355758
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 355758
Текст
355758 ОПИ САНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ Союз Советскин Социалистическин Респтолинвт. свидетельстваависимо лено 041971 ( 1615308/2 л. Н 051 с 3,0 ем заявкис присоеди Приоритет Комитет по аелзае зобретеииЯ и открытиЯ лри Совете Министров СССРбликовано 16.Х,1972. Бюллетень31 вания описания 22,1,19 та опуб цсесою11 АТЕМТ.ЗНЕЕ "ч"; Авторы зобретения Е. С. Денежкин и И,витель И КОВЫХ ПОДЛОЖ ЗКИ ПОЛУПРО СТРОЙСТВО 2 Изобретени товления радИзвестно у никовых подл стол с распо дольного пер узлом для ра узел настрой матическая схеонструкция кого стеклореза поре 2, каретоступательное через червячмуфту б, вогов 9 для отна холостом зн тно п ля 4тную рыч жек е относится к технологии изгоиоэлектронното оборудования, стройство для резки полупроводожек, содержащее координатный ложенной на нем кареткой проемещения с поворотным столом и вмещения и фиксации подложек, ки и режущий инструмент. Цель изобретения - повышение производительности устройства. Достигается она тем, что предлагаемое устройство снабжено сменными копирными гребенками, пазы которых взаимодействуют с подпружиненным фиксатором, связанным с кареткой. Гребенки закреплены на салазках с микрометрическими винтами, на каждом из которых закреплена шестерня, взаимодействующая с узлом настройки.На фиг. 1 изображена ки ма устройства; на фиг. 2 - ордин атного стола,Устройство состоит из алм 1, закрепленного в шарнирн ки Зсовершающей возвра движение от электродвигате ный редуктор 5, однооборо дило 7 и шатун 8, системы ,вода стеклореза от подло ходу, координатного стола 1 На координатном столе смонтирована каретка продольного перемещения 11. На вертикальной оси в верхней части каретки закреплен поворотный стол 12, который может за нимать два фиксированных положения - О и90, что обеспечивает разворот изделия для продольного и поперечного резов. На столе смонтирован узел И для размещения и фиксации изделий, разворачивающийся с помощью 10 винта 14 и пружины 15 на угол-+4 для установки изделия по визирной линии окулярного микрометра микроскопа (на чертеже не показан). На боковой поверхности стола в направляющих типа ласточкин хвост установлены 15 двое салазок 1 б, перемещающихся в продольном направлении микрометричеокими выводами 17 и 18, связанными через зубчатую муфту 19 с рукояткой узла настройки 20. На салазках с помощью двух базовых штифтов 20 устанавливают сменные копирные гребенки 21,22 продольных и поперечных резов соответственно с пазами под фиксатор 28. Шаг гребенок соответсгвует размеру микросхемы, Фиксатор смонтирован в механизме 24 каретки.25 Устройство работает следующим образом.Перед резкой подложек координаты подложки совмещают с визирной линией окуляр- ного микрометра микроскопа. Для этого изделие разворачивают винтом 14 и перемещают 30 в продольном направлении рукояткой узла настройки 20 при фиксированном положении каретки Л в пазу копирной гребенки.Перемещение по шагу подложки происходит в результате продольного движения каретки по пазам копирных гребенок, При продольной резке каретка движется по пазам гребенки 22. Для поперечных резон каретку закрепляют в пазу гребенки 23, а стол поворачивают на 90. Предмет изобретенияУстройство для резки полупроводниковых подложек, содержащее координатный стол срасположенной на нем кареткой продольного перемещения с поворотным столом и узлом для размещения и фиксации подложек, узел настройки и режущий инструмент, отличаю иееся тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено сменными копирными гребенками, пазы которых взаимодействуют с подпружиненным фиксатором, связанным с кареткой продольного перемещения, 10 причем гребенчуки закреплены на салазках смикрометрическими винтами, на каждом из которых закреплена шестерня, взаимодействующая с узлом настройки..2 Редактор ктор О. Тюр отов Заказ 259/4 Изд.1815 Тираж 406 ПодписиЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССМосква, Ж, Раушская паб., д. 4/5 р. Сапунов Типография 13 78 Составитель Е. КуликТехред А. Камышнико
СмотретьЗаявка
1615308
МПК / Метки
МПК: H01L 21/304, H05K 3/00
Метки: 355758
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-355758-355758.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">355758</a>
Предыдущий патент: Плата дешифратора
Следующий патент: 355759
Случайный патент: Способ электромелиорации почв