Устройство для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электростатическом поле

О П И С А Н И Е 284076ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республии, 21 а 4, 7 Заявлено 12.Ч.1969 ( 1331509/26-9) присоединением заявкиЧПК Н ОЯс 328УДК 667.64:002,5(088.8) иоритет Комитет по лелав изобретеиий и сткрытиори Совете МииистрсвСССР Опубликовано 14.Х,1970, Бюллетень32Дата опубликования описания 29.1.1971 Авторыизобретени вик, А. Д. Слоними ов, Г, М. Мартакова, Г, Х. С, А. Шапиро. В, Ба Заявите 2 Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для нанесения копировальных эмульсий на заготовки печатны плат и для нанесения копировального слоя на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок для тонкопленочной технологии, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий,Известны устройства для нанесения копировальных эмульсий и изоляционных лаков в электростатическом поле при помощи вращающихся грибковых, дисковых и чашечных распылителей и неподвижных лотков и щелевых распылителей, выполненные в виде коронирующего вращающегося электрода, полость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость электрода и приводным механизмом.Известные распылители работают удовлетворительно только прн нанесении копировальных слоев и лакокрасочных покрытий толщиной свыше 8 - 10 лкл.Однако посредством этих распылителей не удается достигнуть высокодисперсного распыления при равномерном нанесении копировальных слоев толщиной по 1 - 2 лкл, поскольку во вращающихся распылителях разбрасывание частиц происходит не только за счет электростатических, но и за счет центробежных сил, под действием которых с распылителя могут срываться достаточно крупные частицытолщиной до 30 - 50 лкл. Кроме того, в существующих лотковых и щелевых,распылителях5 не удается обеспечить при нанесении особотонких копировальных слоев равномерногораспределения осаждаемой эмульсии вдолькоронирующей кромки, что приводит к продольной полосчатости на покрываемой плас 10 тине.С целью обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления в предлагаемом устройстве в полости коронирующего вращающегося электрода, расположен поплавок цилиндри 15 ческой формы, погруженный в распыляемуюжидкость.На фиг. 1 изображена схема предлагаемогоустройства в продольном разрезе; на фиг. 2 -схема взаимодействия поплавка и жидкости.20 Предлагаемое устройство состоит из вращающегося корпуса 1 с коронирующим электродом 2 и приводным шкивом 3, поплавка 4,представляющего собой полый цилиндр, выполненный из изоляционного материала, доза 25 тора 5 с питающей трубкой б, снабженной уплотняющей манжетой 7, опоры 8, корпуса стокоподводящим контактом 9, закрепляе мы мгайкой 10, двигателя 11 со шкивом 12, приводного ремня 13 и плиты 14 для закрепления30 распылителя,УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ КОПИРОВАЛЬНЫХ ЭМУЛЬСИЙ И ИЗОЛЯЦИОННЫХ ЛАКОВ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕУстройство работает следующим образом, Распыляемая жидкость подается дозатором через питающую трубку во внутреннюю полость коронирующего электрода.Поплавок цилиндрической формы за счет сил поверхностного натяжения притягивается к внутренней стенке коронирующего электрода, при этом между наружной поверхностью поплавка и внутренней поверхностью коронирующего электрода (см. фиг, 2) образуются две сужающиеся щели 15, по которым жидкость за счет капиллярных сил поднимается над первоначальным уровнем. Высота поднятия жидкости в щели плавно увеличивается с уменьшением ширины щели и достигает максимального значения вдоль образующей, по которой соприкасаются поплавок с электродом, так как щель имеет наименьшую ширину. В связи с высокой заостренностью менисков 1 б, образовавшихся по обе стороны поплавка, на их вершинах жидкость распыляется и переносится аод действием электростатических сил на покрываемую подложку.Расход жидкости, образующей мениск, непрерывно,воополняется поступлением ее снизу за счет капиллярных сил.В свою очередь расход жидкости из внутренней полости коронирующего электрода вос:полняется поплавковым дозатором, поддерживающим постоянный в полости уровень жидкости.Распыляемая с вершин менисков жидкость образует на неподвижной подложке два пятна, называемых статическими отпечатками. При перемещении подложки они, соответственно, превращаются в две полосы. Для увеличения диаметра статического отпечатка корпусвращается с небольшой скоростью, исключающей возникновение заметных центробежных5 сил и коронирующие вершины менисков, скоторых происходит распыление жидкости,описывает окружности, при этом статическийотпечаток получается в виде кольца с диаметром, определяемым расстоянием коронирую 10 щих менисков от оси вращения.Скорость вращения распылителя подбирается таким образом, чтобы при перемещенииподложки относительно распылителя кольцастатических отпечатков слились в сплошное15 покрытие,Применение предлагаемого устройства даетопределенный экономический эффект за счетснижения расхода распыляемых веществ, атакже за счет повышения качества покрытий.20Предмет изобретенияУстройство для нанесения копировальныхэмульсий и изоляционных лаков в электроста тическом поле, выполненное в виде коронирующего вращающегося электрода, полость которого заполнена распыляемым материалом, снабженного дозатором, служащим для подачи распыляемого материала в полость элекЗ 0 трода, и приводным механизмом, отличающееся тем, что, с целю обеспечения наиболее тонкодисперсного распыления, в полости электрода расположен поплавок цилиндрической формы, погруженный в распыляемую жид кость.284076 фиг.ак ипография, пр. Сапунов Заказ 36ПНИИПИ Составитель Н. Степановханова Тскред Л. Я. Левина Корректоры: Е. Ласточкинаи М. Коробова Тираж 480 Подписное тета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5