Способ калибровки мембранного емкостного манометра

Номер патента: 460463

Автор: Рузин

ZIP архив

Текст

библиотека МБА ОПИСАНИЕ (и)460463ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ Союз Советских Социалистических Республик(32) ПриоритетОпубликовано 15.02.75. Бюлле государственный комитет Совета Мнннс 1 ров СССР оо делам изооретеннй И ОТКРЫТИЙ(53) УДК 531 786(088 ьДата опубликования описания 14.04.75Б, Н, Рузин Специальное конструкторское бюро аналитического приборострое АН СССР(54) СПОСОБ КАЛИБРОВКИ МЕМБРАННОГО ЕМКОСТНОГО МАНОМЕТРА- повыш ных емкос ь,анно- едлаеисто от и от бщем висит ения иба) Изобретение относится к области приборостроения, в частности к устройствам для тарировки мембранных емкостных манометров,Известный способ тарировки мембранных емкостных манометров, при котором параллельно одному из плеч мостовой схемы (наиболее часто параллельно датчику) подсоединяется калиброванная емкость и изменением коэффициента усиления усилителя показания индикаторного прибора устанавливаются на реперную отметку шкалы, не обеспечивает высокой точности.Цель изобретения ение точности тарировки мембран тных манометров.Поставленная цель достигается тем, что в качестве реперного воздействия используется напряжение, прикладываемое между мембраной и неподвижным электродом. При регулировке чувствительности прибора учитывают величину емкости датчика, определяемую после приложения реперного напряжения.На чертеже представлена схема мембр го манометра, в котором реализован пр гаемый способ.Мембранный манометр состоит из генератора электрических колебаний 1, усилителя 2, синхронного детектора 3, измерительного прибора 4, источника реперного напряжения 5 и выключателя 6. Калибровка манометра производится путем установления постоянной величины отклонения стрелки регистрирующего прибора при воздействии на мембрану постоянной по величине силы. С этой целью перед началом калибровки обе камеры датчика откачиваются до высокого вакуума (не хуже 10 - в мм рт, ст.), Затем между электродом и мембраной прокладывается реперное напряжение определенной величины и вызывающее прогиб мембраны, и регулировкой коэффициента усиления стрелка регистрирующего прибора устанавливается на реперную отметку шкалы.Схема электростатического взаимодействия, возникающая между мембраной и электродом, равна: 2 2в -- Квд р2 ХЯ0 где С, - емкость датчика,Ур - реперное напряжение,Х - диэлектрическая проницаемос5 - площадь мембраны.Из выражения (1) видно, что сила, д5 вующая на мембрану, зависит не тольквеличины реперного напряжения Ур, ноемкости датчика. Емкость датчика, в ослучае, не является постоянной, она заот температуры датчика, величины натяж0 мембраны (наличие или отсутствие прог(2) и т. д. Из выражения (1) также очевидно, чтодля поддержания постоянства силы Рдействующей на мембрану, т. е. постоянства реперного усилия, необходимо поддержание постоянства произведения:СдУр = соп 81.Для обеспечения достаточной точности калибровки целесообразно поддерживать величину произведения:СдэУрэ: Сдх 0 рх: 3 14 макс 5 м:(3)где Р, - значение верхнего предела шкалы прибора,5 - площадь мембраны,Сдэ - емкость датчика, замереннаяпри первичной калибровке манометра по манометру МакЛеода,Урэ - реперное напряжение, определяемое при калибровке манометра по манометру МакЛеода,Сдд - емкость датчика,Урд - необходимая величина реперного напряжения.а - постоянная, записанная в паспорте прибора.В этом случае при подаче реперного напряжения показания регистрирующего прибораравны 70% шкалы. Величина постоянной а,а также значение Рмакс определяются припервичной калибровке прибора по манометруМак-Леода. Принимая во внимание, что с повышением диапазона измеряемых давленийповышается и величина реперного напряжения, необходимо в целях устранения возможности пробоя между мембраной и электродомпроводить предлагаемую выше калибровкуприбора только при достаточно низких давлениях в камерах датчика. При этом величинаостаточного давления в камерах датчикадолжна быть тем ниже, чем выше диапазондавлений, измеряемых манометром,При использовании в датчике тонких мембран, их прогиб под действием реперного усилия может достичь достаточно большой величины, что приводит к значительному изменению емкости датчика. В этом случае измерение емкости датчика должно производитьсяпосле подачи реперного напряжения. В связи с этим использование выражения (3) оказывается неудобным, так как приходится при каждой калибровке несколько раз последовательно изменять напряжение компенсации, измерять емкость датчика и определять величину их произведения. В этом случае может оказаться удобнее поддерживать постоянной не величину произведения, а величину репер- ного напряжения (Ур=Сопй), определяя каждый раз необходимую величину отклонения указателя, соответствующую приложенному в данный момент реперному усилию из выражения:15 дх С 2С,ф 1 - Э(4) где У, - величина отклонения указателя (показания прибора), соответствующая приложенному усилию,- емкость датчика при приложенном напряжении компенсации,- емкость датчика, определенная при первичной калибровке манометра по манометру Мак-Леода,- показания индикатора, определенные при первичной калибровке манометра по манометру МакЛеода,20 25 30 э 2 дэ- постоянный коэффициент, записанный в паспорте прибора,35 Предмет изобретения Способ калибровки мембранного емкостного манометра непосредственного отсчета, связанный с использованием реперного воздейст вия с определением реакции прибора на указанное воздействие и соответствующей регулировкой чувствительности, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точности измерения, в качестве реперного воздействия ис пользуют напряжение, прикладываемое между мембраной и неподвижным электродом, причем при регулировке чувствительности прибора учитывают величину емкости датчика, определяемую после приложения реперно го напряжения,Корректор Л. Котова Редактор Е. Семанова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 896/1 Изд Мо 1102 Тираж 902 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытийМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5

Смотреть

Заявка

1896053, 21.03.1973

СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО АНАЛИТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ АКАДЕМИИ НАУК СССР

РУЗИН БОРИС НАУМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01L 27/00

Метки: емкостного, калибровки, манометра, мембранного

Опубликовано: 15.02.1975

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-460463-sposob-kalibrovki-membrannogo-emkostnogo-manometra.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ калибровки мембранного емкостного манометра</a>

Похожие патенты