Датчик давления

(5 Ц 5 0 ТЕНТНО ОСУДАРСТВЕННОЕ ВЕДОМСТВО СССР ГОСПАТЕНТ СССР) ЗОБР Н ПИС И ВИДЕТЕЛЬСТ К АВТОРСКО(54) ДАТЧ (57) Испол к измеритчикам дав при измер образных ние наде ит аноазошеика. сигнал. 2 ил. О)(56) Авторское свидетельство СССР М 1485051, кл. 6 01 1. 9/04, 1989.Авторское свидетельство СССР ЬЬ 1404853, кл. 6 011 9/04, 1986. ИК ДАВЛЕНИЯьзование: изобретение относ ельной технике, в частности к пения и может быть использо ении давления жидких или сред. Цель изобретения - пов жности и долговечности дат Сущность изобретения; датчик содержит полый герметичный корпус 1 со смонтированной на его основании платой 2, стеклянный опорный элемент 3, расположенный внутри корпуса 1 над штуцером 6 и выполненный сплошным. На опорном элементе 3 закреплен кристалл 4 с выемкой, образующей колпачковую мембрану 5. На внутренней поверхности основания корпуса 1 имеется канал 7, соединяющий канал штуцера 6 с кольцевой канавкой 8. Среда с измеряемым давлением поступает через канал штуцера 6, канал 7 и канавку 8 в полость корпуса датчика. Изменение давления в полости корпуса 1 вызывает деформацию мембраны 5, которая преобразуется с помощью расположенных на мембране тензорезисторов в выходной электрическийИзобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления.Целью изобретения является повывение надежности и долговечности датчика. бКа фиг, 1 представлен общий вид датчика давления; на фиг. 2 - датчик давления,вид сверху.Датчик давления содержит полый герметичный корпус 1 со смонтированной на 10основании корпуса платой 2, стеклянныйопорный элемент 3, расположенный внутрикорпуса 1 и выполненный сплошным. Наторце опорного элемента 3 расположен полупроводниковый кристалл 4 с выемкой, образующей колпачковую мембрану 5 стензорезисторами. В основании корпуса 1выполнен входной штуцер 6. Опорный элемент 3 расположен над штуцерам 6. На.внутренней поверхности основания карпуса 1 выполнен канал 7, соединяющий каналштуцера 6 с кольцевой канавкой 8, выполненной на внутренней поверхности основания корпуса 1. соосно со штуцером 6 вокругстеклянного опорного элемента 3,Датчик работает следующим образом,Среда с измеряемым давлением поступает через канал штуцера 6, канавку 8 вполость корпуса 1, Изменение давления вполости корпуса 1 вызывает деформацию 30колпачковой мембраны 5, Резистивная схема мембраны преобразовывает деформацию мембраны в электрический сигнал,который через плату построечных резисторов 2 подается на выводы корпуса 1. По 35величине электрического сигнала судят означении измеряемого давления.Прямому воздействию ударной волнына колпачковую мембрану препятствуют изменения направления подводного канала, 40 образованные днищем стеклянного опорного элемента и стенками канала, вследствие чего происходит ее гашение по достижению волной мембраны, Кроме того, полость корпуса имеет больший обьем, чем подводный канал, вследствие чего происходит дополнительное гашение ударной волны.Кольцевая канавка, охватывающая место монтажа стеклянного опорного элемента в основании корпуса, ослабляет его в месте канавки, и возникшие в процессе эксплуатации тепловые расаирения и механические усилия на корпусе датчика или штуцера вызывают таким образом деформацию корпуса в месте кольцевой канавки, не передавая напряжений на чувствительную колпачковую мембрану, повышал точность измерения датчика.Формула изобретения 1. Датчик давления, содержащий полый корпус с основанием и входным штуцером и расположенный внутри корпуса стеклянный опорный элемент, к торцу которого прикреплена полупроводниковая колпачковая мембрана с тензорезисторами, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения надежности и долговечности, в нем стеклянный опорный элемент выполнен сплошным и закреплен на основании корпуса над 1 туцером, а на внутренней поверхности основания корпуса выполнен по крайней мере один канал, соединяющий канал штуцера с полостью корпуса, который выполнен герметичным.2. Датчик по и. 1, отл и ча ю щи й с я тем, что, с целью повышения точности, в нем на внутренней поверхности основания корпуса соосно со штуцером вокруг стеклянного опорного элемента выполнена кольцевая канавка.1828999 Составитель Н. НаседкинаТехред М,Моргентал Корректор М. Андрушенко Редактор Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 2474 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открыиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5