318822

Союз Соеетских Социалистических Республиквидетельстваависимое от а1362689118-10 11 9/00 аявлено 15,1 Х.19 присоединением аявкиПриоритет Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Сосете Цииистраа СССР/ОА Гц орбре Г иски аявит УСТРОЙСТВО ДЛ ЕРЕНИЯ МАЛЫХ ГАЗОВЫХ ПОТОКО потока.5 Измермого устзом. Газком 1 иизмерите0 ЬР =Р -анием предлагае. следующим обрар емыи источни сом 2, создает на перепад давления ния с использовойства производятвый поток, эмиттиткачиваемый насоьной диафрагме 3Рц,Изобретение относится к устройствам дляизмерения малых потоков газов, преимущественно химически активных, например кислорода и галогенов, широко используемых илиявляющихся сопутствующими в ряде установок и устройств электрофизического и вакуумного аппаратостроения, в частности в ускорителях тяжелых ионов и электромагнитныхсепараторах для разделения изотопов трансурановых элементов.Известны устройства для измерения малых потоков газа методом перепада давлений,содержащие измерительную диафрагму известной проводимости, установленную на путиизмеряемого газового потока, и измерителидавления, смонтированные по обе стороныдиафрагмы,Однако эти устройства затруднительноиливообще невозможно применять при изменениипотоков химически активных газов, напримеркислорода и галогенов, так как эти газыактивно взаимодействуют с электродной системой манометрических преобразователейдатчиков давления и меняют метрологическиехарактеристики последних.Предлагаемое устройство позволяет умень.пить вредное влияние активных газов наэлектродную систему датчиков давления иповысить эксплуатационную надежность благодаря тому, что датчики давления присоедииены к вакуумной системе через вспомогательные диафрагмы малой проводимости и ,к ним подключен, как минимум, один дополнительный насос.5 Кроме того, для упрощения измерениймежду дополнительным насосом и датчиками давлений установлена ограничительная диафрагма с проводимостью, существенно меньшей быстроты откачки дополнительного на соса.На чертеже представлена конструкция описываемого устройства.Цифрами обозначены: 1 - источник измеряемого газового потока, 2 - насос, откачи вающий этот поток, 3 - измерительная диафрагма, 4 и б - манометрические преобразователи, 6 - первая вспомогательная диафрагма, 7 в дополнительный насос, 8 - вторая вспомогательная диафрагма, 9 и 10 в вакуумн 20 затворы, 11 в ограничительн диафрагма,1 - 1 и 11 - 11 - сечения вакуумной системы, давления в которых необходимо знать для определения величины измеряемого газовогоГазовый поток из части вакуумной системы, ограниченной сечениями 1 - 1 и 11 - 11, откачивают соответственно дополнительным насосом 7 через первую б и вторую 8 вспомогательные диафрагмы. Проводимость вспомогательных диафрагм 6 и 8 выбирают много меньшей проводимости измерительной диафр агмы д. 3 а вспомогательными диафр агмами, где включены манометрические преобразователи 4 и б, устанавливаются давления Р, и Рь много меньшие давлений Р и Рн и связанные с последними выведенными в расчетном обосновании аналогичными соотношениями, Таким образом, описываемое устройство позволяет проводить измерение потоков, фиксируя не полные давления до и после измерительной диафрагхы, как это делается в известпых устройствах, а лишь небольшие их части, и далее уже расчетным пугем определять измеряемый поток, Благодаря этому интенсивность взаимодействия активных газов с э;Сктродно 11 системой мапометри 1 еских п 1 эсОоразОВатсле 11 рсзко снпкаетс 51, а 1 эесурс дат. чиков ьозрастает,Давление Р, измеряют прп окрытом затворе 10 и закрытом затворе 9, Далее затВОр 10 1 терекрыва 1 от, и при Открытом затВО- ре 9 производят измерение давления Р,.В принципиальную схему введена ограничительная диафрагма 11, установленная перед дополнтельным насосом 7, Проводимость Ограничительной диафрагмы Выои 1 эается существенно меньшей быстроты откачки дополнительного насоса, Благодаря этому можно уменьшить влияние возможных вар:ацийзначений быстроты откачки дополнительного насоса в,процессе измерений и, тем самым, упростить обработку результатов измерений.Расчеты показывают, что эффективность измерения предлагаемым устройством определяется соо 1 но 1 пепем между проводимостями измерительной и вспомогательных диафрагм и быстротой откачки пасоса с учетом проводимости ограничительной диафрагмы. При легко реализуемых конструкт 11 вно зпа епиях этих параметров измеряемые ма ометрическими преобразователями давления Р и Р могут быть сникены до вел 1 чип В 10 и 10- раз меньших давлений Р 1 и Ри, которые неизбежно приходится измерять при использовании известных устройств. Соответственно, во столько же раз снижается интенсивность химического 5 и физико-химического взаимодействия активных паров и газов с электродной системой манометргческих преобразователей и, следо.вательно, возрастает эксплуатационная надежность и срок службы датчиков и увеличи вается точность измерений.Предлагаемое устройство мокет быть эффективно использовано и для проведения измерений газовых потоков инертных или малоактивных газов в тех случаяхкогда давле 1 шя Р 1 и Рп оказываются настолько большими,гго их индикация мапометрическими либо масс-спсктромстрическими преобразователями оказывается затруднительной вследствие проявления нелинейности характеристик пре образователя, либо резкого возрастания уровня фона, В частности, предлагаемое устройство может быть рекомендовано при проведении масс-спектрометрических измерений полных и парцпалы 1 ых газоВых пОтОкОВ В Ва куумньх системах с 1 эабочим даВлением10-- 10-тОРР Предмет изобретения30 1. Устройство для измерения малых газовыхпотоков, например, кислорода и галогенов,соде 1 экашсе ОткачиВающий насос, измерительную диафрагму и два электродных датчика давления, Отличающееся тем, что, с целью по вьппения надежности и точности измерений иограничения физико-химического взаимодействия паров активных веществ с электродами датчиков давления, последние присоединены к вакуумной системе через вспомогательные 40 диафрагмы малой проводимости и к ним подк;1 Оче 1, как минимум, один дополнительный насос.2. Устройство по и, 1, отличающееся тем,что, с целью упрощения измерений, междудо полнительным насосом и датчиками давленийустановлена ограничнтелшая диафрагма с проводимостью, существенно меньшей быстроты откачки дополнительного насоса,318822 7 дактор С, Хейф Заказ 3788/1 О Изд.1492 Тираж 473 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 р,С ва,2 погра Составитель Н. ВарнекТехред Л. Богданова екторы: М. Коробова и Л. Орлова