Устройство для подгонки толстопленочных резисторов

(51)5 Н 01 С 17/22 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ИДЕТЕЛ ЬСТВ К АВТОРСКОМ т им. ебо иниаонной очных ь; устго наО л ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНВЕДОМСТВО СССР(56) Авторское свидетельство СССРМ 989592, кл, Н 01 С 17/22, 1981,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИСТОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ(57) Использование: в технике микромтюризации и технологии радиоэлектраппаратуры при изготовлении пленпрецизионных резисторов, Сущностройство содержит источник 1 опорно пряжения, блок 2 сравнения, измеритель 3 сопротивления, АЦП 4, регистр 5 сдвига, мультивибратор 6, и элементов И 7-1, 7-п, и генераторов 8-18-п факельного разряда, и рабочих электродов 9-1.9-п, подложку 11, причем вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на оси, перпендикулярной плоскости погоняемого резистора на фиксированном расстоянии от поверхности резистора, уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода. Устройство позволяет повысить точность подгонки и расширить эксплуатационные возможности путем подгонки толстопленочных резисторов в глубину, 1 ил.45 50 55 Изобретение относится к микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры и может быть использовано при изготовлении прецизионных пленочных резисторов.Цель изобретения состоит в повышении точности и расширении эксплуатационных возможностей процесса подгонки.На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.Устройство содержит источник 1 опорного напряжения, блок 2 сравнения, измеритель 3 сопротивления, АЦП 4, регистр 5 сдвига, мультивибратор 6, элементы И 7- 17-п, генераторы 8-18-п факельного разряда, рабочие электроды 9-19-п, подгоняемый резистор 10, подложкодержатель 11.Измеритель 3 сопротивления подключен первым (сигнальным) входом к подгоняемому резистору, расположенному на подложкодержателе 11. Блок 2 сравнения связан первым и вторым входами с выходами соответственно источника 1 опорного напряжения и измерителя 3 сопротивления, АЦП 4 подключен входом к выходу блока 2 сравнения. Первый вход каждого элемента И 7-17-п пг дключен к одноименному выходу АЦП 4. Второй вход каждого элемента И 7-1.7-п подключен к одноименному разрядному выходу регистра 5 сдвига, Выход мультивибратора 6 подключен к входу регистра 5 сдвига и второму (управляющему) входу измерителя 3 сопротивления, Вход каждого из генераторов 8-1,8-п факельного разряда связан с выходом одноименного элемента И 7-1.7-п, выход - с соответствующим рабочим электродом 9-19-п,Устройство работает по двухтактной схеме следующим образом.В течение первого такта с помощью измерителя 3 сопротивления измеряется сои роти ален ие подгоняемого резистора 10. При этом измеритель 3 сопротивления формирует постоянное напряжение, пропорциональное этому сопротивлению, которое сохраняется на протяжении двух тактов, Команда об измерении значения подгоняемого резистора и поддержании неизменным полученного уровня выходного напряжения измерителя 3 сопротивления подается от мультивибратора 6. Его выходные сигналы имеют прямоугольную форму, При "нулевых" уровнях этих импульсов (первый такт) в устройстве для подгонки резисторов происходит измерение сопротивления подгоняемого резистора 10 и формирование пропорционально ему выходного напряжения измерителя 3, Вместе оба эти процесса занимают незначительную часть первого 5 10 15 20 25 30 35 40 такта, поэтому большая часть первого такта и весь второй такт (т.е, практически два такта) на выходе измерителя 3 сопротивления поддерживается сформированное постоянное напряжение. Измеритель 3 сопротивления, формирующий напряжение, пропорциональное величине сопротивления, может быть реализован на базе мостовой схемы или готового цифрового измерителя сопротивления,В блоке 2 сравнения, реализованном на базе вычитателя напряжения, определяется разность выходных напряжений измерителя 3 сопротивления и источника 1 опорного напряжения (последнее пропорционально предельному значению сопротивления подгоняемого резистора), АЦП 4 формирует цифровой код, пропорциональный его входному напряжению (разностному сигналу на выходе блока 2 сравнения), АЦП 4 содержит и разрядов, причем "вес" каждого последующего разряда, начиная с второго, меньше предыдущего в два раза.В первоначальный момент работы устройства для подгонки резисторов на первом выходе регистра 5 сдвига формируется логическая "1", которая поступает на второй вход элемента И 7-1, пропуская тем самым на выход элемента И 7-1 сигнал, содержащийся на первом выходе АЦП 4, Если выходной сигнал элемента И 7-1 есть логическая "1", то в течение второго такта с выхода генератора 8-1 факельного разряда на рабочий электрод 9-1 подается энергия, пропорциональная "весу" первого разряда АЦП 4, В результате между вершиной излучающего конуса рабочего электрода 9-1 и подгоняемым резистором 10 возникает факельный разряд, что приводит к испарению материала резистора (и увеличению его сопротивления). Если выходной сигнал элемента И 7-1 есть логический "0", то включение генератора 8-1 факельного разряда не производится. Если имело место включение первого генератора 8-1 факельного разряда, то при новом цикле контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 10, соответствующего перемещению логической "1" на второй выход регистра 5 сдвига, на выходах АЦП 4 формируется цифровой код, пропорциональный своему новому входному напряжению. Если цифровой код на выходах АЦП 4 содержит логическую "1" во втором разряде, включается генератор 8-2 факельного разряда, который через рабочий электрод 9-2 осуществляет факельный разряд, энергия которого такова, что приращение резистора в два раза меньше, чем в предыдущем случае. Этот разряд производит исЗаказ 1167 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 парение материала резистора на большейглубине,чем первый разряд,В дальнейшем цикл контроля сопротивления подгоняемого резистора 10 и выжигание части его слоя в глубину многократно 5повторяются, при этом каждый раз по сравнению с предыдущим циклом обеспечивается меньшее (в 2 раза) приращениесопротивления при наличии логической "1"в соответствующем разряде, В итоге значение сопротивления подгоняемого резистора 10 постепенно приближается кустановочному значению,Формула изобретения 15 Устройство для подгонки толстопленочных резисторов, содержащее подложкодержатель для крепления объекта подгонки, генератор факельного разряда, к выходу которого подключен первый рабочий элект род, измеритель сопротивления. соединенный первым входом с подгоняемым толстопленочным резистором, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения эксплуатационных 25 возможностей, в него введены соединенные последовательно источник опорного напряжения, блок сравнения и АЦП, и элементов И, и - 1 генераторов факельного разряда, прабочих электродов, регистр сдвига, мульти- вибратор, и выходов АЦП соединены с соответствующими первыми входами элементов И, вторые входы которых соединены с соответствующими входами регистра сдвига, выходы элементов И соединены с соответствующими входами генератора факельного разряда, выходы п - 1 генераторов факельного разряда соединены с соответствующими ирабочими электродами, выход мультивибратора соединен с входом регистра сдвига и вторым входом измерителя сопротивления, выход которого соединен с вторым входом блока сравнения, причем вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на оси, перпендикулярной плоскости подгоняемого резистора на фиксированном расстоянии от поверхности резистора, уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода.