Манипулятор

О П И С А Н И Е (и) 518330ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 09,06.75 (21) 2142537/О 51) М, Кл. В 25 Ю 15/О с присоединени (23) Приоритет заявки Гасударственный номит Совета Министров ССС оо делам изооретений н открытий3) Опубликовано 25,06,76.бюллетень23 5) Дата опубликования описания 06,07.76Лядинградский ордена Ленина электротехнический инс им. В, И. Ульянова (Ленина)(71) Заявител 4) МАНИПУЛЯТОР что Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным для оперирования проводящими и полупроводящими объектами, и может найти применение в планарной технологии полупроводниковых приборов и интегральных.схем на тех операциях, где необходимо манипулировать пластинами из полупроводниковых материалов.Известен электростатический мани пулятор для диэлектрических пластин по авт. св. 3 ф 433024, в котором используется взаимодействие электрических зарядов и пластине с электростатическим полем манипулятора, Этот манипулятор снабжен наконечником с двумя электродами, подключенными через коммутатор к источнику напряжения. Основные элементы манипулятора - электроды - расположены на наконечнике, выполнены в виде монолитных проводников, закрепленных на наконечнике, запрессованных в него или нанесенных в виде пленок на поверхность наконечника. Недостатком такого манипулятора является невысокая надежность работы. Зто связано с тем,электроды имеют плоские рабочие поверхности и жестко укреплены так, что эти поверхности лежат в одной плоскости. Зта плоскость является рабочей и именно на нейфиксируется закрепляемая плата. Дя того,чтобы захватить пластину с помон ью известного манипулятора, его рабочую плоскостьнеобходимо с высокой точностью ориентировать параллельно плоскости пластины. Вслучае отсутствия параллельности стла электрростатического притяжения пласт ты к рабочей поверхности оказывается недостаточной для удержания.Белью изобретения является повышение надежности работы манипулятора,Зто достигается тем, что один электрод установлен с возможностью перемещения и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полупроводникового материала, имеет выпуклую поверхность, обращенную в сторону первого электрода и расположенную напротив выреза в контактной площадке первого электрода.На ыг. 1 изображен один из возможных конструктивных вариантов электростатического манипулятора; на фиг, 2 - варианты исполнения упруго подвижного электрода, снабженного сквозным вырезом.Предлагаемый манипулятор состоит из корпуса 1 с коммутатором и наконечника, вставленного в корпус. Наконечник состоит из двух электродов 2 и 3, прикрепленных к диэлектрической прокладке 4. Электрод 2 из полупроводяшего материала, например из СВЧ-феррита, с одной стороны имеет выпуклую поверхность, являющуюся контактной площадкой для электростатического закрепления пластины - объекта манипулирования, Упруго подвижный электрод 3 снабжен контактной площадкой сс сквозным вырезом и в нерабочем состоянии упруго уравновешен в положении, прь котором выпуклость электрода 2 направлена в сторону контактной площадки электрода 3.Для захвата пластины к электродам с помощью коммутатора псдк;счают напряже - ние, и наконечник манипулятора подводится К пластине .,;сдвижным электродом в ее сторону. Пе;.ь;м пластины касается подвижный электрод, Затем легким нажимом на корпус электрод из пслупрсвсдящего материала вводится в разрез псдвиж 1. ого электрода, При этом направление нажима не обязательно соблюдать строго; достаточно, чтобы люоая из частей вьптуклсй поверхности пслупроводяшего электрода коснулась поверх;ости пластины. Под действием разности потенциалов, приложенных к электродам, на границе между эдектродом из высокоомного полупроводяшего материала и пластиной в области их непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зарядов разных знаков. В результате этого пластина электрсстатически закрепляется на выпуклой поверхности электрода. После этого производят необходимое перемещение закрепленной пластины, причем Юв начале перемещения за счет упругости подвижного электрода и силы электростатического притяжения пластина плотно прижимается к контактной площадке подвижного электрода. По окончании перемещения с помощью коммутатора отключают напряжение, сила электростатического при тяжения исчезает, и пластина сбрасывается с наконечника. 26 формула изобретенияМанипулятор по авт. св, Лъ 433024,о т ли ч а ю ш и й с я тем, что, с целью повышения надежности работы, один электрод установлен с возможностыс перемещения и снабжен контактной площадкой со сквозным вырезом, а другой, выполненный из полупроводникового материала, имеет выпуклую поверхность, об- ДО рашенную в сторону первого электродаи расположенную напротив выреза в контактной площадке первого электрода.518330 Составитель А. Горбаченкообес Техред Н,Андрейчук Корректор едактор В. рицен а СССР иал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектн 2512/291 Тираж 1 ЦНИИПИ Государственного комипо делам изобретений113035, Москва, Ж, Р 061 Подписноетета Совета Министри открытийушская наб д, 4/5