Способ измерения линейных размеров изделий

(19) (1) 51)5 6 01 В 11/О ГОСУДАРСТВЕН ЮЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ институт фи аай ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Быстров Ю.А., Колгин Е.АКотлецов Б,Н, Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве, М,; Радио и связь, 1988, с. 168.Быстров Ю.А. и др, Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. М.: Радио и связь, 1988, с. 10. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров перемычек упруих подвесов из оптически прозрачного стекла, Цель изобретения - расширение информативности способа за счет обеспечеИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля линейных размеров. перемычек упругихподвесов иэ оптически прозрачного стекла,Цель изобретения - расширение информативности способа за счет обеспечения возможности измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла. На фиг, 1 изображена оптическая схемадля осуществления предлагаемого способа;на фиг. 2-4 - виды, поясняющие способ. ния возможности измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла, Контролируемый подвес в приспособлении устанавливают в прозрачном стакане на сто микроскопа, Измерение перемычки проводят в проходящем свете от лампы оптической системой, Для обеспечения возможности отсчета толщины перемычки из оптически прозрачного стекла измерение проводят в оптически прозрачной жидкости, например в воде, насыщаемой газом, а отсчет показаний производят по границе газовый пузырь - стенка рабочей перемычки. Жидкость заливают в стакан на одном уровне с торцом контролируемой перемычки. При измерении проводят совмещение визира с границей пузырь - перемычка подвеса, Отсчет показаний можно проводить и по границе металлическая пленка - стенка перемычки, напыляемой на стенки перемычки подвеса. 4 ил. Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.Контролируемое изделие - подвес 1 в приспособлении 2 устанавливают в стакане 3 на стол 4 микроскопа.В стакан 3 заливают оптически прозрачную жидкость 5, например воду, При заливании воды в стакан 3 происходит ее гаэонасыщение воздухом атмосферы. Заливку жидкости 5 проводят до уровня 6 контролируемой перемычки подвесэ 1.Фокусируют микроскоп на торец перемычки, совмещают визир 7 микроскопа с границей воздушный пузырь 8 - стенка перемычки 9 подвеса и производят отсчет по 1810749казаний микроскопа в проходящем свете отлампы 10 через оптическую систему, состоящую из элементов 11-19.Наличие оптически прозрачной газонасыщенной жидкости среды, в которой производят измерение, а также наличие четкойграницы газовый пузырь - стенка позволяют проводить отсчет показаний от оптически прозрачной перемычки подвеса. Впроходящем свете стенки газового пузыря 108 высвечиваются в отличие от прозрачнойперемычки подвеса, Это создает дополнительный контраст контролируемого изображения, что упрощает технологию контроляперемычек подвеса. Проводить контроль 15возможно и в воздушной среде, если наперемычки 9 подвеса нанести металлиэацию 20; что в отдельных конструкциях допустимо,П р и м е р, Подвесы иэ кварцевого 20стекла КУтолщиной 500 мкм и толщинойперемычек 20 мкм контролировались на микроскопе ММИ. Диаметр газовых пузырей,прилипавших к стенкам, составил около 5025 мкм, что позволяет четко проводить фокусировку и отсчет показаний при измерении. Точность измерений составила 5 мкм, что соответствовало паспортным данным микроскопа ММИдля измерения оптически непрозрачных деталей,ф о рмул а изобретения Способ измерения линейных размеров изделий, заключающийся в том, что используют измерительный оптический микроскоп и производят отсчет показаний линейных размеров иэделия, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения информативности способа за счет обеспечения измерения толщины и симметричности перемычек упругого подвеса из оптически прозрачного стекла, помещают подвес в оптически прозрачную жидкость, насыщают в процессе измерения жидкость газом, а отсчет показаний толщины и симметричности перемычек производят при совмещении визира микроскопа с границей воздушного газового пузыря,1810749 Составитель В,КафтанатьевТехред М.Моргентал Корректор М.Максимишинец едактор из твенно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 аз 1439 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5