряют ионный ток за отрицательный (положительный) пслупсриод переменного напряжения питания, по градуировочным характеристикам, снятым ранее ддя чистого преобразователя, фиксируют значение давления и для этого значения давления определяют отношение между измеренным током и ионным током противоположной полярности, затем измеряют ионный ток за положительный (или соответственно за отрицательный) полупериод напряжения питания, берут отношение между измеренными ионными токами и по абсолютному значению разности между подученными отношениями оценивают величину погрешности измерения, после чего судят о величине давления.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе; 1. Авторское свидетельство СССР М 199453, М,Кл, (01 1 21/34, 3.972,
СмотретьЗаявка
2146846, 19.06.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1614
ГРИНЧЕНКО ВЛАДИМИР ТИМОФЕЕВИЧ, ТИХОНОВ БОРИС ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 21/34
Метки: вакуума
Опубликовано: 05.10.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-531048-sposob-opredeleniya-vakuuma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения вакуума</a>
Предыдущий патент: Гидравлический индикатор
Следующий патент: Дифференциальный индикатор давления
Случайный патент: Ватерное веретено