Манометрический преобразователь для измерения вакуума

и 42 О 899 о п ие" ю-н-й-е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ 61) Зависимое от авт. свидетел тв(22) Заявлено 03.05,72 (21) 177991318 51) М. Кл. 6 011 2 И 2 оединением заявки Приоритет Государственный новатор Совета Министров СССР ао делам изооретений и открытий(088,8) публиковано 25.111.1974, Бюллата опубликования описания ень. Н. Розанов и В. М. Лебе инградский ордена Ленина политехнический институ им, М. И. Калинина аявитель 4) МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМАпИзобретение относится к,приборам,вакуумной техники.В различных областях вакуумной техники и других отраслях науки необходимо измерять давление в диапазоне от атмосферного до давления Р(10 - " тор.В настоящее время каждая вакуумная установка для измерения давления в указанном диапазоне содержит манометрические преобразователи 2 - 3 типов, каждый из которых снабжается измерительной установкой.Поэтому целесообразно иметь единый прибор, с помощью которого можно было бы проводить измерения во всем рабочем диапазоне,Известен теплоэлектрический манометр для измерения вакуума, в котором корпус разделен мембраной на две полости - рабочую и компенсационную, В рабочей,полости закре лена полупроводниковая нить, один конец которой закреплен на мембране. При давлениях 760 - 10" тор для измерения используется тензорезистивный эффект полупроводниковой нити, а при давлениях 10 с в 10 втор - зависимость теплопроводности газа от давления.Однако в таком устройстве диапазон измеряемых давлений ограничен в сторону высокого и сверхвысокого вакуума.Целью изобретения является расширение нижнего иредела измерений.Это достигается тем, что преобразователь снабжен магнитной системой, создающей магнитное поле в рабочей камере, дополнительным токоподводом для подачи на корпус высокого постоянного напряжения относительно 5 тензочувствительного элемента и охраннымидисковыми электродами-катодами, размещенными в рабочеи камере.На фиг. 1 и 2 изображены два вариантаконструктивной схемы манометрического пре образователя для измерения вакуума; (нафиг. 1 - вариант конструкции с тензочувствительным элементом, являющимся анодом, а на фиг. 2 - катодом); на фиг, 3 - электрическая схема измерения.Преобразователь состоит из корпуса 1 который разделен мембраной 2 на две полости - рабочую 3 и компенсационную 4, откачанную до сравнительного давления, тензочувствительного элемента 5, аксиальной магнитной системы 6 (Н=1000 - 1600 э), трех электро- контактов 7 - 9, двух цилиндрических изоляторов 10 и 11, двух катодных дисков 12 и 13, приемного кольца 14 и патрубка 15, присоединяющегося к вакуумной системе, где происходит измерение давления.Принцип работы манометрического преобразователя состоит в следующем.При измерении давлений в области 10 -760 тор на тензочувствительный элемент 5 действует растягпвающее усилие, лередающее420899 3 Я УФ Ю ся от мембраны 2, которая находится под действием разности давлений - постоянного сравнительного в полости 4 (Рс(10 -тор) и переменного, измеряемого в полости 3.Изменение растягивающих напряжений в тензочувствительном элементе 5, выполненном например, из платиновой проволоки, сопровождается изменением его сопротивления и может быть, зафиксировано мостовой измерительной схемой (см. фиг. 3), когда,переключатели Вк ВкВкз находятся во включенном (замкнутом) положении, а Вк 4 - в выключенном (разомкнутом). При более низких давлениях (10 - 10 -тор) наблюдается зависимость теплопроводности газа от давления и постояннои мощности электрического тока, выделяемого тензочувствительным элементом 5, его температура, а следовательно, и сопротивление будут изменяться, что фиксируется той же мостовой измерительной схемой.Начиная с давления 1 10 - 3 тор и ниже производится переключение ВкВк 9, Вк, (см. фиг. 3) в положение выключено (разомкнуты), а Вк 4 - в положение включено (замкнут),На тепзочувствительный элемент 5 и корпус (поз. 7, 8) подается при этом постоянное высокое напряжение (3000 - 6000 в) и манометрический преобразователь начинает работать в области давлений 10 -- 10 - д тор в режиме инверсно-магнетронного (см. фиг. 1) мано метра.Для уменьшения габаритов и веса преобразователя средняя часть корпуса 1 может быть выполнена из магнитотвердого материала, например сплав ЮНДКЗ 5 Т 5.10Предмет из о б р етен и яМанометрический преооразователь для измерения вакуума, содержащий корпус, разделенный мембраной на две,камеры - рабочую 15 и компенсационную, в петрвой из которых размещен тензочувствительный элемент, выполненный в виде нити, прикрепленной одним концом к.мембране, и токоподводы, отлич аю щ и й с я тем, что, с целью расширения диа пазона измерения в сторону низких давлений,он снабжен магнигной системой, создающей магнитное поле в рабочей, камере, дополнительным токоподводом для подачи на корпус высокого постоянного напряжения относи тельно тензочувствителыного элемента и омранными дисковыми элвктродами - катодами, размещенными в рабочей камере.писное Заказ 1818/2ЫНИИП ов С Типография, пр, Сапунова, 2 Икле РРи Изд,670 осударственного комитета по делам изобретений и Москва, Ж, Раушская