Способ динамической гградуировки измерителей парциальных давлений

011 462 ОП ОПИСДНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских СоциалистическихРеспублик ДЕТЕЛЬСТВУ ТОРСКОМУ С(61) Зависив (22) Заявлен г авт, свиде ельств 932227 /18-1 14.06.73 (21) 11 27 51)М, К инением зая с прис Государственнын комитет овета Министров СССР(32) Приори Опубликован Дата опубли 28,02.75,летень М 53) УДК 531.787(088 о делан изобретений и открытий) Заявитель КОЙ ГРАДУИРОВКИЬНЫХ ДАВЛЕНИЙ радуиий га -Ро У(54) СПОСОБ ДИНАМИЧЕ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ ПАРЦИ Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к способам градуировки измерителей низких парциальных давлений абсолютным методом.Известные способы динамической г)ровки измерителей парциальных давлензов недостаточно точны.По предлагаемому способу динамическойградуировки устанавливают в градуировочнойкамере давление чистого газа путем введения в нее некоторого количества чистого газа, затем вводят поочередно другие чистые газы, измеряя при этом давления смеси по образцовому манометру, по значениям которыхопределяют расчетным путем парциальные 15давления каждого газа в градуировочной камере и, сопоставляя системы градуируемогоизмерителя, по соответствующему компонентусмеси с расчетными парциальными давлениями градуируют измеритель. 20Благодаря этому повышается точность градуировки,На чертеже показана вакуумная системаля осуществления способа,Вакуумная система состоит из ряда последовательно соединенных камер, откачиваемыхнасосом 1, примыкающим к одной из них. Вкамере 2 устанавливается самое низкое давление Р. Камера 3 (градуировочная) отделена от предыдущей диафрагмой 4 с отвер 2стием, размеры и форма которого таковы, что позволяют легко вычислить его проводимость с) (в молекулярном режиме течения) по известной формуле. К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление Р, более высокое по сравнению с Р через диафрагму 5 малой проводимости l присоединена камера 6. Исходное давление Р в ней (более высокое по сравнению с Р) измеряют образцовым абсолютным манометром 7. Градуируемый измеритель 8 парциальных давлений присоединяют к градуировочной камере 3, Через натекатели 9 в камеру 6 напускают индивидуальные чистые газы пз резервуаров 10.Способ градуировки измерителей парциальных давлений состоит в следующем. После предварительной откачки системы открывают один из натекателей и устанавливают в камере 6 давление Ро газа, содержащегося в резервуаре 10. Это давление измеряют образцовым абсолютным манометром 7. Давление Р этого газа в градуированной камере 3 рассчитывается (при установившемся течении газа и равенстве температур камер и при условиях РР и сl, с) по известной зависи- мостиДалее сопоставляют расчетное значение Р с сигналом измерителя 8 парцца,чьцых давлений дляотенет ггпу зп(егз газа, чткрывают другой патекатель (при открытом первом натекателе) для поступления в систему из соответствующего резервуара 10 другого чистого газа. Устанавливают в камере 6 давление Ро данной смеси газов, измеряемое образговым аосолютным манометром 7. Парциальпое давление Р" газа, содержащегося во вгором резервуаре 10, рассчитывают (при установившемся течении газа и равенстве температур камер и при условиях РР" и К с С) по формулеР - .(Ро - Ро)УПовторив указанные операции для всех ) азов, закл)очепых в резервуарах 10, и изменяя в каждом случае исходное давление Р градуируют измеритель парциальных давлений в требуемом диапазоне давлений по любым чистым газам, но в присутствии других газов в желаемом соотношении. Общая формула для расчета парциальных давлений следующая:р(з) 0 (рп) р(л - 1)(зу оЕсли необходимо выполнить градуировку измерителя парциальных давлений по смеси газов, находящихся в известном соотношении, можно заранее указать ряд давлений Ркоторые необходимо последовательно устанавливать для воспроизведения данного состава смеси. Например, для того, чтобы выполнялось условие необходимо, чтобыРо.Ро.РоР(о = 2:1 + 1):(.+ ++ ") (а + + з).Так как заданный состав смеси воспроизводится непосредственно в камере 6, то зависимость проводимости натекателя от рода газа не имеет здесь никакого значения. Выпо,чпепне градуировки измерителя парциальнь)х давлений по отдельным газам в присутствии любых других компонентов смеси (в любом соотношении) по предлагаемому спо собу устраняет возможные систематическиепогрешности и поэтому обеспечивает повышение точности градуировки.Чтобы в процессе градуировки измерителяпарциальных давлений не было заметного за- И грязнения чистых газов, заполняющих резервуары 10, газами из соседних резервуаров, необходимо, чтобы время Л 1 выполнения градуировки было ограничено условиемр з рззРУгде Р - полное давление в градуировочной камере,Ррез и Ьрез - давление и объем газа в любом 20 из резервуаров.Предмет изобретения25Способ динамической градуировки измерителей парциальных давлений путем сопоставления показаний градуируемого измерителя и 30 образцового абсолютного манометра при наличии перепада давлений между ними, созданного с помощью системы камер, отделенных друг от друга диафрагмами известной проводимости, отличающийся тем, что, с 35 целью повышения точности градуировки, устанавливают в градуировочной камере давление чистого газа путем введения в нее некоторого количества чистого газа, затем вводят поочередно другие чистые 40 газы, измеряя при этом по образцовому манометру давления смеси, по значениям которых определяют расчетным путем парциальные давления каждого газа в градуировочной камере и, сопоставляя сигналы 45 градуируемого измерителя, по соответствующему компоненту смеси с расчетными парциальными давлениями градуируют измеритель.аказ 1267/10ЦНИИП Изд. Ж осударств по дела Москва, 1268 Тираж 902ного комитета Совета Министризобретений и открытийЖ, Раушская наб., д. 45 ПодписноСССР ография, пр. Сапунова